微型机械与纳米机械学研究

从微型机械的实际情况出发，并在对比传统机械设计的基础上，提出的纳米机械学的特征、研究范围及其组成分支，然后，通过对微型机械发展现状分析，总结出微型机电系统研究中，对于纳米机械学各学科分支的要求，以及研究目标。     

微型机械的特点,研究现状和应用

简明地叙述了微型机构的特点,综述了微型机构在国内外的研究现状,强调了微型马达的研究在微型机械发展中的重要地位,列举了微型机械应用的典型实例,最后对我国在九五期间发展微型机械提出了一些建议。     

我国微型机械的发展方向和创新途径

微型机械将是２１世纪高新技术发展的推进器和增长点。在我国和世界先进国家开展微型机械研究存在差距的情况下,如何结合我国实际探索我国微型机械的发展方向和创新途径将具有一定的现实意义和学术价值。     

抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展

阐明微型机械新型学科的内涵和广阔的应用前景。综述美、日等发达国家从事微型机械的研究与开发状况和国内微型机械的研究现状。提出了推动我国微型机械快速发展的建议。     

微型机械的摩擦学特性及其表面润滑技术的研究

综述了微型机械的摩擦学特性,阐述了微型机械中摩擦学问题研究的重要性,分析了影响微摩擦力的关键因素。基于目前国内外对微型机械表面润滑问题的研究现状,探讨了LB膜、自组装膜和分子沉积膜各自的特点及其在微型机械表面润滑领域的应用进展,对它们性能的优缺点进行了比较,并提出降低微型机械的表面能是减轻微摩擦磨损的有效措施。     

微型机械的开发与传感器的应用和发展

微型机械的开发与传感器的应用和发展盐步经济发展总公司谭文静目前，世界机械设备正向小型化、节能化、高速化、自动化的方向发展．微型机械的开发及传感器的研制与应用，成为当前世界机械领域中一个引人注目的课题．一、微型机械的开发日本工业技术院作为大型研究项目，...     

一种多功能微型电子机械系统

一种多功能微型电子机械系统谢国章一、引言微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）是德国学者于８０年代末提出的概念，意指由微机械与微电子集成所构成的微型结构，具有小型、可靠、性能优越、生产成本低等优点，既有微电子的处理功能，又有微机械的传感与执行功能，是一全智能系...     

机械期刊要文导读

机械期刊要文导读微型机械的现状与发展《机械工程学报》１９９４．Ｎｏ２，１～８关于微型机械，按照通常的界定，尺寸在１～１００ｍｍ的可小型机构，１０μｒｎ～１ｍｍ的为微型机构，１０ｕｒｎ～１０ｕｒｎ的为超微型机构。到８０年代末期，微型机械的发展已步入在小...     

微型机械的现状与发展

介绍了国际上微型机械研究工作发展特点与趋势以及我国微型机械研究工作现状,提出了近期发展战略的建议。     

微型机械技术的应用和市场前景

文章阐述了微型机械技术在未来五年间的发展趋势，介绍了当今发达国家微型机械已经从研究状态进入了工业化的生产阶段。文章对微型机械产品市场进行了分析和预测，并对微型机械产品应用领域的市场进行分析和预测。     

准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究

准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景,用该技术制作的聚合物微结构深宽比大、精度高,并且工艺简单。我们分析了准分子激光刻蚀原理,探索了这种技术的工艺方法和技术条件,特别对掩膜的结构和制作工艺进行了较为深入的研究。本文采用简易的实验装置,用自行研制的三种结构掩膜进行了准分子激光刻蚀实验,得到了50μm 深的聚合物材料微机械构件。     

In-pipe micromachine locomotion via the inertial stepping principle

This paper discusses an in-pipe inspection micromachine intended for locomotion inside a small diameter pipe. The micromachine locomotion is based on the inertial stepping principle, which utilizes the drive force of the two-body impact. The in-pipe micromachine contacts the pipe through the elastic bristles installed on the in-pipe machine and in two lines and crossways with respect to the micromachine axle. The paper describes the principle of locomotion and the dynamics by which the unknown of both the parameters and the relations are experimentally identified. Based on the results, a simulation model was created, and the results of the simulations were compared with experimental results.     

我国光学仪器行业现状及发展前景探讨

针对“光学仪器”这一专题，从国内光学仪器行业现状谈起，总结国内光学仪器工业发展中的经验和教训，探讨了客观存在的机遇和发展前景，进一步论述了只有增强产品开发能力，提高新品产业和商品化程度，才能振兴我国光学仪器工业的道理。     

振动轮式微机械传感器非线性力学特性的研究

用能量法计算了振动轮式微机械角速率传感器中梁的力矩—转角的非线性关系 ,分析了在这种非线性影响下的传感器幅频、相频特性。试验结果表明在这种微传感器中确实存在非线性振动现象。用推导出的公式得到的计算数据与试验数据吻合得较好。最后提出了减小微结构非线性特性的措施     

中国MEMS的研究与开发进程

微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科，其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化，因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义，13年来中国MEMS研发的总体概况，以及关注的热点。     

The influence of coating structure on micromachine stiction

Stiction and friction in micromachines is commonly inhibited through the use of silane coupling agents such as 1H-, 1H-, 2H-, 2H-perfluorodecyltrichlorosilane (FDTS). FDTS coatings have allowed micromachine parts processed in water to be released without debilitating capillary adhesion occurring. These coatings are frequently considered as densely-packed monolayers, well-bonded to the substrate. In this paper, it is demonstrated that FDTS coatings can exhibit complex nanoscale structures, which control whether micromachine parts release or not. Surface images obtained via atomic force microscopy reveal that FDTS coating solutions can generate micellar aggregates that deposit on substrate surfaces. Interferometric imaging of model beam structures shows that stiction is high when the droplets are present and low when only monolayers are deposited. As the aggregate thickness (tens of nanometers) is insufficient to bridge the 2 m gap under the beams, the aggregates appear to promote beam–substrate adhesion by changing the wetting characteristics of coated surfaces. Contact angle measurements and condensation figure experiments have been performed on surfaces and under coated beams to quantify the changes in interfacial properties that accompany different coating structures. These results may explain the irreproducibility that is often observed with these films.     

再论风电轴承的技术和市场

阐述了全球和我国风电产业的发展情况和发展前景,以及我国轴承行业风电轴承研发和产业化的最新进展,提出了"十二五"我国轴承企业要服务于优势风电机组制造企业,跟踪风电机组机型和单机容量的发展趋势,进行风电轴承的研发和产业化,并论述了我国风电轴承技术发展的方向和重点。     

微电子机械的研究及其应用

介绍了微电子机械的研究对象;理论基础,技术基础;给出了微电子机械在空间科学,医疗、军事和工业上的应用。     

几种新型集成硅微(型)传感器系统

介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺.     

微夹钳研究的进展与展望

微夹钳技术是微机械技术的重要内容之一.本文首先论述了微夹钳的应用背景,回顾了微夹钳技术研究的历史及现状;对目前国内外所研究的微夹钳进行了分类,并对其结构工艺与工作原理进行了分析;最后,对微夹钳技术的发展进行了展望.