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基于MEMS技术的微型传感器 总被引:9,自引:4,他引:9
和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。 相似文献
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李刚 《仪表技术与传感器》1993,(6):41-43
本文提出了一种改进包括一个测量范围为10kPa的差压传感器,一个测量范围为6MPa的静压传感器和一个用于智能差压变送器的温度传感器的压阻式多功能传感器性能的方法。可以使静压传感器的输出大于25mV/V/6MPa,并且将差压对静压传感器的影响减小到小于0.35mV/V/10kPa, 相似文献
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针对目前煤矿普遍采用的热催化瓦斯探测传感器的检测灵敏度低、环境干扰大的缺陷,设计了基于谐波检测的光谱吸收型光纤瓦斯传感器。该传感器采用锁相放大器为核心的微弱信号处理电路,通过对一次谐波和二次谐波的实验数据进行数据拟合,实现了对瓦斯气体浓度的实时精确检测。实验结果表明:该传感器能够有效地提取瓦斯浓度变化信息,测量误差小,灵敏度高。 相似文献
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阐述了集成式微型智能传感器的设计原理、制造技术和发展方向,分析了集成式微型智能传感器的研究热点,提出了我国集成式微型智能传感器技术的发展思路。 相似文献
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交流差动变压器式位移传感器数字调理方法 总被引:2,自引:0,他引:2
分析了差动变压器式位移传感器的工作原理,讨论了传统模式的模拟调理电路特点,结合实际应用需求,提出了一种基于多功能数据采集板卡和数字解调算法的差动变压器式位移传感器信号数字调理方法,从理论上论证了该数字解调算法,并且设计了一套试验验证系统,针对试验用LVDT(Linear Variable Differential Transformer)传感器,从静态、动态2种工作方式进行解调,验证结果表明,该方法能够满足试验要求,达到了预期的结果. 相似文献
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测试105g微阵列式加速度传感器 总被引:5,自引:0,他引:5
研究测试10^5g微阵列式加速度传感器的设计与制造。该传感器应用微加工技术制成,具有测试加速度值大、响应速度快等特点。应用非线性回归理论及正交试验分析方法,解决传感阵列的布阵设计;根据理论分析和试验研究,提出了8个传感器位于睛平面内同一圆周上8等分处的布阵,给出了8点图形传感阵列的设计版图;并制造出微阵列式加速度传感器的样品,经测试满足设计要求。 相似文献
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柱栅传感器是一种新型数字式直线位移传感器。它是在感应同步器的基础上提出来的新型位移传感器,它具有许多优良的电气和机械特性。目前单根柱栅传感器的设计与制作工艺已很成熟,但当单柱栅只能实现短距离的位移测量,然而在实际中长距离的测量必不可少,因此在现有基础上实现多段柱栅的接长来实现长距离测量就显得相当重要。文章主要介绍了柱栅传感器接长方法的设计和实现及由接长所产生的误差的分析和相应处理,从而达到高精度长距离测量的目的。 相似文献
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Introducing a System-on-Chip(SoC)microcontroller(C8051F350)into a ceramic pressure sensor has resulted in the design of a networking intelligent sensor.An improved algorithm for digital phase-sensitive detection is used to perform lock-in amplification of the sensor signal.The compensation for the sensor error is realized by the detection of the sensor’s supply voltage and working temperature.The system also has the function of short/open circuit fault detection and can communicate with other digital equipment through an RS-485 communication interface.In the design,full utilization of the SoC microcontroller’s internal resource results in the simple hardware structure.Experimental results show that the error of the sensor is less than 0.5% at range ratio 1∶10.Employing the microcontroller and using lock-in amplification algorithm are an effective method for achieving an intelligent sensor of slowly-varying physical quantities,thereby improving the measuring accuracy and performance. 相似文献
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压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5 mm×3.5 mm×0.8 mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器,铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程,给出了实验和测试方法。结果表明,压力传感器的精度优于0.05%;温度传感器的精度为0.3%;湿度集成传感器的量程为25%RH~95%RH,其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。 相似文献
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