高分辨扫描电子显微学

本文区分了三种扫描电镜．即普通电子枪扫描电镜．场发射电子枪扫描电镜以及场发射枪低象差物镜扫描电镜；指出．了后两种扫描电镜对高分辨扫描电子显微学的重要意义。详细评述了高分辨扫描电子显微学中的电子范围的概念，二次电子的发射特性．二次电子象中所包含的信息以及高分辨率下试样表面导电膜的喷涂的要求和方法。     

压电微音叉扫描探针显微镜测头研究

压电微音叉具有良好的谐振特性，并易于实现其振动的检测。利用这些特性，与钨探针结合，构成了一种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与X-Y压电工作台结合，采用与TM-AFM相同的工作原理，构成了扫描探针显微镜。介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性，给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统。通过实验及其结果，证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点。除此之外，由于采用了有效长度大的钨探针，使大台阶微观表面的测量成为可能。     

扫描探针刻蚀技术的机理分析及进展

文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。     

扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用

扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征表面形貌观测方面最重大的进展之一，是纳米测量学的基本工具，本文叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法，比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能，着重介绍了扫描探针显微镜在这方面的应用和存在的问题。     

扫描探针显微镜的进展

扫描探针显微镜（SPMs）经过近30年的发展，已经应用到科学研究的各个方面。为适应不同研究的需要，扫描探针显微镜本身的发展也非常迅速。如其中原子力显微镜（AFM）从发明初期的单一的接触工作模式发展到包括可以测量粘弹性的相位模式在内的多种工作模式，同时通用型方面也高度发展，已经形成了一个庞大的高度自动化的扫描探针显微镜的家族。在这个家族中，严格环境控制的扫描探针显微镜的出现，很好的解决了各种务件下对样品的原位观察，环控化扫描探针显微镜的发展已经引起了人们的足够重视，必将成为扫描探针显微镜发展的一个重要方向。新近出现的各种显微镜集成的扫描探针显微镜系列是这个家族中的新成员，这个成员可以同时完成大范围、高分辨和精确定位等各种研究，必将在半导体制造厂的异物检查、金属和绝缘体等表面测定以及生物大分子研究等领域发挥重要作用。扫描探针显微镜的发明和发展促进了一门新兴的高科技——一纳米科学技术的诞生，宣告一个科枝新纪元，纳米科技时代已经来临。     

表面分析仪器和技术进展：四.扫描探计显微术（SPM）（下）

本文主要介绍近年来ＳＰＭ技术系列具有方向的研究的进展,评述了ＳＰＭ技术进展,针尖和悬臂,校正和计量学,力的测量和物理性质,化学鉴别和变温等,此外,还评述了新的探针技术,摩擦力,扫描热,磁共振力,磁力,光扫描隧道,近场扫描光学,扫描电容,弹道式电子发射,扫描电化学以及春它探针显微镜等,最后评述了诸多应用领域,如：电化学扫描探针显微学,烷烃硫醇;Ｌ－Ｂ膜,生物学,核酸,蛋白质,细胞,类脂体,生命医学,     

扫描探针显微镜在纳米科技中的应用

本文在介绍了扫描探针显微镜的发展和有关纳米科技知识的基础上，论述了扫描显微镜在纳米科技中的应用。     

轻敲式扫描探针显微镜

介绍了扫描探针显微镜的发展与分类，对原子力显微镜的三种工作模式的优劣作了比较；重点叙述了轻敲式原子力显微镜的工作原理；引出了轻敲式原子力显微镜应用的一种新技术－相位成像技术，最后简单介绍了由北京市中科机电设备公司于2001年9月推出的Nspm-6800型扫描探针显微镜。     

SNOM/SFM结合的近场光学探针

介绍了近年来近场光学探针技术的进展，特别是可与扫描力显徽镜结合的探针制备技术。     

实现变温扫描的扫描探针显微镜的发展与应用

将实现微尺度温度测量的技术按其温度控制方式分为两类,即控制探针的温度和控制样品的温度,所对应的仪器为扫描热显微镜和各类可直接应用于普通扫描探针显微镜的变温样品台,分别介绍其结构、工作原理及应用情况,分析了这两类具有不同控温方式的仪器的区别,并进一步讨论了目前在扫描探针显微镜变温辅助设备中仍然存在的问题以及实现变温扫描的扫描探针显微镜的发展前景.     

