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介绍了测量系统中双频激光干涉仪的测量原理。针对测量系统精度要求高的特点,深入分析了环境及安装因素对测量结果的影响,尤其是激光波长、镜面面形、数据延迟、反射镜安装非正交等4种干涉仪非结构性误差,研究各种误差对测量结果的影响,并给出相应的误差补偿方法。结果表明,这些补偿方法有效地消除了环境及安装误差对整个测量系统的影响。 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1965,2(10):43
在精密机械制造厂中使用激光测量精度可达百万分之一,这是显而易见的。美国航空仪器实验室已经达到了该目标,并增添了可以测到100吋、每吋测量精度为10×10-6吋的测量及检验装置。这台装置称为绝对干涉仪式的激光校准仪,是激光第一台首先获得成功应用的测量装置。 相似文献
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径向剪切干涉仪系统的研制与校准研究 总被引:2,自引:1,他引:1
为了测量超长焦距高功率激光系统的波前畸变,研制并校准了基于空间相位调制的径向剪切干涉仪。仪器采用多波长设计,满足可见光和红外探测的需要。为研制并校准径向干涉仪,同哈特曼-夏克(HS)传感器、Zygo干涉仪进行了对比实验。通过实验与理论对比,得到径向剪切干涉仪参数的最佳值。研究了汉宁窗的取值范围和边缘截取值的合理范围,结果表明,校准后的径向剪切干涉仪能够准确测量,仪器的重复性和精度都能满足高精度波前探测要求。 相似文献
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为实现纳米三坐标测量机(NMM)中大范围高精度位移的测量(测量范围小于40mm,分辨率小于0.1nm),研制了一种大量程纳米级测量精度的实用化外差干涉仪,并对该干涉仪的光学结构进行分析研究。该系统不但克服了双频激光干涉仪混频的固有缺点,而且在结构上利用光学器件的偏振特性,使系统具有共光路、等光程、光学倍程和相位差成90°正交信号等特点,提高了系统分辨率、抗干扰性能和精度。该系统在40mm的测量范围内,具有λ/4 096的分辨率和纳米级的测量精度。实验结果表明,纳米三坐标测量机对样板1次安装10次测量的实验标准差为4.9nm,10次安装10次测量的实验标准差为8.4nm,具有较好的测量重复性。干涉仪结构符合三坐标的测量要求,可安装在纳米三坐标测量机等仪器中,也可用于高精度的位移测量。 相似文献
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采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位吸附在被测工件直径两端点上的两个磁性定位块上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪直接测量出这两个光电接收器中心间的距离,通过几何计算得到被测直径大小.试验表明,该方法测量精度较高,测量系统的相对误差小于5×10-8. 相似文献
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论文概述了费索干涉仪型激光波长计的原理和标定。详细分析了环境温度变化使仪器参数发生微小变化;论述了SIOM-01激光波长计以一种新颖的将标准激光引入测量光路的方法,随时对仪器参数实行单点标定,克服了由环境温度变化引进的测量误差。 相似文献
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使用短腔FP干涉仪测量氦氖激光器的谱线宽度,通过对测试设备性能的了解和测试系统的改进,提高了测试的精度,获得了准确的结果。 相似文献
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虚拟仪器实验室的建设与教学实践 总被引:9,自引:1,他引:8
利用现代测试技术,开发具有自身特色的虚拟仪器VI(Virtual Instruments)进行虚拟仪器实验室的建设,实现对实际电子电路的测试和分析,以及虚拟仪器在教学实践中的尝试。 相似文献
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双波长全息干涉术在测量非球面中的应用李月强,杜玲,施涌潮(北京机械工业学院100085)TestingAsphericsbyTWHI.¥LiYueqiang;DuLing;ShiYongchao(Beijinginstituteofmechanica... 相似文献
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配置红外探测通道的光学遥感仪器是气象卫星的主要载荷之一,我国太阳同步轨道和地球静止轨道气象卫星的光学载荷采用辐射制冷器冷却红外探测器及其后的光学部件,使其在规定的温度工作。概要介绍了我国风云系列气象卫星对制冷技术的要求以及近30年来所研制的不同型式辐射制冷器,给出了FY-1A~1D、FY-3A、FY-2A~2E气象卫星辐射制冷器的在轨飞行性能,阐述了辐射制冷技术在气象卫星上长期业务应用的关键技术和实际结果。探讨了辐射制冷技术在我国未来气象卫星上的应用前景。 相似文献
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为保证自动气象站各要素测量值准确性,需要定期进行校准。针对自动气象站的现场校准需要设计了一种手持式校准仪。系统采用ARM处理器及协调器进行硬件设计,使用WIN CE 5.0操作系统,选择C#开发语言在VisualStudio 2005开发环境中完成软件设计。校准仪利用ZigBee技术自动采集标准器及现场气象仪器的读数,并对气象仪器进行校准。该设备的使用可提高工作效率,方便现场校准,具有较好的实用性。 相似文献
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随着消防装备技术的发展,越来越多的消防装备检测仪器应用到消防工作中,为了提高检测结果的准确性,需要对检测仪器进行定期的维护保养。同时,对可能出现故障的仪器要及时进行现场检查,确保仪器在工作时的可靠性,提高对消防装备的保障能力。 相似文献
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本文讨论微波磁控管负载特性曲线即雷基图的快速自动测绘技术。文中提出一种全新的测试原理与方案来实现微波负载阻抗的自动扫描,同时采用了预先设置功率门和频率门的方法实时采集测试数据,使这些数据在等值线生成过程中的利用率达到百分之百,整个测试时间小于8min。 相似文献