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MID工艺制程电路图案金属化工艺 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一套用于模塑互连器件(MID)制造工艺中电路图案金属化的工艺,其流程主要包括:化学除油,除胶渣,化学镀薄铜(种子铜),化学镀厚铜,钯活化,化学镀镍,化学镀金,金保护,烘干。给出了前处理及各化学镀工序的配方与工艺条件。分析了生产中所遇到的技术问题,并提出相应的解决方法。 相似文献
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一、引言化学镀铜是在碱性溶液中进行,因此要加入络合剂或螯合剂以防止二价铜以氢氧化物形式沉淀,提高溶液的阴极极化,控制沉积率和改善镀层质量。化学镀铜过程中,会有少量的Cu_2O产生,Cu_2O在碱性溶液中会发生歧化反应而形成金属铜。Cu_2O和Cu分散在溶液中成为镀液自发分解的催化中心。这是镀液不稳定的根本原因。随着Cu_2O逐渐增加,沉积速度加快,镀液的寿命缩短,特别是酒石酸盐类型化学镀铜溶液的寿命更短。国内外不少单位为了提高化学镀铜 相似文献
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离子色谱在电镀工业中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
在电镀和化学镀的工艺过程中监控镀槽溶液成分的变化,及时补充消耗掉的关键化学品,消灭故障于发生之前,是提高产品质量,降低生产成本的有效途径,尤其是对于电镀溶液成分要求严格的高速电镀工艺。由于一般电镀溶液含盐浓度高,PH 范围宽,现有 相似文献
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高效溶液法小分子磷光电致发光器件研究 总被引:2,自引:0,他引:2
以小分子化合物CDBP[4,4'-bis(carbazo1.9-yl)-9,9-dimethyl-fluorene]为主体材料,Ir(pppy)3[tris(5-phenyl-10,10-dimethyl-4-aza—tficycloundeca-2,4,6-triene)Iridium(Ⅲ)]为磷光客体材料,采用溶液法和真空蒸镀法相结合的制备工艺,制作了小分子磷光电致发光器件.研究表明,通过器件结构的优化,Ir(pppy)3(重量百分比为2)掺杂的多层绿光电致发光器件效率达22.0cd/A,最大亮度达到26600cd/m^2,这一结果可与当今基于真空蒸镀的小分子或基于溶液法的高分子磷光电致发光器件性能相媲美.本工作为降低有机电致发光器件的成本,扩展溶液法有机电致发光器件制备工艺中材料的选择范围提供了实验依据. 相似文献
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为进一步改善以次磷酸盐作为还原剂的化学镀铜溶液的沉积速率,采用次磷酸钠(SHP)和二甲胺基甲硼烷(DMAB)构成双还原剂用于化学镀铜溶液中,研究了两种还原剂复合添加浓度对聚丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)表面化学镀铜的影响。利用网格设计法,探讨化学镀铜溶液中两种还原剂复合的适宜浓度配比,通过恒温加热测试,研究两种还原剂的复合添加浓度对化学镀铜溶液稳定性的影响,并采用场发射扫描电子显微镜和X射线能谱分析仪对化学镀铜层的微观形貌和组成进行表征。研究结果表明,在DMAB和SHP的添加浓度分别为0.50 g·L-1和90 g·L-1时,DMAB和SHP具有良好的协同作用,此时化学镀铜溶液的稳定性好,化学镀铜的沉积速率最大,为3.14μm·h-1。化学镀铜层表面铜晶粒排列致密,表面平整,且镀层中铜含量达到97.4%,ABS表面与化学镀铜层之间的粘结强度最高,达到0.95 kN·m-1。 相似文献
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硝酸银在化学镀的过程中常作为催化剂,实验研究发现,硝酸银在聚酰亚胺薄膜表面化学镀铜时,不仅起到催化剂的作用,还有增加聚酰亚胺薄膜和化学镀铜层结合力的作用。实验采用Na OH溶液对聚酰亚胺表面进行改性,利用不同浓度的硝酸银溶液进行活化,将吸附在聚酰亚胺薄膜表面Ag+还原,进行化学镀铜。使用红外光谱仪对聚酰亚胺的表面结构进行表征和分析,利用3M胶带粘贴法测试镀铜层与聚酰亚胺薄膜的结合力,利用X-射线衍射、扫描电子显微镜表征铜镀层结构及表面微观形貌。结果表明,当硝酸银在一定浓度范围内变化时,硝酸银浓度对化学镀铜层质量和化学镀铜沉积速度无明显影响,但对镀铜层与聚酰亚胺薄膜的结合力影响很大。 相似文献
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近年来,化学镀镍磷合金技术在我国获得了越来越多的应用.在化学镀镍磷合金的生产过程中,要经常使用HNO3.HNO3的作用有三方面,其一是用HNO3溶液浸泡镀槽、滚筒、加热管、挂具、管道和滤芯等,以清除这些设备上面附着的镍磷沉积物;其二是用HNO3溶液钝化与化学镀镍磷合金溶液接触的不锈钢设施,如不锈钢加热管和镀槽等;第三是用HNO3退除不合格镀件上的镍磷镀层.在这些操作中,如管理不善或一时疏忽就很容易造成NO-3对化学镀溶液的污染.如果NO-3的浓度过高,将使镀速降低,甚至使镀速为零.这种污染的最大容许浓度取决于所用化学镀镍磷合金溶液的类型,没有特定的极限浓度.据文献介绍[1],对含镍6~7 g/L,次磷酸钠16~37 g/L,pH值4.2~5.0,85~91 ℃的化学镀镍溶液,NO-3≥50 mg/L时,就无镀层出现. 相似文献
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前言化学镀铜是一项古老的工艺,开始只用于某些塑料电镀,厚度只要求1—2微米,所以对溶液的稳定性要求不高。这种废液与其它废水混合,危害很大,不仅提高废水的COD,同时由于络合剂存在,使重金属处理变得困难。随着电子工业的发展,印刷线路板的广泛应用,特别是添加法制造印刷线路工艺的出现和多层板孔金属化的要求,对快速化学镀铜溶液稳定性的研究和探讨,也显得日益重要。近年来,这方面的研究有很大进展,对于影响化学镀 相似文献