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讨论了锆太酸铅(PZT)热释电材料的选择原则,介绍了Zr/Ti为94/6的PZT热释电陶瓷材料的制作,并以此材料为敏感元制作成PZT红外探测器。对其基本结构、制作时存在的问题进行了研究。所制作的探测器D(500K,10Hz) 为5.7×10~8cmhz~(?)/W不仅可用于一般的热辐射探测,还可用于强辐射(如激光)的测量。 相似文献
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薄膜型热释电红外探测器的发展 总被引:6,自引:1,他引:6
介绍了薄膜型热释电红外探测器的性能特点和工作原理。从材料选择,器件结构和制备工艺综述了近几年国内外的研究成果及发展动态,并对器件的主要应用进行了总结。 相似文献
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本文报道了通过掺杂改性获得的具有低电阻率、高电压响应优值的陶瓷热释电材料PZT-L,用该材料制备的无须配置高阻的红外探测器,达到了可实用化的信噪比,通过常压烧结工艺成功地制备出机械加工强度及成品率满足生产线要求的大尺寸锭子。 相似文献
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非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势。从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域。 相似文献
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热释电红外探测器的元器件(一) 热释电红外探测器综述 总被引:2,自引:0,他引:2
红外线检测技术最早是为科学研究和军事用途而研发的。随着半导体生产技术及新型材料的发展、生产成本不断下降,各种廉价的红外线传感器相继问世,它们逐步被应用于工业生产、农林业、水产业、医学、环境保护及民用产品中。凡是存在于自然界的物体,例如人体、火焰、冰等都会辐射 相似文献
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一种使用热释电探测器的红外比色测温仪 总被引:2,自引:1,他引:1
从工程测量的实际出发,介绍了一种使用热释电探测器的红外比色测量仪的组成原理、硬件结构及软件流程,推导出了适合计算机处理的温度方程。 相似文献
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热释电焦平面是一种非致冷型红外焦平面,本文简述其特点,应用和发展史,介绍了器件的工作原理,从设计角度对电荷注入结构和信号读出技术等作了一些实际考虑,提出了研制中必须密切注意的若干关键性技术问题。 相似文献
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非制冷热释电薄膜红外探测器热绝缘结构的研制 总被引:5,自引:0,他引:5
采用由多孔 Si O2 薄膜和过渡 Si O2 薄膜组成的复合薄膜结构实现了非制冷热释电薄膜红外探测器的热绝缘 .利用溶胶凝胶方法制备了多孔 Si O2 薄膜以及过渡 Si O2 薄膜 ,通过优化制备工艺 ,使得多孔 Si O2 一次成膜厚度达到30 70 nm ,孔率达到 5 9% ;过渡 Si O2 一次成膜的厚度达到 1 88nm,孔率达到 4 % .AFM表明 ,由过渡 Si O2 薄膜与多孔Si O2 组成的复合薄膜结构的表面粗糙度远小于多孔 Si O2 薄膜的表面粗糙度 .该热绝缘结构有利于探测器后续各层功能薄膜的集成 相似文献
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文中介绍了一种采用钽酸锂热释电探测器作光电转换器件的红外二氧化碳浓度分析仪。描述了该仪器的基本原理与结构。该仪器基于朗伯-比尔定律,采用双光束结构、温度补偿、单片机数据处理及选用高性能的钽酸锂热释电探测器关键技术,能够对二氧化碳气体的浓度进行准确、有效的测量和分析。 相似文献
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根据热波传播的特点,采用矩阵法求解一维热传导方程,给出了多层热释电探测器的热传导模型,用矩阵形式写出了多层热释电探测器对正弦调制辐射的热释电响应。用矩阵分析的结果,讨论了绝热层对提高探测器响应的作用及对绝层的要求,分析了多层结构中各息参数对探测器响应的影响。 相似文献
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叙述了用微细加工技术制作的非致冷单片式半导体薄膜电阻辐射热红外探测器的结构模型。基于模型所预测的性能与实验结果相符合。性能分析表明,高的热绝缘和低噪声是高性能微辐射热红外探测器的关键。 相似文献
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基于超导探测器具有量子响应的实验论据,用量子理论导出高温超导薄膜探测器的,表明超导探测器的正比于超导薄膜长厚比的平方根,而与宽度无关。因此,采用超导薄膜(减小厚度),同时将薄膜光刻成弯曲线条或蛇形,增加其长度,将获得高D*值的超导探测器。这是具有量子响应的超导探测器的重要结论。它为超导红外探测器的研制、设计提供了重要的理论依据。 相似文献