多极静电偏转器偏转象差的简单计算方法

本文提出两种形式的多极静电偏转器偏转象差的简单计算方法。通过合理选择多极静偏器的调节参数,获得了在16个象差系数中只有9项积分运算的偏转象差系数公式。它们没有光轴电场强度分布的二阶导数,因而计算精度高。     

多极静电偏转器偏转场分布之解

文章推导了两种多极静电偏转器偏转场分布的统一、简单之解;采用有限差分法,计算了多极静偏器多种不同几何尺寸的富里埃函数系数和光轴电场强度分布等场参量,提出多极静电偏转器和平行板静电偏转器光轴电场强度分布的近似公式;讨论了多极静电偏转器偏转场分布的各种特点。     

多极静电偏转器获得均匀偏转场的方法

本文推导了两种类型的多极静电偏转器在无穷长情况下场分布的普遍解;提供了多极静电偏转器在光轴附近获得均匀偏转场的方法;计算了六种实用的多极静偏器,给出了有关公式和数据,分析了两种多极静偏器之间的联系和区别。     

静电偏转系统象差的计算和静电MOL系统的研究

一、引言 近年来,随着高亮度离子源的出现,微米、亚微米聚焦离子束装置迅速发展起来。其应用范围也不断扩大,包括:扫描离子显微镜、二次离子质谱仪、集成电路的掩模版的修理、无掩模注入以及离子束曝光等等。本文就这类装置,特别是用于离子束曝光等要求在较大扫描范围内得到足够小束斑的系统进行探讨。     

楔形偏转线圈和平板电极静电偏转器的偏转场的计算方法

本文介绍楔形截面的偏转线圈和平板电极的静电偏转器的偏转场的计算方法。楔形线圈可以组合成形状多样的组合磁偏转器,有利于通过适当改变场分布形状,进一步减小偏转象差。矩形平板电极静电偏转器的优点是结构简单,有希望用它组成多电子束系统的偏转器阵列。根据上述两种偏转器的计算方法,已建立起实用的计算机程序,计算了一些典型结构偏转器的场分布。     

磁聚焦静电偏转型摄象管的象差

本文全面分析了偏转系统采用图案型偏转轭的磁聚焦静电偏转型摄象管的各种象差,详细讨论了减小象差,提高摄象管分辨率的途径.     

静电多极偏转器的计算方法

一、概述静电多极偏转器是电、离子光学系统中的一个基础部件,近年来它在电子束曝光机和聚焦离子束装置中得到普遍的应用,其主要原因:1.扫描速度快,生产效率高;2.合理设计多极偏转器,其象差可做得较小,并对象散易于进行校正;     

平行板偏转系统的几何象差和优化设计

本文从理想均匀静电场偏转系统三级几何象差的公式出发,导出了由两对互相垂直的偏转板组成的平行平板偏转系统的三级几何象差公式。这些公式不但可用来快速估算偏转象差,还可用来作为校验数字计算程序的理论模型。从水平和垂直方向偏转象散和场曲的影响应相同这一要求出发,提出了一种优化设计方法。在给定偏转区总长度和两对偏转板之间的距离后,可以计算出每对偏转板的最佳长度。文中给出了设计数表,并比较了平行平板偏转系统和八极偏转系统的优缺点。     

声光调制器和偏转器

自发明激光器以来,其应用研究十分活跃,现已广泛应用于记录、测量和显示等领域内.使这些应用成为可能的因素是激光调制和偏转技术的发展,其中,利用声光效应的器件起了极大的作用.利用声光效应的器件与旋转多面镜等机械式器件相比,具有无振动和骚声、寿命为半永久的等特点.与电光器件相比,在高速动作方面具有不利之处,但在温度稳定度和消光比方面却具优越性,可根据用途的不同而用作有效的器件.本文介绍声光调制器和偏转器的基础知识和应用例子.     

