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溶胶凝胶法制备的ZnO气敏薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
Zn(CH_3COO)_2通过溶胶凝胶法(Sol-Gel)被制备成粒度分布均匀的ZnO气敏薄膜,固有构参数已被确定。通过XRD(X射线衍射仪)和TEM(透射电镜)的分析结果,确认膜为ZnO多晶材料,并且利用高阻计测试了在不同气氛中试件的气体灵敏度。 相似文献
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本文介绍了,以SnCl.2H2O为原材料,用sol-gel技术制备La2O3掺杂的SnO2薄膜气敏材料。研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气特性的影响。 相似文献
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ITO薄膜的气敏特性 总被引:4,自引:0,他引:4
本文研究了胶体法制备的ITO薄膜的气敏特性;并同时研究了各种掺杂杂质对ITO薄膜的气敏特性的影响。通过实验发现ITO薄膜对乙醇气体具有最高的灵敏度,对二氧化氮等也有较好的敏感特性。一般催化剂型掺杂物如贵金属等掺杂杂对提高ITO薄膜的灵敏度没有多大帮助。ITO薄膜与SnO2薄膜相比具有更高的稳定性。ITO薄膜的气敏特性既具有表面控制型的特征,又权有体效应气敏材料的敏感特性。 相似文献
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本文介绍了, 以!? ?( ) · ? + 刀为原材料, 用,% ?
一罗. 技术制备(灸% 掺杂的!? / 。薄膜气
敏材料0
研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气敏特性的影响0
实验表明(, 1 % ) 掺杂的!? 几
薄膜气敏材料对以飞有很好的响应特性, 即有高的灵敏度和快的响应时间0 随翎含量的增加
〔# 一?% & 2 34 均, 灵敏度增加, 工作温度向低温方向移动
0 在低氧分压下热处理, 能形成精细
的晶粒与孔洞, 灵敏度大幅度增加
0 相似文献
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金属硝酸氧化法制备的SnO2微粉的气敏特性研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文研究采秀金属锡硝酸盐氧化法制备的SnO2微粉的气敏性能,发现该方法制得的SnO2微粉具有良好的气敏特性,掺杂后做成的气敏元件可燃气体具有很高的灵敏度,可抵抗高浓度可燃气体的冲击,长期稳定性好。 相似文献
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本文采用MOCVD技术制备了薄膜型Fe2O3气敏元件。测定了元件的物理性能和气敏特性。该气敏元件对乙醇、丙酮和液化石油气有较高的灵敏度,响应时间快,对甲烷、管道煤气、硫化氢等气体不敏感,具有一定的选择性。还考查了元件的稳定性。 相似文献
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用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌(ZnO)薄膜和掺Ag、掺Pt与掺Pd的ZnO三种气敏光学薄膜。测量了这些薄膜在NOx气体中的透射光谱,然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律,并用吸附平衡关系式解释了气敏光透射特性,最终优化得到一种对NOx气体灵敏度高的掺Ag氧化锌薄膜。 相似文献
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利用SnO2中的稀土掺杂制作乙炔气敏元件 总被引:3,自引:0,他引:3
本文以SnO2为基体材料,通过几种稀土元件的掺杂,研制了乙炔气敏元件,大量的实验表明,掺入稀土元素钐对于C2H2的选择性和灵敏度有明显的提高。 相似文献
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四价金属元素锆(Zr)对氧化铁薄膜气敏特性的影响 总被引:2,自引:2,他引:0
对用常压化学气相淀积(APCVD)工艺制备的纯α-Fe2O3薄膜和掺锆(Zr)α-Fe2O3薄膜的气敏特性进行了研究。实验表明掺Zr是改善α-Fe2O3薄膜材料气敏特性的一种有效途径。 相似文献
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在本底真空2.4×10-3Pa,溅射电压420 V,溅射电流0.3 A,氧分压0.17 Pa,溅射总气压1.5 Pa条件下制得TiO2薄膜,未退火时为无定型结构,300℃退火后为锐钛矿结构,600℃退火后锐钛矿与金红石结构共存,1 000℃退火后完全转变为金红石结构.在一定工作温度下,随氧分压增加灵敏度逐渐升高;工作温度越高,灵敏度增加越缓慢;200℃下灵敏度随氧分压增加最快.在不同氧分压下分别计算得到激活能;认为Ti3 (int),Ti4 (int)和V2 O均存在且都对导电机制的形成起到作用,而Ti3 (int)作用最为显著. 相似文献
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在采用溅射方法制备的ZnO、SnO2/CeO2纳米平面气敏薄膜实验基础上,总结了气敏薄膜响应时间和恢复时间τc的宏观测量的特征时间次方规律.显微物理化学特性对研究气敏薄膜是十分必要却难以由微观直接测量获得,我们通过上述实验结果与气敏表面反应和表面吸附理论相结合,间接测量了气敏表面吸附结合能Ea这一微观特性,从而表明可以用宏观测量方法研究气敏薄膜的一些微观特性. 相似文献
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TiO2薄膜氧敏特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
金属氧化物随氧分压不同,有改变电导率这一性质而被广泛地用来制作氧敏传感器,传统的传感器大多是体材料或厚膜材料,工作时需加高温。本文描述的是TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧敏现象,测定了该肖特基二极管的氧敏特性,并讨论了它的敏感机理。 相似文献
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本文主要介绍采用S枪磁控反应溅射技术制备SnO_2气敏薄膜材料.运用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、X衍射仪、俄歇电子能谱仪及X光电子能谱仪进行了SnO_2薄膜表面形貌、晶格结构分析,并与不同工艺条件下的组分分析比较,为选择SnO_2薄膜制备工艺提供了重要的实验依据. 相似文献