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相似文献
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1.
利用XRD及XRD极图技术表征了用激光剥离技术生长的VO2薄膜。结果表明:在衬底温度为500℃,氧气偏压6.67Pa的条件下,在α-Al2O3(1120)衬底上能实现VO2的二维外延生长。薄膜的结构除了与沉积工艺有关外,还和衬底的取向密切相关。  相似文献   

2.
利用XRD及XRD极图技术表征了用激光剥离技术生长的VO薄膜.结果表明:在衬底温度为500℃,氧气偏压6.67Pa的条件下,在Al(1120)衬底上能实现VO的二维外延生长.薄膜的结构除了与沉积工艺有关外,还和衬底的取向密切相关.在Al(1120)衬底上,定向生长的(100)VO在Millar指数<5时,除了[010]以外,不存在其他晶格矢量与衬底相匹配,从而不可能实现三维单晶薄膜的外延生长.电学特性的测试结果显示,在温度为65℃左右,VO薄膜出现相交,薄膜的电阻率变化达4个数量级.  相似文献   

3.
采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术,在Si(111)单晶衬底上沉积了 WO薄膜.采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(RS)、付里叶红外光谱(FT-IR)及透射电镜扫描附件(STEM)对不同条件下沉积的样品进行了结构分析.结果表明,氧分压和沉积温度是决定薄膜结构和成份的主要参数.在沉积温度300℃以上及20Pa氧压下得到了三斜相纳米晶WO薄膜.  相似文献   

4.
常压MOCVD制备MgO薄膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
曾建明  王弘 《功能材料》1996,27(4):342-346
本文首次报道用常压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)在Si(100),SiO2/Si(100)和Pt/Si(100)衬底上外延高质量的MgO薄膜。研究了衬底温度与薄膜的取向性关系和MgO薄膜的潮解特性。高纯magnesiumacetylacetonate[bis(2,4-pentanetane-diono)magnesium][Mg(CH2COCH2COCH3)2]作为金属有机源,扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM)和X-RAY衍射实验显示,在较低的衬底温度(~480℃)下一次淀积成单晶膜。薄膜均匀,致密,结晶性和取向性很好,衬底温度(Ts)在400℃到680℃之间,在Si(100)衬底上生长的MgO薄膜都具有[100]取向,在Si(100)、SiO2/Si(100)和Pt/Si(100)衬底上生长的MgO薄膜也都具有[100]取向。  相似文献   

5.
钛酸钡铁电薄膜的常压MOCVD制备及其物理性质的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
本文报道了用常压金属有机化学气相沉积(APMOCVD)法在Si衬底上制备高质量的钛酸钡铁电薄膜,钡的β-二酮螯合物(Ba(DPM)2)和异丙氧基钛(TIP)作为金属有机源,在衬底温度为700℃时,在Si(100),薄膜具有完全的(001)取向,其介电常数(ε)为107。研究了衬底温度与薄膜的结晶性和取向性的关系;讨论了半导体衬底对酸钡铁电薄膜物理性质的影响,得到了薄膜的剩余自发极化强度(Pr)为2  相似文献   

6.
直流磁控反应溅射制备IrO2薄膜   总被引:3,自引:0,他引:3  
为研究氧化铱(IrO2)对PZT铁电薄膜疲性能的影响。利用直流(DC)磁控反应溅射(sputtering)工艺成功地在SiO2/Si(100)衬底上制得了高度取向的IrO2薄膜,并在其上制成PZT铁电薄膜,讨论了溅射参数(溅射功率、Ar/O2比、衬底温度)以及退火条件对氧化铱薄膜的结晶,取向和形态的影响。  相似文献   

7.
在室温下利用射频磁控溅射法在硅(100)基片上制备ZnO薄膜,利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其结晶性能进行分析。研究了制备条件对薄膜沉积速率的影响。分析了薄膜沉积速率对薄膜结晶状况的影响及源气体中的氧气和氩气的流量比对薄膜结晶状况的影响。研究结果表明,薄膜的生长速率强烈依赖于射频功率和工作气压,薄膜的结晶性能强烈依赖于薄膜的沉积速率和反应气体中氧气和氩气的流量比。制备高结晶质量的ZnO薄膜的最佳工艺参数为靶到衬底的距离为4cm,输入功率为250W,源气体中氩气和氧气的流量比n(Ar)∶n(O2)为5∶20,溅射工作气压为2Pa。在最佳工艺条件下所制备的薄膜表面平整致密,接近单晶,在可见光区的透射率高达90%。  相似文献   

