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本文系统地介绍了凝汽器真空系统氦质谱检漏原理和方法。它简便、快速、准确,是一项具有重大现实意义的节能技术。 相似文献
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真空氦质谱检漏原理与方法综述 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法。 相似文献
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基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法.总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状.分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论.指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性.结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常. 相似文献
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《电子技术与软件工程》2019,(17)
本文概述了吸枪法的原理,分析了吸枪法在压力传感器检漏中存在的不足,在此基础上提出了氦质谱压力真空捡漏方法,并且设计了适用于CY-YD-203型压力传感器检漏试验的真空室和检漏工装。通过试验验证,本文设计提出的真空室及检漏工装能够满足压力传感器的检漏试验要求。 相似文献
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汽轮机凝汽器真空差一直是电力生产中长期未能很好解决的大问题,是火力发电机组实际供电煤耗远远高于设计的重要因素之一。解决真空严密性问题对降低火电机组供电煤耗和优化冷却系统参数都有重要现实作用。大量数据证明,氦质谱检漏技术是满足火力发电厂“不停机”的真空系统检测的唯一方法。它具有快速、准确、重复性好,无毒、安全、动态检测灵敏度高等优点,是值得向全国推广的节能先进技术。 相似文献
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目前的半导体生产企业越来越多地用无油真空泵(干泵)来取代传统的旋片式真空泵(油泵),原因很简单,干泵的运行成本比油泵低得多,而且相对洁净,寿命长,在半导体生产中油泵的致命缺陷在于需使用昂贵的PFPE油。并且在CVD工艺,刻蚀,扩散等工艺上需经常做保养并换油,这使干泵无疑成为这些苛刻的半导体工艺的最佳选择。 相似文献
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分析了地形及大气环境对微波传输的影响,介绍了无源中继技术在微波传输中的作用及其传输方式,并总结了无源中继装置在实际应用中注意的几个问题。 相似文献
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