激光等离子体和气体放电EUV光刻光源

对激光等离子体和气体放电两种EUV光刻光源的发展状况进行了详细介绍,分析了各种激光条件和放电方式的特点及所面临的主要问题,对各种方案的特点、技术参数进行了对比。气体放电装置较高能激光装置结构简单、价格低,故气体放电EUV光源日益受到重视。     

气体放电光源用新型压制阴极的坯体成型与烧结技术

随着气体放电光源在红外、激光技术等领域的广泛应用。以阴极技术为代表的气体放电光源制造技术得到了飞速发展。本文介绍了一种新型压制阴极的成型与烧结技术。     

气体放电光源用新型压制阴极的坯体成型与烧结技术

随着气体放电光源在红外、激光技术等领域的广泛应用。以阴极技术为代表的气体放电光源制造技术得到了飞速发展。本文介绍了一种新型压制阴极的成型与烧结技术。     

小型化准分子激光器气体性能的优化

对于新研制的准分子激光系统而言,激光气体的性能具有非常重要的作用,激光系统的混合气体配比与单脉冲能量、放电稳定性和寿命等性能参量有密切关系。为了获得最佳气体配比,在自行研制的小型化Xecl准分子激光器的基础上进行了激光气体性能优化实验,分析了Xe,HCl气体比例对激光性能的影响,通过理论分析和实验结果给出了Ne和He两种不同缓冲气体下的激光性能差异,并给出了该激光系统的优化气体成分和有效提高激光效率方法。实验结果为研制商业化小型准分子激光器件提供了支持和依据。     

高频振荡器阻抗与气体激光器自动匹配

高频振荡器阻抗与气体激光器自动匹配引言当泵浦气体激光器（其中包括高频放电激发的ＣＯ２激光器）时，激光输入阻抗与高频振荡器能量传输馈线波阻抗的匹配是个迫切问题。因为在不匹配情况下，产生颇大的气体放电负荷功率反射，不仅导致激光辐射效率下降，而且还恶化了高...     

预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析

利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟,通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况,分析了预电离效应对准分子激光系统放电特性的影响,并探究了不同气体参数下的预电离效果。结果表明,初始预电离强度对于极间击穿电压、ArF准分子的形成以及光输出特性均有显著影响。在保证均匀电场且有效放电的情况下,低的初始预电离强度难以“点燃”气体,但可以获得较高的激光输出能量,而提高初始预电离强度能有效降低击穿电压,却不利于气体对能量的吸收转化。此外,预电离效果受工作气压与F₂比例的影响,气压的升高或F₂浓度的增加,均会降低预电离的有效性。     

无声放电辅助激励CO2激光器的研究

用具有扁平放电截面的等离子体管设计一种新颖的 CO2 激光器 ,并用纵向辉光放电和横向无声放电同时激励。阐述了这种激光器的设计原理 ,理论上讨论了激光管内电子浓度的横向分布 ,实验研究了它的工作特性 ,并与仅用辉光放电激励的情况进行比较。实验表明 ,由于横向无声放电的作用使这种激光器的激光功率、工作气压和工作气体中氮的比例有明显的提高 ,激光效率也有所提高 ,而且放电电流能兼顾最大激光输出功率和最佳效率。     

流场均匀性对重频HF激光能量稳定输出的影响

放电引发重频HF/DF激光器具有的波长和功率优势使其成为当前中红外激光技术研究的热点之一。介绍了在利用紫外预电离横向放电结构建立的放电引发重频HF激光装置上,通过对气体循环系统增益区流场结构分析和注入管道结构的优化设计开展的重频能量稳定输出实验研究。实验结果表明,通过管道结构的优化设计,放电增益区流场均匀性得到明显改善,气体置换的最低流速达到6.5 m/s,激光器稳定运行频率由60 Hz提高到100 Hz,且稳定体放电的单位体积放电沉积能量由1.6 J/(mlatm)(1 atm=1.013105 Pa)提高到2.0 J/(mlatm),激光平均功率达到40 W。     

环形增益气体激光器中谐振腔的研究进展

详细介绍了同轴环形放电气体激光器中谐振腔的研究进展，分析讨论了几种典型环形激光谐振腔的结构特点及今后发展趋势。     

旋转光束气体热效应的仿真分析

激光非均匀加热效应严重影响着激光能量的远距离传输。对于矩形平顶光束,在有轴向流存在的情况下,采用光束旋转的方式,借助商用的计算流体力学(CFD)软件Fluent,对激光在内通道中传输的气体热效应问题进行了仿真分析。仿真结果表明,激光束在横截面内的旋转,并不改变光场与气体耦合热效应到达稳态的时间。但是光束旋转效应使得光强非均匀分布带来的二阶像散项基本消失,光程差中只包含沿光轴方向对称的离焦项和球差项。而离焦项是便于校正的,因此光束旋转能够改善激光在内通道中的传输特性。     

高峰值功率脉冲氟化氢激光器

报道了大体积火花预电离横向放电的脉冲HF激光器。通过采用紧凑的结构安排,在放电体积为4cm×5cm×90cm的SF6和C2H6混合气中获得了均匀稳定的放电。在总气压为12.6kPa、最高充电电压45kV时,激光输出脉冲能量为3J,激光脉冲峰值功率约18MW。     

