涂层石英压电晶体湿度传感器

早在一百多年前,人们就发现晶体的压电效应.自1959年Sanerbrey提出石英晶体表面沉积物的质量与频率的变化定量关系以后,为石英晶体用于物性分析奠定了理论基础.1964年King首先用涂层晶体设计出一种称为“压电吸附探测器”的装置,测定了大气中微量水和碳氢化合物,从而引起     

提高压电石英传感器灵敏度的方法

目前,测量力和压力的石英压电传感器,大多基于石英纵向压电效应结构。纵向压电元件的灵敏度为:Q_x/F_x=d_(11) (1)式中,F_x——沿 X 轴施加的力;Q_x——同时产生的电荷。该灵敏度不可能大于压电模量d_(11)=2.31×10~(-12)(库仑/牛顿)。测量小力时,采用横向压电元件传感器。薄片形的横向压电元件如图1所示。这种压电元件的灵敏度为:     

压电智能结构中压电驱动器最优厚度的研究

利用弹性力学和压电学的有关理论,基于线性应变假设,深入探讨了压电智能结构中各层材料特别是粘结层材料的物理特性对驱动效果及驱动器最优厚度的影响,并进行了计算机数值模拟。理论分析和数值模拟的结果表明：基体和压电层的厚度比存在最优值,使得驱动效果达到最佳;文中定量地给出了两者之间的关系。     

石英器件加工工艺及最新进展

介绍国内外石英器件加工工艺发展,以石英摆片为例,介绍石英器件常用的加工工艺以及石英器件加工工艺的最新工艺进展。     

石英晶片厚度检测仪研究设计

本文所研究设计的基于单片机系统的石英晶片厚度检测仪是为生产中测量晶片厚度而设计的，它利用LVDT传感器检测晶片厚度信息，在单片机系统中进行数据处理，利用传感器感应电势与晶片厚度成线性的关系，将厚度信息进行转换显示。其具有结构简单、操作方便、性能稳定可靠、精确度高等特点，可广泛使用于超薄物件的精确测量，具有很好的应用前景。     

论真空镀膜射频叠加直流偏压工艺

VCT(Vacuum coating technology真空镀膜技术)是现阶段较为先进的材料合成及加工技术,系统经VC(Vacuum chamber真空室)、泵组、电源以及控制系统构成.VCT的电源是整个工艺的主要构成因子,VCT的电源性能会从根本影响镀膜工艺的流畅性和质量.目前RF辉光放电镀膜装置大多以RFPS(R...     

真空镀膜工艺参数对于薄膜性能的影响

薄膜镀制是固态的膜层材料在真空条件下蒸发或者溅射,经过气相传输,在基片表面沉积成薄膜。相同的薄膜设计,因操作人员、时间、设备、工艺参数等的不同,结果相差甚大。影响薄膜特性的工艺参数非常多,但对于这些工艺参数的测控却非常有限。举例来说,     

薄膜厚度的石英晶体差动在线测量方法

本文阐述了利用石英晶体的振荡频率与晶体厚度间的关系,采用差动测量技术,实现薄膜厚度在线测量的原理、方法及系统组成.该法具有精度高、温度稳定性好的特点.     

PC机控制的带钢连续真空镀膜生产线

ＰＣ机控制的带钢连续真空镀膜生产线陈修灿（机械部桂林电科所）带钢真空镀膜技术是６０年代兴起，８０年代发展成熟的先进工艺技术。真空镀膜，镀层质量高：致密、无气孔；多功能性：可蒸镀各种元素及合金、可单面、双面、差厚镀层；低耗：降低能耗、降低镀材消耗及无环...     

