阿贝原则再认识

为探究阿贝原则在现代超精密制造和测量中的适应性,回顾了古典阿贝原则及其扩展,剖析了要素布局产生的一次误差,研究了二维长度测量中的阿贝原则。通过分析测量系统的标准量、被测量、瞄准点、读数点、导向面5个要素的不同布局产生的误差,发现当标准量和被测量按经典阿贝原则要求处于同一条直线上,而其余要素不在这条直线上时,也会产生一次误差。提出了瞄准共线、读数共线、导向共线以及阿贝臂误差、瞄准臂误差、读数臂误差、导向臂误差和阿贝综合误差等概念。揭示了阿贝原则的隐含条件,重新表述了阿贝原则。讨论了上下堆叠式和共平面式二维结构的阿贝原则适应性,提出了一种提升工具显微镜精度的简明方案,介绍了一种减小阿贝误差的共平面二维精密工作台。对阿贝原则的再认识,可更新设计理念,用于研制超精密仪器和机械,也可用于经典量仪的精度再提升。     

一维加工设备阿贝误差实时修正方法的研究

介绍对精密车床、螺纹磨床等一维加工设备的阿贝误差进行实时修正方法的原理与组成，给出了验证该方法的实验装置及实验结果，在３．７ｍ的行程内将最大２５．２μｍ的阿贝误差修正到了－０．７μｍ。     

用双频激光干涉仪实时修正阿贝误差的方法和实验

讨论了对机床及某些测量仪器的阿贝误差进行实时修正的的方法、原理和组成，同时介绍了验证该方法的实验装置及实测结果，在２．５ｍ的行程内，将最大１９．４μｍ的阿贝误差修正到１．６μｍ。     

上海精科WAY-2S数字阿贝折射仪成批出口南美

在欧盟受到欢迎的上海精密科学仪器有限公司WAY-2S数字阿贝折射仪，近日又登陆南美，受到了该地区用户的青睐。2010年12月上旬，上海精科接到巴西科学仪器经销商要求供应一批WAY－2S数宁阿贝折射仪的定单，这是该国经销商下的较大的仪器定单。     

消除阿贝误差的一种新方法

本文以丝杠导程的激光测量为例,提出了一种简便的消除阿贝误差的光学方法,确定了光学系统的有关结构参数,证明了该方法的有效性。该方法简单而易于实现,可应用于多种光学测长系统以有效地消除阿贝误差的影响,提高测量系统的精度。     

超精密运动台激光测量模型及误差补偿算法

分析激光测量中阿贝误差与余弦误差产生的原因,分两种情况讨论阿贝误差与余弦误差对测量光程的影响：一是忽略激光干涉仪加工误差与安装误差的理想模型;二是考虑干涉仪加工误差与安装误差的非理想模型。计算两种情况下测量光束的光程长度,建立x、y方向直线测量位置不受运动台倾斜或旋转影响的测量模型,进而推导出运动台五自由度激光测量算法。实例证明该算法能有效地进行阿贝误差与余弦误差补偿,满足超精密运动的要求。该算法已成功应用于半导体加工设备中。     

论光学计量仪器设计中的两个重要原则

阿贝原则和运动学原则是光学计量仪器设计中两个重要原则。它们不仅对量测类仪器的设计有指导意义,而且也受到了精密机械设计人员的普遍注意。在“阿贝误差”的分析计算中,过去一直沿用初等几何法,因而难以解决像“二阶误差”的存在与否、在多维测量中违反了阿贝原则所带来的影响等问题。本文从排列组合原理出发,利用坐标变换法研究了阿贝误差问题。对运动学设计原则,本文也提出了一种见解。     

激光测量几何误差补偿算法

激光技术作为重要的测量手段,已经被广泛的应用到精密运动控制系统中。激光测量误差直接影响到运动控制系统的控制精度,其中阿贝与余弦误差等几何误差对激光测量精度影响显著,在精密运动控制中必须予以补偿与校正。以精密运动台多维激光测量模型为基础,介绍了阿贝与余弦误差产生原因。在不考虑激光干涉仪的加工和安装误差的情况下,推导了运动台存在倾斜角度下的阿贝与余弦误差计算模型,在此基础上给出了激光测量数据误差补偿模型,以实现测量数据的实时补偿与修正。算法已经成功应用在实例中,表明该算法的有效性与可靠性。     

成对角接触球轴承轴向游隙测量仪

介绍了成对角接触球轴承轴向游隙的测量原理和测量仪器的结构,重点指出了仪器测量的关键要点,并指出测量仪表置于轴心线上,符合阿贝测量原则,可减小测量误差。     

零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析

为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台.该工作台做三维运动,x导轨和y导轨采用共平面结构;工作台三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合,x向和y向测量系统的测量线与xy导轨面共面.针对本工作台的特点,在参考常规三坐标测量机误差分析的基础上,详细分析了该工作台中各项误差的影响,给出了影响测量机不确定度的主要误差源,并对这些误差提出了修正方法.在研制的工作台上对一等量块进行了实验测试.结果显示,一等量块工作面的平面度测量标准差为11 nm,台阶高度标准差为21 nm,其中台阶高度测量平均值与检定值相差1 nm.理论分析和实验结果表明,所研制的工作台从结构上避免了CMM中多项误差源的影响,尤其是避免了阿贝误差的影响,可用于高精度的三维测量.