LCD基板视觉自动对准系统及其图像处理

阐述LCD（液晶显示器）基板视觉自动对准系统的基本组成,标定及实现原理,介绍了图像处理技术在其中的应用,并着重讨论了图像处理算法。     

底面对准曝光中的对准技术研究

主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工作台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择。     

Nikon光刻机对准系统概述及模型分析

对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机（Stepper）的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式：LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数学模型对影响Nikon对准模型信号强度进行分析,为提高对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。     

用于光刻装置的多光栅标记对准系统

提出了一种用于光刻装置的Si片-工件台对准系统。该对准系统采用多光栅对准标记,标记的每个方向有序排列着四个子光栅。对准时,单波长对准光束照射在标记上,各级衍射光以不同的衍射角反射出。通过空间滤波器,零级和高级衍射光被滤除,而±1级衍射光被保留并相干涉成像在参考光栅的表面。两个较大周期子光栅的对准信号用于对准标记的捕获和粗对准,两个较小周期子光栅的对准信号用于获得粗对准基础上的精确对准。由于该对准系统无须采用楔板组,与ATHENA对准技术相比,降低了制造成本,提高了工程的可实现性。     

同轴对准系统及输出光强的机辅分析

介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有时准光栅标记。经光栅衍射后形成干涉信号，使对准信噪比大大提高，并实现了掩模和硅片之间的直接对准，同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制，由电路实施解调，提供了一种保持高信噪比，又使弱信号探测不降低精度的对准方案；并通过计算机辅助分析的手段，讨论了ＳＡＶＡＲＴ的剪切量、工件台运动速度等对该系统输出信号的影响。     

高精度时间对准系统研究

在复杂系统中各个独立子功能模块常常需要精确系统时间同步来完成系统功能,描述了目前不同领域中存在的几种高精度时间对准系统,分析其中优缺点,并提出了一种基于复杂可编程逻辑器件（CPLD）的高精度时间对准系统,用低廉的成本,实现了较高精度的时间对准。     

光刻机的分辨率和对准特性研究

本文以PLA－501F光刻机为例,研究如何使光刻机的分辨率和对准精度得到充分发挥。指出了光源、光刻胶、滤光片和主物镜的相互匹配是充分发挥光刻机分辨率的关键问题;在提高光刻工件的对准精度方面,牵涉到母板的套准图形设计及对准时的技巧。本文还分析了接近式曝光和接触式曝光的主要优缺点。     

Nikon光刻机对准机制和标记系统研究

套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon系列光刻机的对准方法，举例说明了众多标准标记在实际掩模版上的摆放原则。     

亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统及输出光强的机辅 …

介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有对准光栅标记，经光栅衍射后形成干涉信号，使对准信噪比大大提高，并实现了掩和硅片之间的直接对准，同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制，由 电路实施解调，提供了一种保护高信噪比，交换弱信号探测不对准方案；并通过计算机辅助分析的手段，讨论了ＳＡＶＡＲＴ的剪切量、工件台运动速度等对系统输出信号的影响。     

图像处理在双面光刻机中的应用

讨论了双面对准光刻机的底部对准原理,并着重介绍了图像处理在高精度光刻机中的应用。通过对采集到的标记图形进行图像分割和边缘定位,使标记的边缘精确定位在亚像素级。从实验的结果来看,这种方法能够对对准标记达到很好的边缘定位,提高了对准精度。     

高精度机器视觉对准测量系统设计

设计了用于半导体先进封装光刻设备中的高精度机器视觉对准测量系统,明确了机器视觉对准测量系统工作原理、设计指标及系统设计中需要考虑的关键技术点,同时给出了机器视觉对准测量系统关键零部件的设计,并给出了对准测量系统最终在整机上测得的性能数据。测试结果表明,所设计的机器视觉对准测量系统完全可以满足集成电路先进封装工艺需求。     

光电信号的高精度数字处理模型研究

针对膜厚控制系统中的双路光电信号的数字处理和控制分析问题，将传统的数字处理技术进行修正和优化，提出了一套高精度数字处理模型和方案。测试实验表明该方案合理可靠，而且大大提高了膜厚监控系统的稳定性、精度。     

用C++ Builder实现数字图像的平滑处理

介绍了图像增强技术中，空间域处理方法中的邻域平均法的原理、算法，及该原理在windows平台上以C＋＋ Builder为开发工具的具体程序实现。     

"数字图像处理"可视化教学体系探索

结合电子信息类本科专业"数字图像处理"课程特点,从课堂教学和课后实践两方面,探索建立全方位可视化教学体系.在课堂教学方面,紧贴教材内容,开发相应的可视化教学课件和教学演示系统;在课后实践方面,建立起可视交互的实验和练习平台.两方面相辅相成,加深学生对原理、算法的理解,激发学生的学习兴趣,提高教学质量和效率.教学演示系统以及实验与练习平台采用Matlab编程建立,内容丰富,界面友好生动、交互性强.     

基于TMS320C6711的图像处理系统设计

介绍了一种基于TMS320C6711的图像处理系统的工作原理,给出了包括系统硬件设计、软件编程,以及图像的上传和回放的实现方法.实现了对视频图像的采集、处理、显示以及系统与PC机之间图像数据的交换.     

基于公共存储器进行数据交换的高速数字图象处理系统

本文介绍了一种基于公共存储器进行数据交换的高速数字图象处理系统．给出了公共存储器的设计，描述了处理器对公共存储器的进程同步控制．     

基于ADSP21062的多处理器系统在实时图像处理中的应用

从图像处理的实际需要出发介绍了Analog Devices公司生产的ADSP21062芯片;及基于ADSP21062的多处理器系统的理论和实际系统结构.以实时复杂背景下寻找和跟踪特定的目标为系统任务,阐述了并行处理算法的思想和实际算法框架.     

一种高安全性的数字图像加密算法

提出了一种新的高安全性的数字图像置乱加密算法。该算法变换过程中可以通过密钥进行控制．安全程度仅取决于密钥的长度，避免了Arnold等其它置乱加密算法安全性不高的缺点；该算法变换速度快．几次变换就可以达到很好的置乱效果，在信息隐藏和数宇水印中有很大的实用价值。还给出了一种新的置乱程度的评价标准。