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基于激光干涉仪的测量机几何误差检定技术 总被引:12,自引:5,他引:12
误差补偿技术是提高测量机精度的一项重要技术,其内容包括误差模型的建立、误差检定和误差补偿。针对一种特定结构形式的测量机建立其包含13项原始几何误差的误差补偿数学模型,提出基于激光干涉仪的,针对包括定位误差、直线度运动误差、角运动误差和垂直度误差在内的测量机各单项几何误差的检定方法,并通过数学模型对测量机的测量误差作补偿,由此生成的误差检定模块还可以嵌入到测量机软件中,实现对测量机几何误差的快速检定和反复检定。试验表明,经误差补偿,测量机单轴在176mm测量范围内的最大测量误差由补偿前的0.1399mm减小为0.0017mm。利用该方法检定测量机的几何误差并作误差补偿能够有效地提高测量机精度。 相似文献
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针对三坐标测量机几何误差软件补偿中采用线性插值法推算 18项基本运动误差存在的问题 ,从理论上分析论证了运动构件沿各坐标轴运动时基本运动误差中的直线度误差与转角误差的内在关系 ,对基本运动误差的神经网络建模提供了理论依据。 相似文献
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三坐标测量机基本运动误差的相关性及建模 总被引:1,自引:0,他引:1
针对现有几何误差软件补偿过程中采用线性插值法推算模型中的18项基本运动误差存在的问题,从理论上分析了构件沿各坐标轴运动18项基本误差的直线度误差与转角误差的内在关系,提出用4层前向神经网络建立三坐标测量机18项基本运动误差模型。并以国产SZC-654型三坐标测量机为例进行基本运动误差神经网络建模研究,提高了误差补偿精度。 相似文献
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误差修正──提高坐标测量机精度的重要方向 总被引:3,自引:1,他引:2
科学技术的发展对加工和测量提出了越来越高的精度要求,靠提高机床和仪器的制作精度有很大的局限性,即使可能,在经济上也要付出高昂的代价。误差修正技术为解决这一困难开拓了新的前景。 按误差测定与实际运行的时间关系,可分为实时修正与非实时修正。按误差数据的储存与修正方式,可分为硬件修正和软件修正。 实时修正具有符合测量机实际工作条件,能同时修正系统误差和随机误差的优点。但考虑到为了精确测定坐标测量机的几何误差,需采用价格昂贵、体积较大的激光干涉仪等设备,实时修正中要求测量机在运行中始终带有这些检测设备,它不仅可能… 相似文献
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静压气浮导轨采用气体润滑,具有无摩擦、热变形小、寿命长等优点,且气膜的误差均化作用显著提高了其运动精度,满足三坐标测量机高精度、高平稳运动需求。为探究三坐标测量机中静压气浮导轨滑块的承载性能,建立了矩形气浮滑块结构模型,滑块内置小孔节流型气浮垫,运用COMSOL有限元仿真软件对其气浮静态承载特性进行仿真分析,验证了结构设计的合理性。 相似文献
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Xcell22010型三坐标测量机精度试验分析 总被引:1,自引:0,他引:1
三坐标测量机(简称CMM),在测量工件时,所产生的误差可分为两大类:系统误差和随机误差。系统误差都是有规律的,可根据厂方提供的数据进行修正。而影响CMM综合精度(即点位精度)的随机误差,由于来源多,没有规律。诸如:导轨的直线度和垂直度在运动过程中引起的局部误差,测量力的变化引起的误差,测头的重复性误差,工件和不同重量引起的工作台面的变形,周围环境温度的波动,地基的振动,湿度的间接影响等,都会引起随机误差,因此,有必要对其进行计 相似文献