8.
用脉冲激光镀膜法,在不同的温度和氧压条件下,在Si(100)片上制备了一系列的CeO2膜。X射线衍射分析表明,在较低的氧压下生长的CeO2膜为(111)取向,在较高的氧压了生长的膜则为(100)取向。研究表明,CeO2膜的取向对氧压显示了独特的依赖性,氧压对控制膜的结晶取向具有十分重要的作用。讨论了氧压对CeO2薄膜结晶取向影响的可能机理。  相似文献   

9.
以N2,CH4作为反应气体,采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)进行碳氮膜的合成研究。通过控制反应温度、气体流量、微波功率、反应气压,在Si(111)和Si(100)基底上气相合成β-C3N4晶态薄膜。扫描电子显微镜(SERM)下观察到生长在Si基底上的薄膜具有六角晶棒的密结构。EDX分析胡沉积条件的不同,六角晶棒中N/C在1.0~2.0之间。X射线衍射分析(XRD)发现薄膜中含有β-C3  相似文献   

10.
研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向 PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SIO/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.  相似文献   

11.
A method is proposed for estimating the parameters of a mixture of exponential and Weibull distributions for which the accuracy of preliminary estimates obtained by graphical analysis is refined in accordance with the criterion of maximum likelihood. The efficiency of the proposed method is supported by the results of statistical modeling.  相似文献   

12.
水三相点是开尔文热力学温度的唯一基准点,也是ITS-90国际温标重要的定义固定点。因此,水三相点不确定度分析对整个温标的建立、温度量值传递起着至关重要的作用。近3年来,中国计量科学研究院研制出一系列高质量的水三相点容器,加强了水三相点的研究,为不确定度的分析提供了更为可靠的实验依据。同时,不确定度的分析也是客观评价新研制容器性能的一个重要指标。因此,根据实验结果对新研制容器所复现的水三相点进行了不确定度评定。评定结果表明,其扩展不确定度为0.16mK(k=2.69,P=0.99)。  相似文献   

13.
On the basis of an analysis of the principle underlying the construction of standards and systems designed for reproduction of the unit of mean power and energy of laser radiation, it is shown that these standards consist of unified subsystems that carry the principal metrological load. By means of such a division, it is possible to realize a systems-engineering synthesis of standards with preassigned error. __________ Translated from Izmeritel'naya Tekhnika, No. 11, pp. 20–23, November, 2005.  相似文献   

14.
介绍了用众数法评价方波幅度时的不确定度分析和评价过程;讨论了主要的不确定度来源,包括众数判别区间的影响、波形测量系统幅度测量误差的影响等等;给出了减小不确定度的主要措施,并结合一个实例,给出了方波幅度的不确定度评价结果。  相似文献   

15.
Ways of creating unified automatized reference (calibration) and standard measurement equipment for the purpose of developing a subsystem for the assurance of the uniformity of measurements of the energy of short-pulse laser radiation are considered. __________ Translated from Izmeritel'naya Tekhnika, No. 11, pp. 24–28, November, 2005.  相似文献   

16.
水线震荡对斜拉桥拉索风雨激振稳定性的作用   总被引:7,自引:0,他引:7  
从理论和试验两个方面研究了水线震荡对斜拉桥拉索风雨激振稳定性的作用。建立了拉索和水线的运动方程,应用李雅普诺夫函数给出了水线不平衡角的判别公式。设计了一种新型的带有可运动人工水线的拉索模型,并进行了风洞试验。理论和试验结果表明,水线震荡是导致拉索风雨激振具有较大不稳定范围的主要原因。试验结果证明了理论模型和分析的结果是正确的。  相似文献   

17.
文中依据杂化理论分析了亚硝酸的结构特点,主要以分子结构理论为基础,从理论上指出在DDNP重氮化反应中,可能是氯化亚硝酰作为重氮反应的亲电试剂,其进攻发生在氨基的氮上,从而推测了获得DDNP的反应历程。  相似文献   

18.
杜亮 《计测技术》2005,25(3):34-37
介绍了逻辑分析仪部分参数测量结果的不确定度分析评定方法,评定过程及结论,可应用在对于计量标准进行相应指标的不确定度评定分析上。  相似文献   

19.
由于空压机进气侧轴承箱蜗壳温度探头密封效果不好,使空压机及其后续管道受到油污染。后将温度探头的O形圈密封改为骨架油封,杜绝了轴承箱漏油问题。文章简介空压机的结构和技术参数,详细介绍了骨架油封的制作和优点。  相似文献   

20.
Development is continued of the empirical method for the calculation of the heat of combustion of organic compounds and, in particular, of hydrocarbons of different structures by the additive scheme based on their chemical structure.  相似文献   

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