MEMS压力传感器项目通过科技部专家验收

西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题——“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前顺利通过国家科技部专家组验收。     

柳工承建装载机国家863项目通过验收

由国家科技部下达的代表当今国内最高水平的“装载机远程服务系统与智能化挖掘机”国家“863”计划项目，经过柳工一年多的努力，日前已顺利完成，并于近日通过了国家科技部专家组的验收。     

面向石化等重要行业的MEMS压力传感器

西安交通大学维纳仪器有限责任公司以高科技为立足点．以开创自有品牌为宗旨．主要从事MEMS传感器及有关仪器的专业设计与开发。     

MEMS压力传感器性能测试系统设计

设计了一种基于51单片机的MEMS压力传感器的测试标定装置,该标定装置由3部分组成:压力容器泵体部分、测试控制电路部分、微型真空气泵部分。利用该测试装置对实验室设计制作的微压力传感器样品进行初步性能测试,并选取其中部分MEMS传感器实验样品进行系统标定。测试实验结果表明测试装置实际可行,为以后的微传感器测试工作提供了理论参考和实验依据。     

MEMS压力传感器新型膜结构设计与优化

提出了一种新型的压力膜结构来实现MEMS压力传感器的高灵敏度与低非线性度。通过在压力膜上设计出短窄梁结构来形成高应力集中区域及将方形压力膜改为椭圆弧瓣状压力膜的方法来提高传感器的灵敏度;通过在压力膜的受压表面上边缘处设计出方岛结构及在压力膜背面设计十字架梁结构来降低传感器的非线性度。最后,利用有限元方法对新型压力膜的力学性能进行仿真分析,建立了膜结构尺寸与力学性能之间的关系模型并完成了膜结构优化,通过与其他膜结构对比表明：文中提出的膜结构具有最大的薄膜应力能实现高灵敏度,较低的薄膜最大变形可保证高线性度。     

高频响MEMS石墨烯压力传感器设计

为了满足在恶劣环境下爆炸冲击波压力的测量需求,提出了一种结构为上层“膜+凸柱”与下层“十字梁”的高频响MEMS石墨烯压力传感器。使用ANSYS workbench软件对该结构进行分析,结果表明,其频响为1.34 MHz,在满量程60 MPa情况下,十字梁根部位置处石墨烯的应变最高可达0.259%。最后,使用方块电阻计算方法对石墨烯电阻值进行预估。为高频响石墨烯压力传感器的设计提供了一定的可行性的结构方案。     

基于信噪比的MEMS压力传感器设计与分析

为了研制高精度MEMS压阻式压力传感器,基于信噪比对其压敏结构进行了设计与分析.首先运用ANSYS有限元模拟仿真获得了不同压敏电阻结构芯片的应力分布,并对其噪声和信噪比进行了理论分析,发现在低频区闪烁噪声是传感器噪声的主要来源.仿真结果表明,芯片结构对其噪声、输出信号和信噪比均存在影响,增加压敏电阻折叠条数通常有助于获...     

玉柴电控柴油轿车项目通过科技部验收

日前，玉柴《低排放电控柴油轿车开发与关键技术攻关》项目顺利通过国家科技部组织的专家组验收，标志着该项目已经进入可批产阶段。玉柴在国内最早开发设计微轿柴油机的单位之一，其设计能力和设计水平为国内之最。     

新型电容式微型压力传感器

文中从应用开发ＭＥＭＳ产品的实用角度出发,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的ＭＥＭＳ制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主技术难题,最后,详细给出了电容式微型压力传感器的加工工艺过程。     

基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统的设计

为解决飞行器气动参数测试系统中压力测量时的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统.介绍了系统结构、功能、数据传输及软件实现.利用Visual C + +6.0对上位机软件进行编程,实现了对核心补偿器件MAX1452的可视化操作与控制.通过最小二乘法进行曲线拟合,得到零点及灵敏度温度漂移补偿数据.运行结果表明:系统工作可靠,压力参数测量精度优于0.5%FS.     

