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介绍了一种电容式抗高过载低量程加速度计差动脉宽调制电路的工作原理以及振荡电路和信号处理电路的设计,经过实验调试．证明此电路具有较高的精确度和抗干扰能力。另外,还对电路调试中出现的问题进行了分析,并提出了一些可行的措施。 相似文献
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介绍了一种新型应变式加速度计，讨论了包括限位结构在内的传感器结构设计，并依据误差传递原理，对弹性元件－等强度梁进行了优化设计。实验表明，此加速度计具有抗高过载能力和适应低加速度值的灵敏度。 相似文献
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针对特殊场合的高g值加速度测试需求,提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式,采用面内敏感的变面积差动电容变化方式,并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析。仿真结果表明：该加速度计量程200 000 g,固有频率266.2 kHz,模态分离比大于2.5,0~10 kHz通频带内加速度分辨率优于60 g. 基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证。相比已有的高量程微机械加速度计,该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点。 相似文献
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高过载硅微加速度计的动态响应 总被引：1，自引：0，他引：1
依据电容式微型加速度计的结构及工作原理,对高膛压火炮膛内弹载高过载硅微加速度计进行了动态响应研究,建立了加速度计弹性元件的力学模型及动态响应数学模型.通过计算给出了弹性元件在高过载条件下的固有频率及动态响应曲线.结果表明,微型加速度计的动态响应与弹性元件的固有频率密切相关,该微型加速度计具有良好的动态响应特性. 相似文献
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石英挠性加速度计精密离心测试的非线性系数重复性探讨 总被引：1，自引：0，他引：1
目前，在标定石英挠性加速度计的二阶非线性系数K2时，采用精密离心机试验的方法。本文从精密离心机试验的标定原理、测量方法和数据处理方法出发，并结合过去曾交付加速度计的初次标定和抽样标定后的数据进行了对比分析。分析结果可以看出，两次试验所标定出来的K2值，均满足工艺筛选的指标要求，并且两次标定结果的差值也在测量方法，允许的误差范围以内。 相似文献
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加速度计动态误差系数通过动态误差数学模型和三轴转台模型一次性标定。在三轴转台的三个轴上同时施加恒定角速率,激励出加速度计动态误差项。利用MATLAB进行标定仿真试验,包括设置参数、谐波分析及标定误差系数仿真。 相似文献
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采用冲击比较校准的方法对高g值压电加速度传感器进行频率校准，将标准传感器的输出作为被校传感器的输入．被校传感器的输出作为输出，根据输入输出关系得到被校传感器的传递函数，进而得到传感器的频响特性。 相似文献
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为了使爆炸、金属碰撞等高冲击环境中使用的加速度计不会发生谐振,应使其谐振频率足够高,如Endevco公司设计的MEMS硅基压阻式加速度计(7270A-200K)的谐振频率可达1.2 MHz(幅值可达20万G);然而在这些强动载荷作用下,由于这种加速度计的阻尼很低,超量程和加速度计敏感元件的破坏仍时有发生;鉴于高G值冲击测量中输入信号的频率上限常常在100 kHz以上,研究加速度计测量结果的频率响应,从不同方面进行论证给出加速度计需要测量的频率上限,研究结果对开发更可靠的MEMS加速度计具有重要意义。 相似文献
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基于体硅湿法的高性能微加速度传感器技术 总被引：2，自引：0，他引：2
低的输出噪声、小的上电漂移和强的抗扰能力是高性能微加速度传感器的基本要求。利用一些结构和电路上有针对性的设计，可以有效地提高器件在这三方面的性能。实际制作的样品表明，传感器开环的输出噪声已被控制在0．3μV／√Hz，上电稳定后的漂移在100μV内。 相似文献
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