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热释电红外探测器的元器件(一) 热释电红外探测器综述 总被引:2,自引:0,他引:2
红外线检测技术最早是为科学研究和军事用途而研发的。随着半导体生产技术及新型材料的发展、生产成本不断下降,各种廉价的红外线传感器相继问世,它们逐步被应用于工业生产、农林业、水产业、医学、环境保护及民用产品中。凡是存在于自然界的物体,例如人体、火焰、冰等都会辐射 相似文献
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热释电红外探测器是由热释电红外传感器(指陶瓷型,下同)、菲涅耳透镜及电子电路组成的一种光电检测装置,它能不接触地检测人体运动时辐射出的红外线并转换成电信号输出。本文介绍热释电红外传感器及与其配套的菲涅耳透镜。热释电红外传感器1.热释电效应 某些强介电物质的表面接受了红外线的辐射能量,其表面产生温度变化,随着温度的上升或下降,在这些物质表面上就会产生电荷的变化,这种现象称为热释电效应,是热电效应的一种。这种现象在钛酸钡之类的强介电质材料上表现得特别显著。若在钛酸钡一类的晶体的上下表面镀膜形成电极,在上表面加以… 相似文献
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薄膜型热释电红外探测器的发展 总被引:6,自引:1,他引:6
介绍了薄膜型热释电红外探测器的性能特点和工作原理。从材料选择,器件结构和制备工艺综述了近几年国内外的研究成果及发展动态,并对器件的主要应用进行了总结。 相似文献
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介绍了非晶YBCO薄膜用作非制冷热释电红外探测器材料。它在室温下显示出强的热释电行为,并且容易在室温下采用射频磁控溅射法沉积,制备工艺与CMOS工艺相兼容,是
一种很有潜力的热释电探测器材料。并介绍了非晶YBCO热释电薄膜的研究现状,阐述了该薄膜及其探测器的制备技术和研究动向。 相似文献
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新型热释电单晶材料与红外探测器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
主要阐述了当前热释电红外探测器的发展状况,并重点介绍了我国尤其是我们在新型热释电材料以及红外探测器方面的主要进展和成果。弛豫铁电单晶是一类具有优异压电性能的新型材料,同时我们发现该类晶体还具有优异的热释电性能。我们所生长的PMNT单晶的热释电系数超过15.3×10-4cm-2.K-1,Mn-PMNT的介电损耗降至0.0005,探测优值达到40.2×10-5Pa-1/2,高居里温度点单晶PIMNT的居里温度达到180℃以上。与合作单位一起利用该类晶体研制的红外探测器的性能远优于利用传统热释电材料(如LiTaO3)制作的探测器,其比探测率达到1.07×109 cm·Hz1/2/·W-1,说明利用该新型弛豫铁电单晶制作的红外探测器具有广阔的应用前景。 相似文献
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热绝缘结构是热释电红外探测器的关键技术之一."复合热释电薄膜红外探测器"是用多孔SiO2薄膜来绝热的,这种无空气隙的新型结构被认为具有更高的机械强度和可靠性.采用溶胶-凝胶技术制备了热导率极低的多孔SiO2薄膜,用金属有机物热分解法制备了优质的铁电薄膜,实现了"复合热释电薄膜"热绝缘结构,获得的星探测率最大值达9.3×107cm.Hz1/2/W.通过快速热处理工艺的采用,提高薄膜一次成膜厚度的研究,改善了薄膜制备与微电路工艺的兼容性.研究了多孔膜厚度、孔径分布与探测率的关系,探讨了镍酸镧(LNO)薄膜作为缓冲层、红外吸收层和上电极的多功能作用.结果表明:孔径分布小的多孔膜有利于探测器性能的提高.在此结构中,存在热性能和电性能的折中问题,多孔膜厚度有一个临界值.LNO薄膜的引入,可以改善性能、简化结构和工艺.讨论了低温铁电薄膜的制备和性能,以及与微电路实现单片集成等问题. 相似文献
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热释电非制冷红外焦平面现状及发展趋势 总被引:3,自引:7,他引:3
一维和二维阵列的热释电非制冷红外焦平面非常适合应用于热成像.混合式的BST铁电探测器降低了成本,市场潜力巨大.分析了热释电非制冷红外焦平面阵列探测技术的优势,介绍了热释电非制冷红外探测器工作原理及热释电非制冷红外焦平面阵列对探测材料的要求,指出了混合式及单片式热释电非制冷红外焦平面阵列发展趋势.制备高一致性和高性能的大阵列的探测元是发展非制冷红外焦平面的关键,针对我国在热释电非制冷红外焦平面阵列研究方面存在的问题,提出了下一步研究的方向及重点. 相似文献
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金属结构红外探测器振动噪声的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
为使红外探测器在振动干扰的环境下仍具有足够高的探测率,必须降低其因振动而产生的噪声幅度.控制探测器振动噪声的主要手段之一是控制其机械振动幅度,尤其是共振振幅.采用锤击法,利用冲击激励的宽频特性,研究了金属结构红外探测器的共振特性及影响振动噪声的力学因素.通过改变探测器结构的动力学特性,探寻了减振降噪的几种途径.实验结果表明,探测器悬臂冷指的结构参数对探测器的振动特性起主要作用.在冷指自由端与壳体间填胶做支撑、或冷指固定端与壳体间用胶粘隔振的减振降噪效果最好,可使振动噪声降至原值的1/20. 相似文献
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一种使用热释电探测器的红外比色测温仪 总被引:2,自引:1,他引:1
从工程测量的实际出发,介绍了一种使用热释电探测器的红外比色测量仪的组成原理、硬件结构及软件流程,推导出了适合计算机处理的温度方程。 相似文献
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室温型热释电红外探测器焦平面列阵新进展 总被引:4,自引:0,他引:4
文中介绍了目前室温工作的热释电红外探测器焦平面列阵的国外进展,混合型铁电陶瓷焦平面列阵已进入批量生产阶段,这类焦平面列阵制作的热像仪已于1995年进入商品市场,而单片式铁电薄膜红外探测器焦平面列阵还处在实验室研究阶段。 相似文献