电子表格模型在半导体晶圆制造产能规划中的应用

半导体晶圆厂的设备非常昂贵,对设备利用率的要求较高,设计一套简单实用的办法进行产能规划是十分必要的.本文提出了产能规划的三大模块,在前两个模块中将建立半导体晶圆制造产能规划的电子表格模型(Spreadsheet),在第三个模块中利用产能规划模型的数据结果进行分析,总结出一些改进方法.通过在某半导体晶圆厂的实际应用,该产能规划模型有效地解决了投料不均,设备负荷率波动过大等问题.     

半导体制造中的先进生产计划方法

半导体制造业中产品种类繁多，工序复杂，对设备的利用率要求较高，因而相对于其它制造也来说，生产计划的优化也较为复杂。本文讨论了目前半导体行业中常用的启发算法和基于线性规划的优化方法。     

半导体制造车间设施规划浅析

在半导体制造业中,由于其设备的昂贵性、敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局一般不可以轻易更改。设计不周的不良布局将会导致庞大的物料搬运成本,无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。因此,工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题之一。本文依据设施规划的原则对半导体车间的最新布局方式作了系统的阐述。     

半导体专用设备数字制造浅谈

通过介绍目前半导体与集成电路生产设备的技术情况,分析了该行业的特点和面临的国外封锁和压力,并且从设备数字制造技术的应用背景以及目前起到的巨大作用,对我国该行业的数字技术应用提出了看法。     

台湾地区半导体产值频创新高2008年拥全球1／3晶圆制造产能

经济部工业局表示，台湾地区半导体产业发展至今，不仅产业结构己相当完整，展现的成绩也让国际瞩目。2005年总产值将再创新高，达到1．1131兆亿元。在政府致力推动“晶片系统国家型科技计画”下，预期2006年台湾地区封测业资本支出将提高，此外，随着厂商积极的投入，预估至2008年，台湾将可望拥有超过15座以上的Ф300mm厂晶圆厂，     

Gartner：半导体制造设备销售快速增长

据Gartner公司的最终结果显示，在内存行业新产能需求和投资竞赛的推动下，2006年全球半导体资本设备总支出达419．5亿美元，较2005年增长22．9％。     

半导体生产规划中的优化决策方法:线性规划

半导体制造是一个流程高度复杂,资金高度密集的加工过程,相对于其它制造业来说,其产品种类繁多,工序复杂,对设备的利用率要求较高,因而生产优化也较为复杂.本文利用线性规划(linear programming,LP),对半导体制造的封装和测试过程进行数学建模,并构建一套决策支持系统.与电子表格手工计算相比,该系统大大缩短了生产计划响应时间,并提高了瓶颈设备利用率.     

半导体柔性制造工厂

半导体柔性制造工厂电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）党冀萍１半导体柔性制造随着微电子技术、计算机技术等高科技的飞速发展和军事武器装备更新换代周期的缩短，半导体产品制造面临着短周期、低成本、高质量的挑战。再加上我国市场经济逐步建立，市场竞争日...     

半导体柔性制造技术

半导体柔性制造技术电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）金圣东东欧剧变，苏联解体，此极对峙格局瓦解，持续半个世纪的冷战时代终告结束。今后，爆发全球性世界大战的可能性变小，随之而来的是频繁引发的各种局部战争。在冷战时期长期被掩盖的一些国家或地区原...     

半导体晶圆制造中的设备效率和设备能力

在半导体制造车间中,设备是非常昂贵的,设备折旧与维修占生产成本组成的最大比重,设备利用率的提高显得尤为重要,因此设备效率和设备能力已成为半导体制造者最关心的问题之一.本文针对该问题,系统地介绍了半导体晶圆制造中设备效率和设备能力的衡量标准及其数据收集,以期达到提高设备利用率的目的.     

