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热丝CVD法高速生长金刚石膜研究 总被引:2,自引:0,他引:2
使用热丝CVD研究了碳源种类,氧气含量,灯丝温度,基底与灯丝间距离及异常辉光放电等对金刚石膜生长速度的影响,在此研究的基础上,优化工艺参数,使热丝CVD法生长金刚石膜的速度提高到20μm/h。 相似文献
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本文使用热丝CVD法着重研究了基底表面的处理、工作气压、碳化物的含量、基底温度、灯丝温度以及基底与灯丝间距离等对金刚石膜生长速度所产生的影响,并在以上研究的基础上采取措施,使热丝CVD法生长金刚石膜的速度提高了4倍。 相似文献
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荷能粒子在类金刚石膜形成中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助CVD和PVD技术已用来沉积类金刚石膜(DLC膜),但其形成机理仍不清楚。本文通过分析荷能离子的作用,应用热峰效应和离子刻蚀效应来解释DLC膜的形成。 相似文献
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CVD法生长金刚石晶粒的形态 总被引:2,自引:0,他引:2
用SEM研究了CVD法生长金刚石晶体形态,观察到了单晶立方八面体、双晶立方八面体和两种不同形态的二十面体。晶粒上的三角形晶面多为凹坑,电有晶面上分层发育的晶层。在二十面体中,还直接地发现了倾角间隙,对于CVD法生长的金刚石晶粒这些都是首次观察到,此外还首次观察到其它几种立方多面体晶形。 相似文献
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就提高人造金刚石质量和生产经济效益的有关问题进行了叙述,讨论了影响金刚石晶体生长质量的多种因素,指出了提高金刚石质量的合成方法及途径。 相似文献
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利用水雾化Fe70Ni30合金粉或FeMn合金粉与石墨混合原料,经过还原与净化处理,造粒并压制成合成柱,用于自锐性金刚石的合成,研究了粉末触媒的粒度、含氧量、触媒与石墨的配比以及合成柱的压制密度等工艺条件对合成自锐性金刚石粒度和形貌、单次产量以及冲击韧性等的影响。结果表明,触媒的含氧量对合成后金刚石的形貌有明显影响,合成自锐性金刚石时控制触媒的含氧量在0.08%~0.1%wt为佳;合成柱中触媒的含量越高,金刚石单次产量越高,合成柱中触媒含量在30%wt左右时所获得金刚石的TI值达到最大;随着合成柱密度的提高,金刚石的合成单次产量明显提高,金刚石的冲击韧性TI值也稍有提高。 相似文献
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《炭素技术》2001,(5)
20 0 10 30大面积CVD金刚石膜的热铁板抛光 [刊 ,中 ]/刘敬明 ,蒋政 ,等∥北京科技大学学报 ,2 0 0 1,2 3(1) :43~ 45研制成功国内第 1台大面积CVD金刚石膜热铁板抛光机。它可以在 10 -3 Pa真空条件下 ,加热到 110 0℃ ;抛光台可以在 0~ 10r/min间实现无线调速 ,一次完成 3片Φ110mm的金刚石膜的抛光。金刚石膜在 980℃ ,2h抛光的结果表明 ,该装置有良好的抛光效果。金刚石膜在 980℃抛光不同时间的Raman谱表明 ,金刚石热铁板抛光是金刚石石墨化和C原子不断扩散的过程。图 6参 62 0 0 10 31色谱法分离纯化富勒烯的研… 相似文献
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文中制做了Ф180、Ф230、Ф350mm的Cu—Ni—Fe基刀头型激光焊通用锯片和Ф180、Ф250、Ф350mm的Cu基热压陶瓷片。通过切割花岗石、水泥和瓷砖,考察了锯片中金刚石浓度对锯片的锋利度和切割寿命的影响。指出:在锯片能正常运转的情况下,金刚石浓度越高,锯片寿命越长;而锯片的最大切割速度则随着金刚石浓度的增加而呈抛物线规则变化,先增后减,有一最大值,并且对应这个最大切割速度的金刚石浓度随锯片直径、被加工材料的不同而不同。文中结论对于配方设计具有指导意义。 相似文献
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渗硼石墨对人工合成金刚石性能的影响 总被引:4,自引:0,他引:4
石墨渗硼对合成金刚石性能影响的研究结果表明,采用渗硼石墨合成金刚石,可提高金刚石的粗颗粒百分比、抗压强度、热稳定性和单次合成产量,是一比较理想的合成金刚石的石墨材料。 相似文献
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用含硼T610石墨炭源材料合成透明含硼金刚石 总被引:3,自引:0,他引:3
控制石墨炭源材料的硼含量是透明含硼金刚石合成的关键问题。文中叙述了透明含硼金刚石合成的效果,讨论了石墨炭源材料中的硼含量和合成工艺对透明含硼金刚石合成的影响,指出了提高透明含硼金刚石合成质量的方法和途径。 相似文献