环形偏转器的偏转磁场

一、引言在扫描电子束仪器内,大多采用结构简单和容易加工制作的环形偏转线包产生的偏转磁场,使电子束发生偏转扫描。为了使磁场集中在线包所包围的空间内,并为了提高磁场强度以增大偏转灵敏度,通常总是把线包绕在具有高磁导率的环形软磁铁芯上,成为环形偏转器。铁芯的截面都是矩形。铁芯材料选用适于在弱磁场内工作的铁钴钒合金     

极端头端面倾斜的磁透镜场分布和象差的理论研究

高分辨本领电子光学仪器(例如电子显微镜)要求电子透镜具有严格的旋转对称性,但是实际的电子透镜存在着非旋转对称的缺陷,从而影响了仪器的质量。在这些缺陷中,极端头的端面倾斜目前还没有研究过。 本文计算和讨论了磁透镜极端头端面倾斜所引起的电子光学象差,作者应用数理方法(分离变数法)得到了端面倾斜情况下场分布的严格解析表达式;当倾斜为微扰时计算了非旋转对称象差以及它们与几何参量的关系;得出了高斯象平面上轴上象散圆斑大小;最后讨论了高斯轨迹的微扰及其象差图形。结果表明:轴上象散椭圆斑和端面倾斜角度正切的平方成正比,由此给出了极端头端面倾斜的加工容差。 本文所用方法与所得结果均适用于研究静电透镜。     

均匀静电场偏转系统的几何象差的计算

本文从电子在理想均匀静电场中的运动方程出发,推导出了三级几何象差的公式。所得结果不但可用来估算点束或成形束的畸变、象散、和场曲彗差量,而且可用来选择偏转器的初始尺寸和确定对中偏差所造成的影响。本文还指出了前人工作中存在的一些错误。     

用一维方法计算一些迴转型静电偏转场问题

本文介绍了将一些迴转型静电偏转场问题归结成圆筒模型,给出了用一维方法计算三维静电偏转场的方法,并解决了计算中比较棘手的奇点处理问题。实例计算表明,这种方法简便、精确,具有较大的概括性和实用性。     

多极场展开法用于静电偏转摄象管的数值分析

一、前言最近,磁聚焦、静电偏转(MS)型摄像管因其具有分辨率高且一致性好、图像畸变小等特点而被越来越多地用于业务和广播电视摄像机。另外,SS型摄像管的实用化正在进行中,可期待出现业务和生活用的小型、轻量、省电的视频摄像机。静电偏转摄像管的特征是在管内形成锯齿状图案电极。我们以前曾用拉普拉斯方程的分离变量法求解曲线箭形图案的三维偏转电场,对MS型摄像管的聚焦、偏     

静电偏转系统基本参数的计算

前言电子束管是电子管各分支中至今仍在发展的一个分支。国际信息显示方面的有关专家认为,在可见的将来,电子束管仍然是主要的技术领域。示波管是电子束管的一种,虽然近年来它的发展速度不象电子束管的其它某些品种(如光栅扫描显示管等)的发展速度那样快,但它“继续显示出创新和发展”。就普通示波管而     

弯曲轴静电聚焦—偏转复合系统的象差计算

本文对透镜后偏转和透镜中偏转的两种静电聚焦一偏转复合系统的三级几何象差和一级色差进行了数值计算。计算结果表明,在匹配弯曲轴的情况下,这种复合系统有可能获得较小的偏转象差,同时本文也给出了判断复合系统中聚焦场与偏转场真正匹配的某些判据。     

电子束聚焦偏转复合系统的象差系数公式及其应用

本文用与文献相同的方法推导了磁聚焦场同磁的和静电的偏转场相复合情况下轴上点状物的三级几何象差系数和一级色差系数公式,推导中考虑了偏转场的三次谐波分量,并把聚焦场函数的高阶导数化为一阶,以减小数值运算的误差。使用这些公式和改进的复形调优法编制了电子光学优化程序。计算中所用的场分布均用有限单元法数值地求得,其结果均能同模拟实验或实测结果吻合。着重分析了常用的复合双偏转结构,结果表明,复合状态良好的双偏转在相同物象距和束电流下同透镜后单偏转相比,轴上象差和偏转象差均小一个数量级。还表明,复合静电偏转即使在大扫描场中也能达到磁偏转的象差水平。     

电光偏转器的矩阵表示和应用

用光线追述的方法，导出了电光偏转器的矩阵表达式，是著名的ＡＢＣＤ矩阵的扩展，它包含了电光偏转器的时变项。井用矩阵光学的理论对由电光偏转器对构成的激光脉冲整形系统进行了研究，对实际应用的电光偏转器对参数的一致性、电脉冲的同步精度及光路排布提出了要求。