一种带有插值滤波器的8位650MHz采样速率数字模拟转换器

针对OFDM-UWB标准超宽带收发系统中数模转换器(DAC)的要求,设计了一款8位650MHz采样速率电流驱动型数模转换器(Current-steering DAC)。为了提高静态性能,本设计通过蒙特卡洛分析确定电流源最佳尺寸并采用双中心版图技术;为了提高动态性能,文中采用共源共栅电流源结构,对开关电压降摆幅处理并在数字输入端前加入插值滤波器。测试结果表明,DAC的积分非线性(INL)和差分非线性(DNL)分别为0.3LSB和0.41LSB,650MHz转换速率下带内奈奎斯特无杂散动态范围(SFDR)为41dB。整体面积为1.8cm×1.3cm,其中DAC面积为0.8cm×0.8cm。     

用激光调阻法提高线列光导PbS焦平面探测器性能

首次在国内报道了用激光调阻法提高线列1×128光导PbS红外焦平面探测器性能的研究成果.针对PbS探测器芯片的特点,用激光调阻法对采用负载电阻分流型电路的焦平面探测器的背景输出电平进行平坦化研究.实验结果表明,用激光调阻使背景电平平坦化之后,通过优化器件的工作参数,探测器平均黑体响应率由4.45×106V/W提高到8.82×106V/W;平均黑体探测率由6.52×109cm·Hz1/2·W-1提高到1×1010cm·Hz1/2·W-1;动态范围由46 dB提高到52 dB.研究结果为今后的薄膜型焦平面探测器实用化提供了参考.     

微间隙击穿性能的研究

本文对微米量级微间隙的电击穿性能进行了研究,在制作出微间隙试样的基础上,改变微间隙所处环境气氛以及间隙距离,测试了不同条件下的击穿电压V相对于气体压强P关系曲线,系统研究了N_2、O_2、Ar、He、Ne等环境气氛以及间隙距离对微间隙击穿性能的影响。对微间隙的静电击穿机制也进行了一些有益的探讨。     

Molecular Beam Epitaxy Growth of HgCdTe on Large-Area Si and CdZnTe Substrates

This paper presents the status of HgCdTe growth on large-area Si and CdZnTe substrates at Raytheon Vision Systems (RVS). The different technological tools that were used to scale up the growth from 4 inch to 6 inch diameter on Si and from 4 cm × 4 cm to 8 cm × 8 cm on CdZnTe without sacrificing the quality of the layers are described. Extremely high compositional uniformity and low macrodefect density were achieved for single- and two-color HgCdTe layers on both Si and CdZnTe substrates. Finally, a few examples of detector and focal-plane array results are included to highlight the importance of high compositional uniformity and uniformly low macrodefect density of the epitaxial layers in obtaining high operability and low cluster outages in single- and two-color focal-plane arrays (FPAs).     

E波段81~86 GHz行波管放大器研制

介绍了一种面向高速无线通信应用的E波段连续波行波管放大器(TWTA)。该放大器将E波段折叠波导行波管和小型化高压电源集成为一体,外部仅需低压供电,使用便捷。放大器主要性能指标包括：工作频率81~86 GHz,饱和输出功率>80 W,小信号增益>38 dB,总效率>22%,外形尺寸为38 cm×20 cm×6.3 cm,可满足机载使用环境,具有大功率、宽带、高效率、小型化及高可靠的优点。     

一种可获得均匀辉光放电的封离式直流横向激励气体放电结构的研究

找到了一种可用数百伏直流电源激励的封离式横向气体放电结构,充入CO_2工作气体进行实验,获得了较大体积的稳定的均匀辉光放电。从理论上估算了此种结构和传统的封离式结构中一定注入电功率下工作气体的最高温度,指出了降低该温度的途径。     

雷达发射功率提高后放电管的改进设计

对某型机载火控雷达发射功率提高后放电管频发“击穿”故障进行了分析，在此基础上对放电管的改进设计进行了详细阐述，并给出了保护放电管(TRL)一体化设计结构参数的理论计算公式，在大量试验分析研究的基础上，成功地研制了PTR TRL结构的新型放电管，解决了工程应用的实际问题。     

（英）基于热释电红外探测器的人体定位技术

提出了一种热释电红外探测器视场调制策略。此策略能够提高人体定位分辨率,并且不会降低探测器的探测距离。对于此策略,热释电红外探测器的视场被遮光板调制,且调制后的探测器视场相互重叠交错形成一些采样区域。为了验证此策略,制作了包含九个热释电红外探测器的人体定位节点,节点中所有调制后的探测器视场角均为36°,每一个采样区域的角度均为4°。如果受测者在一个采样区域中运动,对应的热释电红外探测器将被触发,至少需要两个人体定位节点才能实现人体定位。根据节点中热释电红外探测器的状态,能够估计人体的位置。实验中,在600 cm×600 cm的方形区域内设置两个人体定位节点,使用最小二乘法估计理论误差,其最大理论误差为70 c m。实验中估计了八个人体位置,将所有的估计位置点连接起来形成估计路径。估计路径与预设路径十分接近。实验中的最小和最大定位误差分别为4.42 cm和16.91 cm。