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《固体电子学研究与进展》2018,(4):310-310
《固体电子学研究与进展》是全国性学术期刊,向国内外公开发行。办刊宗旨是面向21世纪固体物理和微电子学领域的创新性研究。征稿主要范围是:无机和有机固体物理,硅微电子学,射频器件和微波集成电路,微机电系统(MEMS),纳米技术,固体光电和电光转换器件,有机发光器件(OLED)和有机微电子技术,宽禁带半导体以及各种固体电子器件等方面的创新性科学技术报告和论文。建议作者在投稿的同时介绍一 相似文献
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一般情况下半导体材料可以吸收一个能量大于带隙的光子,使价带中的一个电子跃迁到导带。但是,在某些特殊的情况下,半导体材料也能吸收多个能量小于带隙的光子,使价带中的一个电子跃迁到导带,这就是多光子吸收效应。多光子吸收效应是一种非线性光学效应。该综述首先介绍了多光子吸收效应的理论基础和测试方法,然后回顾了多光子吸收效应的研究成果,最后展望了半导体低维结构中的多光子吸收效应研究,以及潜在的应用前景。 相似文献
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随着半导体集成电路芯片的尺寸越来越小、结构越来越复杂,芯片制造过程中的退火工艺技术也在不断进步。激光退火以其在芯片制造过程中热预算控制的优势,在芯片制造退火工艺中的重要性正在显现。而准分子激光的特点是波长短、峰值功率高、作用于大多数物质表面时能量迅速被物质表面吸收。准分子激光退火可以实现对材料表面温度梯度的控制,是半导体集成电路制造中热处理工艺的重要选择。对半导体集成电路制造过程中准分子激光退火研究进展进行了综述。概述了集成电路制造中退火工艺热预算控制与激光退火的理论模拟研究结果;着重介绍了准分子激光退火在离子掺杂控制、超浅节形成、沟道外延等材料处理中的研究进展,以及在金属层制备和3D器件中的应用。研究表明,准分子激光退火工艺有望为三维半导体集成电路制造提供新的解决方案。 相似文献
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《量子电子学报》2022,(2):F0004-F0004
遵照《中华人民共和国著作权法》,当作者收到编辑部稿件接收通知并收到著作权使用费(即稿费)后,作者投送论文的所有版权与财产权,包括但不限于在各种媒介的出版权、复制权、发行权、翻译权、网络传播权、汇编权,在全世界范围转让给编辑部所有。在论文于期刊上正式发表后,作者可行使除上述已转让的权利以外的版权,但在行使权利时所制作的该文上述版式的复制品中均须声明《量子电子学报》编辑部拥有版权。作者有权在汇编个人文集或以其他非期刊方式(含作者个人网页)出版个人作品时,不经修订地全部或部分使用本人论文;作者本人在学习、研究、讲演或教学中有权全部或部分地复制本人论文。 相似文献
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对稳频半导体激光器的频率进行在线实时监测的需求量和迫切性一直在不断增长。特别是近几年发展起来的连续波激光雷达通常以单频半导体激光器为种子源,并通过相干检测方式获得雷达信号的频率,从而获得目标物的距离信息,这就使得种子光源的频率精度直接与测距精度密切相关,因此,对光源的频率稳定性的表征也提出了新的要求:更关注短期(在相干时间内,亚微秒~数毫秒)的频率变化模式,对长时段内(数分钟~24 h)的绝对频率高精度监测的需求减弱;同时要求频率监测系统具有在线实时监测能力。针对这些需求,基于延时自外差原理,提出了一种表征稳频激光器的频率变化的方法,经过严谨的原理推导和算法编程,使得监测系统不仅结构简单,还实现了在线实时监测功能,并测量了一台利用氰化氢(H13C14N)气体吸收谱线基于边频锁定技术的稳频分布反馈式半导体激光器(DFB-LD)频率变化曲线。测量结果是:在10 ms内稳频激光器的最大频率变化约为25 MHz,并且清楚地观察到激光器的频率变化不是单向的漂移模式。为了进一步验证该方法的精度,采用主流的飞秒光频梳拍频法离线测量了同一台稳频DFB-LD的频率变化,实验结果是:在50 min内频率变化约为30 MHz。两种测量方法的测量结果均在相同的MHz量级,证明了该方法是一个快速可靠的光频率分析手段,可应用于实时调节稳频激光器的伺服回路系统。 相似文献