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相似文献
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1.
最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验证数据。  相似文献   

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双波长激光量块干涉仪研制   总被引:2,自引:2,他引:0  
本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学,机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术,该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量。  相似文献   

5.
GLI-100型量块激光干涉仪   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。  相似文献   

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严歆  赵静  王飞 《计测技术》2000,(4):22-25
分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量,空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。  相似文献   

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该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到(0.02±0.2L)μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量。  相似文献   

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通过用633nm 短频He-Ne 激光代替氪灯,提高小数测量的准确度等措施,对常规柯氏干涉仪进行了改造,结果获得测量量块中心长度的标准不确定度为uc= (5.5nm )2+ (8.3×10- 8L)2,大大优于一等量块的最大允许不确定度  相似文献   

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本文介绍了双波长激光量块干涉仪中使用的温度、湿度和气压传感器,描述了其工作原理、设计方案、测量不确定度以及校准方法。这些传感器同样可用于其他高准确度长度测量的激光干涉系统中。  相似文献   

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本文实践和理论相结合,利用电感式传感器对接触式干涉仪进行改装,数据由微机处理,提高精度及工作效率,并进行测量不确定度评定。  相似文献   

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比较了国际上几种量块位相修正量的测量方法,并提出测量量块位相修正量的设想。  相似文献   

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本文介绍了一种将光电耦合器件CCD摄像技术,计算机图像处理技术引入传统的接触式干涉仪.实现量块检定光电化.智能化的检定系统及所用数据处理方法。  相似文献   

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另件的高精度测量通常是利用量块,以相对测量方法进行的,并且要求对各种测量误差分量,包括由于量块和另件的温度变形引起的误差,进行严格的评估.确定温度变形量△Tl的主要困难是因为缺少量块和另件制造材料的线膨胀温度系数(TKAP)的真实数值.众所周知,材料的线膨胀系数取决于它的化学成份及其热处理的金相组织和其它一些因素.以上所说线膨胀温度的系数数值都取自有关表格中,但是表列数值是对一定的温度范围而言的.并且所测量对象、仪器环节和据以测定线膨胀的那些试样等的化学成份和金相组织的情况,所知仅是近似的.因此由于所分析的材料物理、化学性质上的差异,表中所列出的TKAP的数值,一般地与其实际数值不完全相同,而且表中所列的一般是数值范围.  相似文献   

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覃顺航 《工业计量》1998,8(3):27-30
1前言新量块检定规程《JJG146—94》取代了原规程《JJG100—81》。新规程与老规程比较,除提高了各个等级的标准外,另一变化就是检定方法及原理在一定程度上作了改进,引入修正量c2,突出了温度对量块比较测量的影响,具体体现在23.4的四条规定上...  相似文献   

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比较了国际上几种量块位相修正量的测量方法,并提出测量量块位相修正量的设想.  相似文献   

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激光干涉仪非线性的测量   总被引:2,自引:2,他引:0  
许婕  徐毅  叶孝佑 《计量学报》2003,24(4):271-274
激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1~5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。  相似文献   

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本文叙述了一种用量块对双频激光干涉仪的长度不确定度进行检定的方法。并对测量系统的不确定度进行了分析研究,这是研究工作中的一个新尝试。实验及理论分析表明,这种方法测量结果可靠,能够满足有关国家标准中的检定要求,并且测量系统易于组成,对测量条件要求不高,具有一定实用价值。  相似文献   

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通过接触式干涉仪示值误差检定的方法误差分析以及新的三等量块比较法检定的误差分析,探讨用新的三等量块配对检定接触式干涉仪示值误差的可行性。  相似文献   

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