一种数字光栅无掩模光刻对准方法

针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计了对准标记以及具体的实现方案,并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证。结果表明,采用频率可变、图像干净、具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅,真正实现了零掩模成本;并且采用变频率数字光栅可以扩大测量范围,减小位移测量误差。最终可以实现深亚微米的对准精度,满足目前无掩模光刻对准精度的要求。     

用于光刻装置的多光栅标记对准系统

提出了一种用于光刻装置的Si片-工件台对准系统。该对准系统采用多光栅对准标记,标记的每个方向有序排列着四个子光栅。对准时,单波长对准光束照射在标记上,各级衍射光以不同的衍射角反射出。通过空间滤波器,零级和高级衍射光被滤除,而±1级衍射光被保留并相干涉成像在参考光栅的表面。两个较大周期子光栅的对准信号用于对准标记的捕获和粗对准,两个较小周期子光栅的对准信号用于获得粗对准基础上的精确对准。由于该对准系统无须采用楔板组,与ATHENA对准技术相比,降低了制造成本,提高了工程的可实现性。     

投影光刻中相位光栅对准标记变形解决方案

描述了相位光栅对准法在步进重复投影光刻机中的运用,通过比较同轴对准系统和离轴对准系统的原理,工作过程,阐述了当对准标记产生变形时离轴对准系统能更好地修正偏差从而保证光刻工艺中套刻精度的要求.     

投影光刻中非对称型相位光栅对准信号及对准误差计算模型

在半导体投影光刻机中,对因工艺处理产生的非对称型相位光栅对准标记作了详细分析,提出了关于衍射效率、对准信号及对准误差的计算模型,并着重分析了CMP型对准标记和金属淀积型标记的相应特点。     

显象管偏转线圈的设计

本文采用磁标位的傅里叶展开法对偏转线圈中的磁场进行分析,并提出了一种具体的设计方法,将结构参量和偏转磁场的分布紧密联系起来.最后对如何调整偏转线圈的分布以校正光栅畸变,进行了一些定量分析.     

光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法

双光栅叠栅条纹对准方法具有精度高、可靠性强等特点,适用于接近接触式光刻。为了实现高精度测量,实际应用中要求掩模光栅标记与硅片光栅标记高度平行。掩模光栅标记在CCD中成像通常存在一定的倾斜角。由此,在已提出的相位斜率倾斜条纹标定方法上,提出了一种改进方法。该方法充分利用掩模光栅45°和135°两个方向的相位信息标定CCD的成像位置,以实现掩模光栅条纹的标定。对比两种方法分析表明,改进后的方法具有倾角测量范围大、抗噪性强、精度高等优点,理论极限精度优于0.001°量级。     

光栅衍射式同轴对准系统中影响对准精度的因素分析

对掩模，硅片同轴对准系统中影响对准精度的诸因素进行了理论分析，阐述了误差形成机理及相应的对策，以理论分析指导精度实验取得了±0．06μm(3σ)对准精度。     

基于圆光栅莫尔条纹的CGH元件对准

在双计算全息（CGH）检测非球面的方法中,两片CGH元件位置的精确对准是确保高精度测量的必要前提,针对一凸双曲面检测系统,提出了在主CGH的外围刻制四组圆光栅付的方法来实现该系统中CGH元件的精确对准,其原理基于两个栅线频率相近的同心圆光栅重叠能产生莫尔条纹,通过观察条纹的变化来判断两光栅（一组光栅付）的相对偏移,各组光栅付若同时达到同心,两元件亦便对准。通过对圆光栅进行建模,分析了莫尔条纹产生的原理,仿真模拟了Ф5mm口径内分别包含49个和50个同心圆（周期50μn）的两圆光栅在不同偏移时的条纹图,且实际制作了这样的两个圆光栅,并采集了两光栅重叠后的条纹图,其结果表明,眼睛很容易分辨出1／20周期即2．5μm的偏移。     