智能结构中压电材料厚度的设计

研究了在振动控制中压电元件和主结构体之间厚度的匹配关系。通过对智能复合材料的分析,得出了对称粘贴、功能不对称的压电元件所感受的有效弯矩,给出了压电元件产生最大弯矩时的最佳厚度,并讨论了材料弹性模量的影响。     

大尺寸玻璃钢装饰制品真空镀膜工艺研究

介绍了用真空镀锌机进行了大尺寸玻璃钢装饰制品表面金属化的主要工艺,其中底面漆材料的选择及蒸发源的布置与镀件的安装是关键。用真空蒸发镀镜机镀制了玻璃钢浮雕、花盘、线条及人物和动物造型等,取得了理想的装饰效果。     

压电石英晶片扭转效应理论研究与验证

从各向异性弹性理论和麦克斯韦电磁理论出发,较系统地探讨了圆形压电石英晶片扭转效应理论,得出了扭转应力场与非线性极化电场分布规律,并采用有限元法求得了极化电荷电场在压电片内的分布。根据理论分析,用分割电极法有效地在压电片表面布置了检测电极,理论与试验结果均表明电极检测的极化电荷量与外转矩成线性关系,理论与试验基本符合。这些研究为新型转矩传感器与测力仪的开发奠定了必要的理论基础。     

新型压电光学扫描器的性能及控制

详细分析了压电扫描器的机械特性，及其对扫描特性的影响，通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变，从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的扫描角度俑达到３°以上，扫描频率为２０Ｈｚ以上，扫描线性度为１％。     

压电智能悬臂梁的压电片位置、尺寸及控制融合优化设计

对压电智能悬臂梁振动控制中的压电片的位置、尺寸及其控制参数进行研究.在对压电片和基板的耦合特性进行分析的基础上,建立智能悬臂梁的压电传感、致动方程及基于闭环控制系统的状态方程,并以系统的存留能量作为目标函数,建立压电智能悬臂梁压电片的位置、尺寸和控制参数的优化模型及一阶灵敏度分析表达式,并采用移动渐进线法(Method of moving asymptotes,MMA)对模型进行求解.采用Simulink对优化结果的动态响应特性进行仿真分析,仿真结果表明,采用提出的优化模型及算法对悬臂梁压电片的位置、尺寸和控制参数进行优化是合理的.     

数字式压电振子厚度机电耦合系数测试仪

本文根据脉冲响应电压测试压电振予厚度机电耦合系数k_i原理推导了新的计算公式,由于该公式较简单,仅需借助袖珍计算器即能计算,用这种方法对一些样品测试的结果与通常的方法比较非常相近。根据这种方法设计了数字式压电振子厚度机电耦合系数测试仪,它包括模拟取样电路和带可编程序计算器的数字电路,该测试仪器对样品要求较宽,测试迅速,而且其中数字控制电路可推广到其它测试仪器。     

基于激光视觉的石英摆片厚度精密测量方法

石英摆片厚度的检测能够提供产品生产过程中的重要信息,通过实时检测石英摆片的厚度,可以生产出高质量的产品,并能够识别和排除有缺陷的产品。为了提高石英摆片厚度参数检测的精度和效率,提出了一种利用激光视觉技术进行石英摆片厚度测量的非接触测量方法。该方法根据斯涅尔的基本光学定律,通过视觉测量系统获取激光光斑的图像;利用改进的Zern ike矩边缘定位算法及优化的激光光斑中心定位算法计算石英摆片的厚度。设计了半导体激光器恒功率驱动控制系统和激光光束准直系统,分析了激光入射角角度的选取原则。实验结果表明:该方法稳定性好,测量精度高,可以实现石英摆片厚度的非接触精密测量。     

石英反应管直径和厚度的非接触测量

提出了一种基于计算机视觉的非接触石英反应管测量方法,首先采集一幅图像,然后进行图像处理、边缘检测,最后采用曲线拟合,根据拟合所得数据求出反应管的直径和厚度。     

石英晶体横向场激励压电传感器的频率温度特性

为分析石英晶体横向场激励(lateral-field-excitation, LFE)压电传感器的频率温度特性,文中在厚度场激励(Thick-field-excitation, TFE)压电传感器计算频率温度系数方法基础上,增加一个电场方向的自由度,推导计算LFE压电传感器频率温度系数的公式,并使用该公式计算常用Y旋转切石英晶体横向场激励传感器的一阶、二阶和三阶温度系数,并将其与不考虑压电效应、厚度场激励的2种情况进行比较.通过计算发现,石英晶体在3种不同情况下的频率温度特性曲线基本重合,AT切和BT切石英晶体LFE压电传感器具有零温度系数.