近场扫描光学显微镜和光子扫描隧道显微镜

近场扫描光学显微镜和光子扫描隧道显微镜＊王佳（清华大学精密仪器系北京１０００８４）０引言自从８０年代初扫描隧道显微镜ＳＴＭ发明以来，扫描探针显微术ＳＰＭ已经发展成具有十几种类型的系列技术。其中引人注目的是以近场扫描光学显微镜ＮＳＯＭ和光子扫描隧道显微...     

模块化的保偏近场扫描光学显微镜结构设计

采用模块化的设计思想，制成了高质量且简单易用的音又光纤探针模块、模块化的扫描探头、扫描台等，从而研制出高性能，易操作的模块化的保偏近场扫描光学显微镜。     

基于原子力显微的多模式扫描探针显微镜

扫描探针显微镜是目前世界上分辨率最高的显微镜之一,也是纳米技术研究的主要工具。本文在分析原子力显微镜工作原理的基础上,探讨多模式扫描探针显微镜的相关功能,并对扫描探针显微镜的发展前景进行展望。     

SPM技术在碳纤维结构研究上的应用

简单介绍了系列扫描探针显微镜（SPM）的性能、原理及其应用,重点综述了SPM尤其是扫描隧道显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM）在碳纤维结构研究领域中的应用。     

扫描探针显微镜

本文对近几年发展起来的扫描探针显微镜及其应用作了简要介绍。     

开放式多功能扫描探针显微镜系统

开放式多功能扫描探针显微镜、集成扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜和静电力显微镜．具有接触、半接触和非接触工作模式，可进行作用力、电流、电位、光能量等参数的高度局域综合测量,具有极高的开放性和可扩展性，支持用户进行二次开发。     

微纳表面结构加工技术研究

综述了在微纳加工领域的最新技术发展一软刻蚀技术（soft lithography）和扫描探针刻蚀技术（scanning probe lithography），其中着重描述了软刻蚀技术中的复制模塑技术（replica molding，REM）和扫描探针刻蚀技术中的电致刻蚀加工技术，阐述了它们各自的加工原理和特点，并应用这些技术制作出一些周期性微纳织构表面。     

扫描离子电导显微镜技术及其在纳米生物学研究中的应用

扫描探针显微镜技术的出现开辟生命科学研究的新纪元并逐步发展成为在纳米尺度研究细胞结构与功能的一类新型的显微镜技术。扫描离子电导显微镜技术就是新近发展起来的这一扫描探针显微镜技术家族中的一员,可被用来在生理条件下、高分辨率及非接触地研究活细胞的表面形貌,从而帮助人们深入研究细胞微观结构与功能的关系。本文简要介绍扫描离子电导显微镜技术的基本原理,并结合国外研究现状综述该技术在纳米生物学研究中的应用。     

复合型超精密表面形貌测量仪

研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪.分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式.研制了三维精密位移系统...     

散射型近场扫描光学显微镜的探针振动参数优化研究

基于原子力显微镜平台设计了可见-近红外波段的散射型近场扫描光学显微镜,通过理论模型计算和实验测量,分析了散射探针振动的调制振幅和扫描反馈幅值对近场信号的影响。研究表明:与探针针尖尺寸相近的调制振幅有利于抑制背景散射噪声及优化近场信号的信噪比;当探针扫描反馈幅值与自由空间调制振幅之比大于90%时,可基本消除探针扫描过程中非简谐振动对近场成像测量的影响。