微机电系统中微电机的发展趋暖

文章介绍了微机电系统中的关键执行部件-超微电机，包括静电型微电机、电磁型微电机、鞭毛电机、超声波微电机等。分析了其原理、分类及各自的特点，概述了超微电机的研制发展过程，综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。     

基于电磁微电机的密码锁控制系统研制

文章介绍了一种基于微电子机械系统技术制作的电磁微电机的密码锁控制系统。系统以AVR单片机为核心,驱动两个直径为6.9mm的电磁微电机,通过连接的键盘输入密码后,单片机驱动微电机解锁。     

微电机和微动力MEMS

微执行器是微电子机械系统是一个重要的分支，本文了微执行器中的微电机，微发电机和微涡轮发动机。     

超微电动机的应用前景及其关键技术

概述静电型，电磁型，压电型超微电动机的国内外研究现状及其技术性能，简要介绍三种关键制造技术，指出由超微电动机构成的微电子机械系统（MEMS）的广阔应用前景。     

基于微机械工艺的平面微电机的研究

为提高微电机的输出力矩，增加微电机散热能力和电流密度，提高电机工作效率，设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转子对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定子为平面线圈，是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。线圈之间则采用了三相星形连接方式，线圈结构为平面型、无槽、集中绕组。把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动，通过对其输出力矩和转速的测试证明电机运转良好。     

前程似锦的微电机市场

微电机形成专业化的生产体系,在世界上大约经历了半个多世纪。它已从传统电机模式发展成为多学科互相渗透的机电一体化产品。随着基础研究的深化和新工艺、新材料的出现,越来越多的新型微电机被开发     

微电机市场：明天更美好

市场增长概况随着工业自动化、办公自动化和家庭自动化的不断发展以及计算机、通信、汽车、家电、玩具产量的不断提高 ,世界微电机的市场容量正以 6%以上的较快速度向前推进。日本是世界微电机的最大制造国 ,1996年其产量达 2 3亿台 ,出口量达 16亿台。日本Mabuchi马达公司是全球最大的微电机制造商 ,它控制了世界 DC电机市场的一半以上 ,在我国大陆和台湾省、马来西来、越南等地均设有生产工厂 ,该公司在全球各地的 DC电机综合生产能力已达 15亿台。由于日本在磁性材料、电子控制和生产工艺上的领先地位 ,从而使其不仅在微电机的生产方面…     

低成本、集成化 促进微电机行业发展

微电机形成专业化的生产体系，在世界上大约经历了半个多世纪。它已从传统电机模式发展成为多学科互相渗透的机电一体化产品。随着基础研究的深化和新工艺、新材料的出现，越来越多的新型微电机被开发出来并逐步进入实用化．从而给微电机带来革命性的变化，使微电机的市场前景十分看好。     

我国微特电机市场发展前景评述

1997年在我国大陆生产制造的微特电机约20亿台,约占世界产量的40%,可谓为微特电机的生产大国,在我国的电气制造业中是发展较快的行业之一,亦是一种奇特现象。其原因主要是外资企业的大量涌入,如日本以独资合资、来料加工等方式,1997年在我国大陆制造的微电机共17.41亿台,占其在海外制造微电机总量的60%。国外微特电机制造商之所以纷纷到我国投资办厂,主要看中我国庞大的微特电机     

电磁型微电机定子绕组的研制

本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺，重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线圈绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为３μｍ，微电机直径为２ｍ，最大工作电流１２０ｍＡ，电阻值在２４－２５Ω之间。输出力矩为１．５μＮＭ，转子转速每分钟可达５００转。     

微型旋转超声电机的发展和现状

系统地总结了微型旋转超声电机的发展，详细地叙述了各种微型电机的驱动机理、工艺方法和性能指标，并分析了各自的优缺点。讨论了在微型旋转电机设计中应注意的一些关键问题，为下一步微型旋转超声电机以及MEMS驱动器的研究工作提供了参考依据。     