重庆机床国家科技攻关课题通过验收

由重庆机床（集团）有限责任公司承担的西部开发科技行动“数控高速高精度滚齿／插齿／磨齿机床的成套技术开发”课题，日前通过了国家级专家组验收。 据悉，该项目运用可重构和模块化技术理念，研制成功。转速在2000rpm以上的新型滚刀主轴系统”、“转速在2000rpm以上的新型滚刀主轴系统和冲程在1500次／分以上的新型插齿机主轴系统”等8项关键技术及设备，     

微型电容式压力传感器的制作与测试

从应用开发MEMS产品的实用角度出发，介绍了利用硅一硅键合技术制作的微型电容式压力传感器，给出了详细的制作工艺及主要工艺步骤图。对微传感器所用的测试装置的组成、测试电路的工作过程进行了详细介绍和深入分析。最后对不同尺寸的微传感器器件进行了测试，并对测试结果进行具体分析。结果表明：该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。     

广研院两项科技攻关项目通过验收

近期，由广州机械科学研究院检测与信息研究所、液压研究所分别承担的广州市科技攻关项目“重大装备润滑状态监测与磨损故障诊断技术中心建设”和“冶金设备大型智能化液压伺服控制驱动单元”顺利通过专家组验收。此次验收由广州市科技局组织，专家组通过听取项目负责人汇报、现场审查等环节后，一致认为两项目完成情况良好，同意通过验收。     

基于MEMS压力传感器的研究

提出了一种新型高精度高温压力传感器,此压力传感器以硅片为弹性片,敏感材料为Ni-Cr合金,利用溅射合金薄膜压力敏感元件和先进的加工工艺技术制作而成。对溅射薄膜压力传感器弹性膜应变进行理论和三维有限元分析,再用先进的软件ANSYS模拟弹性膜片的应变分布,研究应变与膜的大小、厚度的关系。最后确定敏感电阻的最佳布置区域,提高了传感器的灵敏度。     

可增加硬盘容量的数字输出MEMS压力传感器

美国飞思卡尔半导体（Freescale Semiconductor）开发出了采用MEMS技术的数字输出压力传感器“MPL115A”。其中内置有A—D转换器，可缩小外置电路尺寸。     

中橡桂林斜交工程巨胎研发项目通过验收

近日,受广西区商务厅和财政厅委托,桂林市商务局和财政局组织有关专家,在桂林对中国化工橡胶桂林有限公司承担的“53／80—63-76PR（E-4）斜交工程巨胎出口研发”项目进行了验收会。专家组认真听取了项目承担单位的项目完成情况介绍、审查了项目验收材料、并进行了实地考察、质疑,形成验收意见,并一致同意该项目通过验收。     

MEMS高温压阻式压力传感器闭环控制方法

为提高MEMS高温压阻式压力传感器的整体性能,提出一种MEMS高温压阻式压力传感器闭环控制方法。明确MEMS高温压阻式压力传感器在工作过程中产生的变谐效应,分析了静电驱动和电容检测。根据分析结果设计出闭环控制策略,在闭环控制过程中采用二元差值算法补偿传感器的温度误差,提高控制精度。通过灵敏度校准和零点失调校准,实现了MEMS高温压阻式压力传感器的闭环控制。试验结果表明,所提方法的控制精度高、信号采集准确率高及控制性能好。     

MEMS差动电容加速度传感器

介绍了一种MEMS差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对MEMS Sensor选择差动电容传感器的理论依据进行了分析，叙述了MEMS差动电容加速度传感器各项参数的设计依据，包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等，同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理，不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移，结构合理，达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。     

非接触式压力微传感器的设计

就如何利用MEMS技术,实现压力微传感器的设计进行详细论述。该传感器利用特殊的机械结构,大大改善了传统接触式压力传感器,工作区域狭小,线性度较差等问题,使压力传感器在高载荷条件下,由小扰度向大扰度过渡时,不产生非线性跳变,从而大大提高了器件的稳定性与动态特性。