Capacity Planning of Survivable Mesh-based Transport Networks under Demand Uncertainty

Almost all existing work on the design of survivable networks is based on a specific demand forecast to which one optimizes routing and transport capacity assignment for a single target planning view. In practice these single-forecast models may be used repetitively by a planner to consider a range of different scenarios individually, hoping to develop intuition about how to proceed. But this is not the same as having a planning method that can inherently and quantitatively consider a range of possible futures all at once. Our approach considers both the cost of initial design construction and the expected cost of possible augmentations or “recourse” actions required in the future, adapting the network to accommodate different actual future demands. In practice, these recourse actions might include lighting up a new DWDM channel on an existing fiber or pulling-in additional cables, or leasing additional capacity from third party network operators, and so on. A stochastic linear programming approach is used to achieve designs for which the total cost of current outlays plus the expected future recourse costs is minimized. Realistic aspects of optical networking such as network survivability based on shared spare capacity and the modularity and economy-of-scale effects are considered. These are not only important practical details to reflect in planning, but they give the “future-proof” design problem for such networks some unique aspects. For instance, what is the working capacity under one future scenario that may not waste capacity if that demand scenario does not materialize, because the same channels may be used as shared spare capacity under other future scenarios. Similarly economy-of-scale effects bear uniquely on the future-proof planning problem, as the least-cost strategy on a life-cycle basis may actually be to place more capacity today than current requirements would suggest. This is of obvious relevance to planners given the recent hard times in the telecommunications industry, causing a tendency to minimize costs now regardless of the consequences.     

在半导体制造业导入高级规划与排程系统

半导体制造系统的回流、资源高度共享等特征使得仅采用ERP系统已无法满足对生产规划与排程的种种需求.高级规划与排程(APS)系统的出现是为了强化ERP中以传统MRP规划逻辑为主的生产规划与排程功能,以协助规划人员对物料与产能做同步且最有效益的生产规划.APS系统利用先进的信息科技及规划技术,再考虑企业资源限制条件与生产现场的控制与派工法则,规划可行的物料需求计划与生产排程计划,具有同步规划、即时规划、最优规划等特点.对APS功能特色、APS导入时与ERP的衔接问题以及导入后各部门的运作进行了介绍及分析.     

基于指标分析与容量消耗测试的WCDMA无线网络扩容方法探讨

中国联合网络通信有限公司深圳分公司(以下简称深圳联通)在研究传统无线网络扩容方法的基础上,提出了一套基于指标分析与容量消耗测试的WCDMA无线网络扩容方法,并按照这套方法进行了2011年的扩容规划。该扩容方案的实施证明,该方法能够准确、有效地满足业务发展的需求,为市场的进一步拓展提供有力的网络保证。     

半导体器件发展历程及其展望

简述了半导体器件发展历程,及其对人类社会发展所产生的深刻影响。探讨了半导体器件所取得的最新研究成果以及它今天面临的挑战及未来发展趋势。最后阐述了世界半导体产业重心的转移及其给中国半导体产业发展带来的机遇与挑战。     

网络备用容量优化的一种数学模型

本文研究了ＳＤＨ通信网的保护问题。当故障发生时，必须找到一些路由用于建立足够的恢复通道。同时，在建立一个通信网络时，希望在满足一定保护要求的前提下使用最少的备用资源。解决这个问题的这一步是提出一个数学模型。这也是最困难和最重要的一步。一旦建立了一个数学模型，我们就可以用某种数学上的算法来解决它了。     

半导体芯片中等离子损伤的解决方案

在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。     

An ATM Switch Capacity Allocation Problem

In this paper, we consider a capacity allocation problem arising in the context of deploying asynchronous transfer mode (ATM) networks. Given types of ATM switches, the problem is to find an optimal allocation of capacity such that the total cost of installed switch modules is minimized, while satisfying all traffic demands. We formulate the problem as an integer programming model, which can be conceptualized as a generalized bin packing problem with capacity constraints. We then develop a surrogate constraint technique of the formulation for enhancing the representation of the model. Guided by the tight lower bound of the surrogate relaxation, we devise an effective tabu search heuristic that provides good quality solutions with guaranteed optimality. We present promising computational results that show the viability of the proposed heuristic and lower bounding methods, and that provide insights into implementation for configuring ATM switch in practice.