隧道加速度计的发展概况

利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理，特点及发展趋势。     

基于硅的微型燃料电池的研究

介绍了基于硅的微型燃料电池的国内外研究动态，总结了微型燃料电池的研究成果，并对其制作方法中的关键技术进行了阐述。在此基础上，根据微通道的特性，分析了电极板上各种不同截面形状的气道对微型燃料电池性能的影响。当由气道决定的水力直径Dh由大变小时，在同样的实验条件下，电池性能开始逐渐变好，达到一个最佳值后，性能又逐渐下降。     

微能源发展概述

产品小型化、微型化、集成化是当今技术发展的大趋势,能源供应已成为制约产品微型化技术发展的瓶颈,其微型化问题受到广泛的重视。结合目前国内外微能源的发展现状,分别介绍了微太阳能电池、同位素微能源和基于卡门涡街的压电微能源等几种典型的微能源,并展望了微能源的发展趋势和应用前景。     

MEMS概况及发展趋势

主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。     

用于微摩擦测试的微力传感器及其制作

微构件表面的摩擦状况和磨损机理与宏观构件有较大的区别，需一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器。给出了一种新型硅微力传感器的设计原理、结构、制作工艺及其弱信号采集方法。静态性能测试结果表明，传感器最大输出电压2000μV，重复性约为1．3％，灵敏度约为65V／N，分辨率为46μN，总精度为2．3％，基本上满足了微摩擦测试的需要。实验及计算表明，通过优化微力传感器的结构，改进芯片的封装，可以大大减少其体积，并提高其各项性能指标。     

压电驱动膜片式微型气泵

提出一种结构新颖的压电驱动膜片式微型气泵，对其输出流量、膜片的振幅等参数进行了理论分析，在此基础上设计、制作了微型气泵样机，并进行了测试实验。这种气泵在结构上充分利用了双压电梁端部位移大的优点，并利用两根双压电梁将膜片悬起，增加了容积变化率和输出流量，并具有结构简单，功耗低，厚度小，无电磁噪音，可靠性高等优点，在微型电子器件的冷却、微型燃料电池换气等方面显示出良好的应用前景。根据实验，微型气泵的一阶固有频率约为120Hz，在谐振状态下，当驱动电压为50V时，其输出流量为192mL／min，功耗小于23mW。     

微细电火花加工装置的设计与应用

设计开发了一台用于微细电火花加工的微细加工装置，它主要由以下几个部分组成：花岗岩基座、精密伺服机构、精密高速旋转主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工用的RC脉冲电源、加工状态检测系统和控制系统。在该装置上可以进行微细轴、微细孔和微三维结构的加工。具有4轴3联动功能，控制方便，容易实现数控插补功能。加工实验表明，在该装置上能稳定地加工出最小直径为Ф12μm的微细轴以及Ф25μm的微细孔，其长径比可分别达到25和10以上。并对半导体硅材料进行了加工实验，加工出的硅微梁深宽比达15以上。此外还给出了所加工的微三维结构实例。     

微器件的热学加工技术研究与应用

归纳和总结了微系统热学加工技术方面的最新研究进展,着重讨论从材料的热学性质出 :发,实现微 /纳电子机械系统元件制造的若干新颖、低成本的方法,并特别介绍其中一些典型应用情况。通过分析表明,随着对微加工过程中一些关键热学机理的深入研究,许多现有技术瓶颈和界限均可望被逐步打破,从而促成更有效的微加工技术的建立。     

基于原子力显微镜(AFM)的微小结构加工工艺研究

为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题 ,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构的加工方法。把三维微动工作台叠加到原子力显微镜工作台上组成新的微加工系统 ,采用金刚石针尖作为加工工具。根据AFM在线成像后的结果对该工艺过程中各种因素产生的影响进行了研究、分析和说明 ,得出主要参数优选的一般方法 ,讨论了与其他微机械加工方法相比较采用该方法的优缺点和可行性。应用该系统进行了微结构的加工实验 ,实验结果表明该系统能够实现较高尺寸精度和重复性精度的微结构的加工 ,并且通过优选参数改进工艺完全可以应用于微机械领域中诸如掩模或微尺度模具等简单和复杂的准三维或三维微小结构的加工