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本文选用了Co/Si/GaAs结构作为研究对象,经600℃恒温退火及800℃快速退火处理后,分别在GaAs衬底上形成Cosi2/GaAsSchottky接触.采用多种薄膜和界面的测试技术,对CoSi2:/GaAs的薄膜及界面特性进行了细致的研究.结果表明:热退大处理后,Co/Si经化学反应形成了较均匀的CoSi2单相,其薄膜电阻率约为30μΩcm.即使经900℃的快速返火处理后,GaAs界面仍保持相当的完整性,同时薄膜形貌也很理想.此外,采用I-V电学测试法对经750℃恒温退火处理后形成的CoSi2/Ga 相似文献
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ANewMethodofStudyingSurfaceActivityforLiquidAloys①②YANGYongzheng(DepartmentofAppliedphysics,NorthwesternPolytechnicalUniversi... 相似文献
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Chen Xinfu 《通信学报》1998,19(5):75-79
ResearchontheSpechCodingAlgorithmat1200bit/sChenXinfuWuJia’an(AirForceTelecommunicationsEngineringInstitute,Xi’an710077)Abstr... 相似文献
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