一种提高折叠光栅光谱仪信噪比的新方法

折叠光栅光谱仪由于折叠光栅制作、安装过程中的工艺问题,子光栅衍射图像易发生倾斜、变形。为了保证在对光栅衍射图像进行处理时不降低分辨率,每块子图像仅抽取单行像素校准,最终拼接成光谱,这导致光谱信噪比较低。为克服这一缺点,提出了一种软件提高折叠光栅光谱仪信噪比(SNR)的方法。通过对原始光谱图像进行校正、一维中值滤波和像素平均三个处理步骤,在不影响波长分辨率的情况下,使光谱信噪比提高约6倍。这种处理方法充分利用了光栅衍射图像的信息,对提高折叠光栅光谱系统探测微弱信号的能力具有实用价值。     

光栅常数的一种简便测量方法

本文给出利用Ｈｅ－Ｎｅ激光束通过光栅所产生的夫琅和费衍射，测定光栅常数的一种简便方法。     

光栅扫描显示系统的设计与实现

介绍一种相控阵雷达系统的光栅扫描显示系统的基本工作原理、设计思想和实现方法 ,分析该显示系统的硬件特点及关键技术、软件的设计思想及特点 ,并对该系统在外场实验中的结果进行分析     

雷达系统中光栅扫描显示器及其视频处理方法

讨论了光栅扫描显示器的技术特点及视频处理技术在雷达显示系统中的应用。     

软件化、网络化的通用雷达光栅显示终端设计

雷达光栅显示技术在雷达应用中占有重要的地位,随着高分辨率、多彩色、高综合要求的不断提高,现代应用对雷达光栅显示技术提出了新的要求。提出了采用软件为主的设计思想,设计了基于Linux的软件化、网络化的通用雷达光栅显示终端,具有系统结构简单,开发周期短,易标准化和易改动等优点,对于提高系统可靠性、灵活性、降低成本等都具有十...     

高分辨率光栅扫描雷达显示系统的发展方向

指出高分辨率光栅扫描雷达显示系统的发展方向,并叙述了实现雷达图像与计算机图形叠加显示方案。     

基于消息驱动的光栅扫描雷达显示器软件设计

提出了在以TMS340X0图形系统处理器为核心的光栅扫描雷达显示器中,用TMSC语言实现消息驱动软件的方法与过程.用此方法设计的软件移植性好、可移植性强,已成功应用于几种不同体制的光栅扫描雷达显示器中.同时也可应用于DOS下消息驱动程序的设计.     

一体化雷达终端光栅显示器设计

简要叙述了雷达终端显示及雷达监控显示的特点,提出了一种使雷达显示与监控显示合二为一的光栅显示器设计方法,并分析了一些关键技术。用此方法设计的雷达光栅显示器能工作在标准的计算机硬件和软件平台上,可方便地工作在多窗口多任务方式,使雷达光栅显示器显示的信息量更大、操作更方便友好、功能更强大。     

高分辨率显示管特性测试中的信号处理

本文着重介绍在高分辨率显示管的屏幕特性测试中信号处理的处理过程——从信号的采集、转换存储到最后得到的计算结果,对信号的采样问题、噪声的抑制问题及设计过程中碰到的一系列问题,都加以探讨并最终得以解决。     

真空荧光显示原理在象素管中的应用

真空荧光显示器件是一种以型显示器，它具有工作电压低，发光亮度高，寿命长，成本代的优点，其制作工艺和部分原理结构用于制作大屏幕显示用彩色象素管。本文将对此进行讨论。     

等离子体显示开启显示世界之梦

阐述彩色PDP发展的历史，PDP发展引发的新显示市场以及等离子体显示技术的前景。     

液晶光阀光导纤维显示管

利用光导纤维与ＣＲＴ相结合的技术,产生高清晰度图像字符信息启动注晶光阀,在外光源的照射下,投影达到高清晰度,高亮度图像,这是国外高质量显示系统的最新成果。