复合型超精密表面形貌测量仪

研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪.分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式.研制了三维精密位移系统...     

超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究

电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高.为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统.初步实验表明检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求.     

基于弯曲法的AFM微悬臂梁弹性常数标定技术

原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)在微纳米尺度力学测量领域有着广泛应用,其微悬臂梁探针的弹性常数是直接影响测量结果准确性的关键因素之一.弯曲法是标定微悬臂梁弹性常数的一类重要方法,基于弯曲标定原理提出了一种新的技术实现方案,并研制了相应的标定系统.借助精密运动定位台使微悬臂梁接触超精密天平并产生弯曲,分别以天平和光杠杆机构同步测得接触力和梁的弯曲量,再根据胡克定律直接算得弹性常数.利用所研制的系统对多种型号的微悬臂梁进行了标定,实验结果表明该系统具有良好的准确性和重复性,测量相对标准差小于5％.     

计量型原子力显微镜的位移测量系统(英文)

针对纳米结构表征和纳米制造的质量控制需要,中国计量科学研究院设计并搭建了一台计量型原子力显微镜用于纳米几何结构的测量.为了将位移精确溯源到国际单位米,研制了单频8倍程干涉仪测量位移,样品表面形貌则由接触式原子力显微镜测量.一个立方体反射镜与原子力显微镜的测头固定,作为干涉仪的参考镜.两个互相垂直的干涉仪用于测量样品与探针在x-y方向的相对位置.样品台置于具有三面反射镜的零膨胀玻璃块上,由压电陶瓷位移台驱动.另外两台干涉仪测量样品与探针在z方向的位移,探针针尖位于干涉仪光束的交点以减小Abbe误差.由于光学器件的缺陷产生的相位混合会引起非线性误差,采用谐波分离法拟合干涉信号来修正误差,修正后干涉仪测量误差减小为0.7 nm.     

基于原子力显微镜的四电极微探针局域电导率测量技术

开发了基于原子力显微镜(Atomic force microscope,ArM)的四电极微探针局域电导率测量技术.四电极AFM探针最小的电极间距为300 nm,安装了这种新型四电极微探针的AFM系统既保持表面微观形貌测量能力,又可以在实施表面形貌扫描的同时测定局域电导率.利用该技术精确测量了厚度为6.0μm的铝薄膜和厚度为350nm的透明导电氧化铟薄膜(Indiumtin oxide,ITO)的局域电导率,试验结果证明基于AFM的四电极微探针技术在亚微米局域电导率测量方面的能力.     

基于显微干涉的纳米探针测量系统

为实现微纳米结构的定量测量和定位观察需要,设计了一种基于显微干涉的纳米探针测量系统。该系统基于干涉显微镜基体,同时融合采用白光干涉法和激光干涉法来对纳米探针的纵向位移进行测量。所构成的探针系统能与光波直接溯源,能直接观察被测区域,测量精度高。实验结果表明所设计的测量系统满足定量测量和定位观察需要。     

基于压电陶瓷管扫描器的大范围纳米定位系统

提出一种基于压电陶瓷管扫描器的X-Y二雏大范围纳米级定位系统,该系统利用摩擦力和惯性使样品产生步进式的微位移.阐述了该系统的设计和工作原理,并给出了它在原子力显微镜中用于探针一样品间的定位控制的应用实例,取得了理想效果.     

基于微探针加工技术的分子自组装过程实验研究

运用原子力显微镜纳米加工系统,在工件表面加工出了多种复杂微结构。并以此为基底,研究了基底形貌对嵌段共聚物自组装纳米微结构的调控作用。将自上而下的基于AFM微探针的纳米机械技术与自下而上的分子自组装技术相结合,实现了对有序纳米微结构的调控。     

原子力显微镜探针表征烷烃及正烷类有机化合物的研究

原子力显微镜(AFM)作为一种重要的科研、生产工具被广泛使用,其测量精度很大程度上决定于所使用的探针针尖的尖锐度。本研究使用标准微机械加工工艺在低应力氮化硅悬臂上通过各向异性湿法刻蚀形成硅针尖。通过对三十六烷烃和正六十烷的表征测量,验证了探针针尖的纳米尺度尖锐度。     

超精表面缺陷检测系统的实验研究

电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高.为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用压电双晶片实现接触、非接触以及轻敲3种不同探测模式.系统特性实验表明该探测系统位移分辨率可达2 nm,共振频率90 Hz,满足超精表面缺陷检测系统性能要求.     

出口加强杆结构与布置方式对风机性能影响的试验研究

为保证风机出口蜗板面的平整,往往在风机出口采用加强杆进行固定。改变出口加强杆的高度与位置对风机性能会产生一定的影响。本文通过试验的方法对加强杆的高度与风机实际出口高度之间的最佳比值范围区间展开分析,给出了改善性能的合理匹配区间。     

试论作为“超级市场”的大学管理

隐喻是对现实的观念表达，在大学成为“超级市场”后，大学管理面临着一些新挑战。随着大学管理观念的转变，政府要加强对大学的管理权力，大学管理要民主化和科学化，建立咨询和协调机构，服务教育顾客。     

煤矿无轨胶轮车动力源发展方向研究

煤矿无轨胶轮车已经成为煤矿辅助运输的主力之一,目前配置的动力源以防爆柴油机为主,但随着煤矿企业对环境保护和职工身体健康的关注度不断提高,防爆柴油机的尾气排放问题矛盾日益突出.本文介绍了目前煤矿无轨胶轮车的主要类别及配置的主流动力源,分析了防爆柴油机、铅酸蓄电池、锂离子蓄电池的使用情况,对比了其优缺点,研究分析了煤矿无轨...     

矿井通风机扩散器弯头结构处导流板布置方式优化研究

通过对矿井通风机扩散器弯头结构处常见的导流板布置方式进行对比分析,采用有限元流体计算方法,对常见导流板布置方式的优缺点进行了说明,并且加入了长圆弧导流板的数值模拟分析,为矿井技术人员在通风系统实际应用方面提供了依据.     

Research on the Distance of the Active Sonar under the Effects of the Thermocline

The existence of thermocline changes the acoustic structure and effects the direction of the sound rays.This paper analyzes the working process of the active sonar,and the mathematical models.The detection probability of the active sonar under thermocline is studied.First,the detection distance without thermocline is estimat-ed,then the effect of thermocline's depth and sound velocity changes on detecting submarine probability are discussed,and based an this,the effects of the sea condition on searching submarine probability is discussed,lastly the distance of active sonar is calculated under ther-mocline. The results indicate that under thermocline,the distance of the active sonar becomes obvious short,and with the sea condition becoming rough,the effect is more clear.     

大型汽轮机上半缸体重量对通流的影响

针对电站汽轮机实际装配过程中,上半汽缸重量产生的挠度对汽轮机装配后产生偏差进行测量和分析,并结合装配过程提出如何进行修正。     

工业企业顾客满意度测评方法探讨

随着中国买方市场逐渐形成，市场竞争日趋激烈，争夺顾客已成为企业生存和发展的关键。顾客满意和顾客满意度的测评工作越来越受到工业产品生产企业的关注，很多工业企业已经意识到顾客满意与顾客满意度的测评不仅在质量管理的理论和实践中具有重要作用，而且在很大程度上影响着企业的综合竞争力、市场份额与企业的持续发展，