金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策

集成电路制造中,AlSiCu互连线一般使用干法刻蚀来制造,刻蚀后需经清洗工艺将残留物去除掉。而在清洗时,合金表面会出现空洞。我们在对空洞形成原理分析后发现,AlSiCu合金是由α相铝铜和富含Cu的θ相铝铜合金组成,在清洗过程中会发生电偶腐蚀而腐蚀Al。并且清洗使用的化学试剂由于含有胺根,水解后加剧了对Al的腐蚀。我们通过降低AlSiCu合金溅射时的衬底温度,将AlSiCu合金表面氧化,去离子水清洗时通入CO2这三种方案来防止AlSiCu合金在清洗时被腐蚀,从而提高了产品的成品率。     

游标卡尺的任意刻线间的公差规定可以取消

孙福根同志在这篇文章中提出一个很值得思考的问题:在制造卡尺的时候,还要不要继续保留任意刻线间的和相邻刻线间的公差要求?如果它们并不影响测量精度而可予以取消的话,那末将大大地促进卡尺的生产。就我们所知,在这个问题上存在着两种不同的意见。鉴于过去对游标卡尺测量误差的理论分析工作做得不多,有必要就这个问题展开讨论。本刊在本期刊登孙福根同志的这篇文章的同时,也刊登陈践同志的看法,目的是想借此引起有关部门对此问题的重视,并希望有更多的同志参加这一讨论,使问题得到妥善的解决。     

规定任意刻线间公差要求是合理的

孙福根同志在这篇文章中提出一个很值得思考的问题:在制造卡尺的时候,还要不要继续保留任意刻线间的和相邻刻线间的公差要求?如果它们并不影响测量精度而可予以取消的话,那末将大大地促进卡尺的生产。就我们所知,在这个问题上存在着两种不同的意见。鉴于过去对游标卡尺测量误差的理论分析工作做得不多,有必要就这个问题展开讨论。本刊在本期刊登孙福根同志的这篇文章的同时,也刊登陈践同志的看法,目的是想借此引起有关部门对此问题的重视,并希望有更多的同志参加这一讨论,使问题得到妥善的解决。     

几种常用腐蚀剂的配方

在量具修理和制造工作中,经常要进行刻字和刻线。而字和线的显示须采用腐蚀的方法来达到。下面将我们多年来常使用的几种腐蚀剂的配方和主要用途及适用材料介绍如下,以供参考。几点说明:1.以上腐蚀剂采用的工艺流程如下:清洗(除油、除锈)→涂保护层→刻划→腐蚀→清洗。2.保护层:保护层常采用蜂腊或沥青溶液。蜂腊可用45瓦左右的电铬铁涂于待刻工件表面,涂层厚薄均匀,厚度0.05～0.10毫米之间。沥青溶液,可用香蕉水(酒精、汽油也可以)调合,浓度呈紫红色即可。涂层厚度0.07～0.10毫米。保护层涂上之后,必须等完全硬化后方可刻划腐蚀。     

三氯乙烯脱脂剂的腐蚀效应

三氯乙烯(化学式CHCl=CCl_2)是良好的有机溶剂,它广泛地应用于精密零件和无线电元件制造工艺的清洗脱脂工序中。但是迄今为止,有关三氯乙烯在热工作状态下的性能情况尚无实用的数据资料。按照一般概念,三氯乙烯属稳定的有机化合物,应该对金属材料不具有腐蚀作用,然而我们在制造三氯乙烯脱脂设备的实践过程中,发现工业用三氯乙烯在热工作状态下,几乎对常用金属材料都具有腐蚀效应。显然,掌握与了解这一效应对于清洗工艺、设备制造和维修保养都是必要的。     

游标卡尺的修理技巧

一、前言在检定卡尺时如发现示值误差超差,首先要进行示值误差来源的分析。造成卡尺示值误差超差的原因大致有以下几点:(1)测量面与主尺基面在两个方向上不垂直。(2)主尺基面和游框基面平直性不好。(3)主尺弯曲变形。(4)主尺基面与主尺刻线不垂直。(5)测量面平面度不好。(6)测量面平行度不好。(7)游标刻线与主尺刻线倾斜。     

基于全站仪法塔尺刻线示值误差的研究与试验

为避免塔尺刻线示值误差在检测时中间格挡的影响,本文结合高度卡尺和全站仪,对其检测方法进行探讨,并分别建立数学模型进行试验。试验表明：塔尺两端刻线示值误差未超过-0.20mm,且全量程刻线示值误差均小于0,整体刻线值较小,在3750mm刻线处的示值误差最大为-1.40mm,满足JJG 8-1991《水准标尺检定规程》中全长(5m)误差小于±3.0mm要求。     

