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基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。 相似文献
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众所周知,油扩散泵有许多优点,是真空技术中应用量大面广的设备之一,因此,世界各国都在不断地努力探索扩散泵的理论1)、2),改进扩散泵的结构,提高扩散泵的性能。近年来,我国真空技术工作者也在勤勤恳恳地做改进扩散泵性能方面的工作。但是,就目前情况看,我国的油扩散泵产品式样死板,性能还达不到国外同类型产品的水平。所以,有必要总结国内外产品的现状,找出差距,明确发展方向,为设计、制造出合格的油扩散泵产品作好准备。 一、国内、外油扩散泵产品 的现状 目前世界各国生产的油扩散泵的规格达300种以上,结构型式较多,性能也有差异。抽速最… 相似文献
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本文通过对工质循环过程的动力学分析，给出油锅内蒸汽的滞止参数、喷咀出口处蒸汽流参数、蒸汽流的压缩功及返油率的计算方法，并讨论了为提高金属油扩散泵性能，各参数之间的关系及调正办法。 相似文献
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本文着重对金属油扩散泵加热方式的改革进行研究分析。 半个多世纪以来,油扩散泵一直以超群 的生命力不断发展和完善着自己,特别是近年来随着多学科的不断发展,油扩散泵应用。之广泛是出乎意外的,这不能不归结于它的独特优点。尽管如此,油扩散泵仍然存在诸如返油率大、耗能高和启动时间长等不足之处。其实各国从事这方面研究的专家学者早已注意到这些问题。比如日本的大亚真空株式会社,为提高生产率缩短泵启动时间,用2～3倍的正常工作功率启动;美国NRC公司对VHS4、VHS6扩散泵启动时间也进行了一系列的研究工作。我所过去也曾进行过将管… 相似文献