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介绍一种采用全光纤法布里一珀罗干涉仪原理研制的超精密光纤位移传感器.具体介绍了工作原理、信号处理方法和实验装置,给出了实验结果.该传感器的位移分辨率为0.05(?),精度为0.5(?). 相似文献
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非接触式微位移光纤传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
本文描述了用于装配电子枪时控制阴极与第一栅极间距的光纤传感器的结构及其测量系统.传感器的测量范围为10~160μm,精度可达3.8%.讨论了影响传感器特性的若干因素,如制作工艺、表面粗糙度、倾斜度、环境温度和LED的光谱特性. 相似文献
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高灵敏度的光纤位移传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
该传感器利用高稳定的单频He-Ne激光器作光源,以高隔度的单模光纤定向耦合和传光媒介,采用低零漂,低噪声的运放,六阶巴特沃兹滤波器,快速模/数变换电路及微机。对信号进行处理,使小位移测量的分辨力达到0.005nm,并能进行在线检测。 相似文献
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电容式微位移传感器设计及其应用研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了基于误差补偿的机器人系统原理,采用等电位环和驱动屏蔽电缆技术,设计了电容式微位移传感器及其信号调理电路。该电路包括改进型的电容运算放大器检测电路、精密全波整流电路和滤波电路等。试验结果表明:该电容式传感器的分辨力优于0.1μm,全量程非线性度小于0.2%;利用该电容式传感器测试偏摆误差,并进行偏摆误差补偿,机器人的性能得到提高。 相似文献
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白光玕涉型EFPI光纤应变传感器理论模型的研究 总被引:2,自引:1,他引:2
从光纤的耦合和多光束歼涉的原理出发,建立了非本征型Fabry-Perot玕涉仪光纤应变传感器的模型,并对其理论模型进行了详细地推导,得到了白光光源下玕涉型EFPI光纤应变传感器的理论计算公式。建立了传感器系统,用LED作为白光光源得到反射光谱。实验结果表明与理论模型数值模拟相一致,验证了理论模型的正确性。 相似文献
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介绍一种采用光纤Fabry-Perot干涉原理实现以AE波检测的传感器,其振幅的分辨率高达埃级(10^-10m),频带扩展到1.4MHz,且具有良好的测量稳定性和可靠性。 相似文献
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Fabry-Perot干涉式光纤温度传感器的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
分析了温度对相位的调制作用以及Fabry -Perot干涉结构检测相位变化的原理 ,提出了一种具有高灵敏度和高分辨率的相位调制型全光纤结构 ,并进行了系统的噪声分析。 相似文献
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介绍了光纤传感器的应用和S状声发射(AE)传感器结构。给出此类光纤声发射传感器和超声波之间的相互作用以及基于光纤MZ干涉仪的此类传感器灵敏度的理论分析。最后给出由Matlab得到此类光纤声发射传感器灵敏度分析的模拟结果。 相似文献
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将光纤干涉仪的一个臂粘贴在复合材料梁的表面,用逐点下压的方法实现了复合材料的分层检测.实验证明,在简单支撑下分层信息可能淹没在梁本身的变形中,但是在连续支撑下能够有效的检测出材料中是否存在分层以及分层的位置.实验测试和理论仿真获得了一致的结果. 相似文献
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研究了一种新型的光纤法布里-珀罗干涉腔(F-P腔)结构的温度传感器,该传感器的F-P腔由双层金属膜和光纤端面构成,当被测温度发生变化时,基于双层金属膜的"双膜热挠曲效应"使得F-P干涉腔长发生变化,从而导致F-P腔输出的光强发生变化,通过测量该光强的变化即可测定相应的待测温度.在理论分析的基础上,运用有限元分析软件ANSYS对传感器的结构参数进行了优化,并对加工和封装后的传感器进行了实验测试,实验结果表明该传感器在测温0 ~ 80 ℃的范围内灵敏度达到了 62.82 nw/℃,综合精度优于±0.7%.该传感器具有结构简单、成本低、量程可根据双金属膜参数自由选择以及灵敏度较高等特点. 相似文献