关于柱塞弹簧在制造工艺过程中的表面腐蚀

本文以柱塞弹簧在工厂制造工艺过程的实践为基础,应用金属腐蚀理论,着重探讨了柱塞弹簧表面腐蚀的常见形态、表面腐蚀与工艺过程之间的关系、表面腐蚀对使用性能的影响及防止腐蚀的工艺措施等,对认识柱塞弹簧的表面腐蚀故障、提高其生产合格率、克服生产薄弱环节具有实用价值。     

游标卡尺调整零位的修理方法

游标卡尺经过多次周期检定和修理后 ,利用调整压活游标螺钉位置的方法 ,来达到检定规程中关于“零位的正确性”已不可能了 ,在实际检修中往往出现零位偏负差的现象。经我们多次实践 ,采用如下方法修复 ,即可调好零位又不影响卡尺外观。将卡尺游标片从尺框上取下 ,尺框上原螺钉孔用Φ2 5的钻头钻孔 ,为保持尺框的外观 ,不要将孔打通。然后用Ｍ 3丝锥攻丝 ,再拧上Ｍ 3的螺钉 ,将露出多余部分锯掉并锉平。再将尺框按要求装上主尺 ,并将游标的零刻线、尾刻线与主尺的零刻线、尾刻线按要求对齐 ,并用小手虎钳压紧 ,采用划线方法找出 3个 (或 4个…     

万能量具的示值误差与修正值

工作中对于测量上限大于或等于100mm的游标卡尺的示值进行捡定时,除了采用六等量块检定外,还常常在二米测长机上进行复核或仲裁,从而排除人为的误差,增加检定的可靠性。 但是在用这两种方法检定时,其数据的处理应引起我们的特别注意,否则会得出相反的结论。当检定1m大卡尺990mm处的示值时,我们取990mm的标准量块作为真值,这时若大卡尺的读数为989.8mm,那么其示值误差为: 4示=989.8—990=-0. 2mm。 为了复核和仲裁,我们把这把大卡尺的副尺零刻线对准主尺990mm刻线处,拧紧固紧螺钉,在二米测长机上用内测勾采取比较法测得其开口尺寸为990.2mm,…     

结构光照明层析多样性表面形貌测量

围绕散射表面和复杂微结构表面形貌高精度测量需求,对基于结构光照明的表面形貌测量技术与系统进行了研究,设计了基于科勒照明结合数字微镜器件调制的具有良好结构光对比度和均匀性的结构光照明光学系统,提出了基于高斯曲线插值的虚拟狭缝SlitMask结构照明共焦层析算法与基于迭代高斯拟合的峰值提取重建算法,建立了结构光照明表面形貌测量系统,利用单刻线对系统进行准确性与重复性测试,结果表明相对示值误差为1.87%,重复测量结果的标准差为0.0014μm。对玻璃多刻线样板和车削表面进行测试,验证了本系统不仅可用于反射表面的测量,还对散射表面具有较好的测量能力。     

光学投影仪投影屏母板套字制作及照相复制方法

一般分划零件母板的套字是在专用的缩放机上进行的 ,根据图纸要求选择字模 ,调整机床及刻刀位置 ,使刻字与刻线对正 ,实现分划零件母板的刻字与刻线的套刻。光学投影仪投影屏 (36 0mm )系玻璃分划零件 ,全圆周等分 36 0°刻线 ,每 1 0等分刻长线和数字。由于零件尺寸大 ,刻字线较宽 (0 3±0 0 5mm) ,用刻刀无法完成刻字工作。因此 ,必须制板套字。为了解决套字的对正 ,我们采用了刻线对正方法 ,其工艺过程如下 :一、投影屏母板的制作1 线板的刻制将36 0mm的玻璃板 ,置于圆刻划机上 ,全圆周等分 36 0°刻线 ,每 1 0等分刻长线 ,制得线…     

LYM-3量具研磨机装夹定位的改进

叙述了量具研磨机的结构工作原理（不含千分尺部分）以及各种参数变化对研磨的影响。对存在的问题进行了系统归类和对比分析，提出了改进方法，如单独配研磨器减少研磨行程，利用钳口铜块画刻线确定卡尺位置，找正主尺与直角尺两侧面重合而确保外量爪与滑块平行。     

不锈钢卡尺的镀铬工艺

近年来,我厂承接了外销不锈钢带表卡尺的制作任务,根据外商提供的样件,主尺刻线面镀乳白铬,要求镀层散光性好,结晶细致,厚度均匀,而除主尺刻线面外的其它部位不得有铬层. 为达到上述要求,要同时解决三个问题: (1) 镀层与不锈钢基体结合牢固;(2) 镀铬部位符合图纸规定; (3) 铬层的外观色泽与外商来样基本相同.本文着重介绍150毫米不锈钢卡尺主尺刻线面镀铬的工艺方法. 一、工艺流程卡尺主尺刻线面吹砂-→装挂前流动冷水洗-→专用夹具装挂-→流动冷水洗-→预热(1～2分钟)-→阳极腐蚀-→冲击电流(从小电流逐步上升)-→正常电流电镀-→回收槽清洗-→流动热水洗(40～60℃)     

