一种二维光栅干涉仪的研究

本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件,以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪,从研究光栅表面的光扰动出发,分析了这种干涉仪的原理及所用光栅间的匹配关系,通过实验分析了干涉仪的调整方法及主要误差,实验结果表明：这种新型二维光栅 的精密线值计量方面有着良好的应用前景。     

计量光栅制造综述

计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域。系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法。     

采用光栅成像原理的光栅位移传感器

本文从光栅成像理论出发，导出了具有结构简单，且能在大间隙下工作的光栅成像型位移传感器。并系统地探讨了这种传感器的理论，给出其实验结果。     

用拼接法获取大面积衍射光栅

近年来大面积衍射光栅已成为许多大型高技术工程项目的关键元件,它的获取方法也一直是光栅界探求的目标,本文简要回顾衍射光栅研制技术的发展历史,介绍了衍射光栅的发展趋势以及国内外研制大面积衍射光栅的技术现状,说明了拼接光栅的原理、方法以及利用这种方法来获取大面积衍射光栅的诸多优点.目前拼接光栅中各小光栅的衍射波阵面的位相还没有做到完全一致,要做到一致还需做很多工作,但用拼接手段来获取大面积光栅已是一种非常有效的方法.     

光栅尺制造工艺

<正> 数字读出系统(DRO或VRO)是测量系统中的重要组件。测量系统的精度主要由传感器或码尺决定,因此,传感器或码尺是测量系统中的关键器件。码尺一般安装于机床不显著的部位(有时是以密封方式安装的)。在加工过程中,码尺和读数部件起着监视系统的作用。本文着重介绍美国AcuRite公司的光栅制造工艺。一、码尺的类别码尺能把位移量转换为电信号。现有码尺的种类     

二值位相光栅的设计与制作

我们采用了新的算法对二值位相光栅进行了设计,并对制作时可能产生的误差及它们对位相光栅的衍射效率和光强均匀性的影响进行了讨论。我们用薄膜沉积的方法进行了位相光栅的制作,对光栅进行了实际测量,把测量结果与理论值进行了比较,结论与我们的理论分析相符。     

KJY—300光栅数显式卡尺检测仪

卡尺是机械行业加工过程中的一种通用测量工具,对它传统的检测方法是用一块量块作为基准长度置于被测尺两量爪之间,此时两量爪分开的距离与量块长度相比较的偏差即是被测尺的实际误差。卡尺检测仪是一种用于测量卡尺的专用仪器,为了解决传统的卡尺检测中存在的手工操作产生人为误差的问题,我们采用长光栅传感器作为工作标准     

HRD—1型双光栅单色仪

阐述了HRD—1型双光栅单色仪的原理和特点。     

基于CCD和FPGA的光栅位移测量系统

介绍了一种基于CCD和FPGA的光栅位移测量技术,建立了光栅位移测量系统.系统由线阵CCD采集光栅莫尔条纹,将检测到的莫尔条纹通过A/D转换器输入FPGA处理器,FPGA处理器对采集到的莫尔条纹信号进行处理,利用FFT变换求取信号相位的变化,再根据相位的变化求出位移值.文中详细介绍了工作原理的推导过程、CCD驱动控制、信号预处理以及FFT变换在FPGA中的设计实现.实验验证该系统抗干扰能力强,对光栅信号质量要求不高,能到达较高的细分数,并且系统集成度高,开发成本低,运行稳定.     

全息平面变间距光栅刻线弯曲程度分析

简述了全息变间距光栅的几何理论,研究了不同记录参数情况下的刻线弯曲程度。给出了用于评价光栅刻线弯曲程度的表达式,并推导出了它的积分形式,使计算效率提高了2~3倍。结果表明:球面波与非球面波干涉得到的光栅线条并不一定比球面波干涉得到的线条要平直。