制冷行业中水基清洗防锈剂的应用

1　引　言水基清洗从 2 0世纪 70年代开始在机械制造中推广应用。随着人们环境意识的增强和技术进步 ,水基清洗近年来发展迅猛。水基清洗剂基本上由水、表面活性剂、无机化合物助洗剂、消泡剂等组成。清洗工艺过程为 :脱脂→水漂洗→去离子水漂洗→防锈→干燥。水基清洗与溶剂清洗之间最大的不同是清洗后的防锈干燥。有机溶剂清洗后零件不会腐蚀生锈 ,使用方便。水基清洗后在水分蒸发过程中会使金属材料腐蚀生锈 ,即使用高纯去离子水漂洗也无法达到不生锈的目的。因此采用水基清洗剂清洗时均要用脱水防锈油或水剂防锈剂防锈。机械制造中采用…     

内燃机轴承铅-锡-铜镀层退除工艺

内燃机滑动轴承制造过程中,铅-锡-铜三元合金减摩镀层的电镀是重要的工序之一。由于种种原因,交检产品中有部分镀层不能满足技术要求,需要返修。若要用镗加工的方法彻底清除不合格的镀层,那么,总会有一些轴承因壁厚超下差而报废。因此,必须寻求新的返修方法,适应轴承生产发展的需要。1 退镀原理 文献中介绍的有关铅、锡及铅-锡二元合金减摩镀层的退除工艺有十多种,但还没有发现介绍铅-锡-铜三元合金减摩镀层退除工艺的文献。开始我们借鉴近似镀层的退除工艺退除轴承的三元合金减摩镀层,但均遭失败。主要的现象是不能退除或退除速度极慢或钢背、铜基合金基体遭受腐蚀。 我们从分析铜、铅、锡在三元合金镀层退除过程中的化学、电化学行为和钢背、铜基合金基体的腐蚀机理和防腐蚀原理这样两个问题入手,寻求解决问题的途径。其主要目的是要确定在用电化学法退除铅基三元合金镀层的过程中,暴露出的铜基合金基体免遭腐蚀的配方及操作条件。经反复试验,我们确定了配方中的主要成分及缓冲剂、缓蚀剂,用正交试验法确定了各成分含量配比及操作条件。用该电化学法退除的轴承,表面用轮廓仪测定,其粗糙度仍保持原有的0.4,没有受到任何腐蚀。退除后的轴承     

铝板表面的清洗方案研究

在空分设备精馏塔制造过程中,铝板清洗的目的是为铝板形成表面氧化层及铝板之间的焊接创造良好的表面条件。但由于铝板清洗后表面不清洁,在焊接加工过程中常发现焊缝表面存在气孔、夹渣、未焊透等现象。经过试验,确定铝板清洗方案。详细叙述了清洗步骤及清洗液配方,最后总结了铝板清洗过程中的注意事项。     

薄膜制备中的微蚀孔问题

研究了自终止腐蚀停法制备浓硼重掺杂硅薄膜的腐蚀孔问题．许多MEMS结构需要进行2次或2次以上的深刻蚀,有些需要在多次深刻蚀后释放超薄的悬空薄膜结构,这时薄膜表面极易出现微小的腐蚀孔．分析可知,微蚀孔并不完全在第2次腐蚀的过程中形成,而是从第1次深腐蚀过程中对掩膜层的钻蚀开始的．对掩膜层的钻蚀,导致硅表面出现轻微腐蚀,形成细小的凹坑,并在浓硼扩散和第2次深腐蚀中被放大,最终在成膜过程中形成小孔．分析了微蚀孔的成因,提出了工艺上的解决方法,形成了一套重复性好的成膜工艺．     

盐酸清洗腐蚀钢片用缓蚀剂的研制及应用

用盐酸清洗石油化工产品腐蚀试验中样片表面的腐蚀氧化产物时易产生过度酸洗.以盐酸为清洗剂,乌洛托品、苯并三氮唑、OP-10等化学试剂复配缓蚀剂,清洗残渣燃料油腐蚀试验后钢片表面的腐蚀产物,并用失重法和金相显微镜表征清洗效果.试验表明复配的缓蚀剂缓蚀效果良好,该缓蚀剂可以使盐酸在4 min内有效清除钢片表面的腐蚀产物而不伤害钢片基体,有效提高了腐蚀试验的精密度.     

在大型工具显微镜上作小型精密刻线

我们在解决小型卡板校对块的精密刻线工作中,采用下述装置挖制刻线深度。把装上划针的夹具(如图1)安装于显微镜的物镜头上,并用阶梯高度为10毫米的对块调整千分表的安装高度(如图2所示)旋转显微镜聚焦粗调手轮下降针尖,再旋转微调旋钮使针尖与对块表面接触(可