基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制

介绍了一种基于LabV IEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言(LabV IEW)在此系统中的应用;监控系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜的光谱特性检测。     

基于宽光谱的嵌入式膜厚监控系统

为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统。本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽光谱特性,对镀膜过程进行自动控制。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,实验结果表明,系统具有较高的监控能力,性能稳定。     

微机监控光学膜厚方法的实验研究

作者设计和制作了膜厚自动监控系统。利用该系统能准确控制λ/4膜层的极值厚度,其误差<3％。该方法快速、有效、成本低廉,易于推广应用。实验结果表明,研究方法是成功的。     

大面积户外照明光学薄膜膜厚均匀性研究

户外照明采用大面积光学薄膜,对薄膜均匀性提出较高的要求。采用平面公自转行星夹具镀制户外照明用大面积光学薄膜,分析计算了光学薄膜膜厚的均匀性,探讨各个参数对膜厚均匀性的影响,经测试分析,得到理论偏差和实际偏差结果。     

光学干涉滤光片的石英晶体膜厚自动监控技术

介绍了用石英晶体膜厚控制仪全自动生产光学干涉滤光片的系统结构、镀膜参数和主要结果。讨论了通过改进离子辅助镀膜工艺提高T iO2薄膜折射率稳定性对于应用石英晶体膜厚监控技术的重要性。     

光学镀膜近红外膜厚监控的信号压噪

在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,自行研制锁相放大器和改装近红外探头,成功地实现了近红外信号的压噪、放大、滤波和检测监控。     

一种新型多功能快速分光式膜厚仪

介绍了一种高性能的多通道光学薄膜膜厚监控系统的设计与制作,系统使用了ＣＣ秦为线阵探测器。详细论述了光源、接收器以及光纤导光系统物设计过程。实验表明该设备可以用于高精度高速测量,也适合于监控制作多层膜滤光片。     

DWDM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪

随着信息技术的发展对高密度波分复用（ＤＷＤＭ）滤光片的需要越来越大。而高精度性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备ＤＷＤＭ滤光片的关键,文中论述了所建立的制备用１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚ ＤＷＤＭ滤光片的高精度高性能的光学膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力的０．１ｎｍ,重复性精度为&#177;０．０５ｎｍ,信噪比与温度漂移特性分别&#177;０．０１％和０．０５％／ｈ。还论述了该系统的实际实验结果。     

DW DM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪

随着信息技术的发展对高密度波分复用（ＤＷＤＭ）滤光片的需要越来越大。而高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备ＤＷＤＭ 滤光片的关键。文中论述了所建立的制备用于１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚ ＤＷＤＭ 滤光片的高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力为０．１ｎｍ ,重复性精度为±０．０５ｎｍ 。信噪比与温度漂移特性分别为±０．０１％ 和０．０５％ ／ｈ。还论述了该系统的实际实验结果。     

光学薄膜的研究

本文概述了当前薄膜光学领域里的一些研究工作,并就具体的研究方向,如:光学薄膜的离子束辅助淀积和离子束溅射、低能离子镀技术,光学薄膜的成核、生长和微结构的模型,薄膜特性的检测和微结构分析等作了论述。     

光学薄膜自动化控制系统简述

光学薄膜产品在军事、空间科学和工农业生产中发挥着重要作用.面对日益复杂的需求,膜系设计动辄数十、上百层,纯手动或半自动化的镀膜机已经不能满足现有需求.随着计算机和自动化技术的发展,全自动精密光学镀膜机的出现成为现实.主要介绍全自动真空蒸发镀膜机自动化系统的构成、相关硬件模块和软件内容.     

确定无吸收薄膜光学参数的新方法

本文提出一种测量无吸收单层膜光学参数的新方法,它利用 T—λ曲线上的特定光学位相点求出单层膜的几何厚度,进而求出色散因子。     

薄膜参数测定新方法

该方法的特点是一次测量可确定两种波长下（０．６３μ，３．３９μ）薄膜的三个光学参数：折射率、吸收系数、厚度，并可利用两种波长下所测薄膜厚度必须相等来检验测量结果的正确性。     

薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究

应用光刻和薄膜沉积技术,制作了多级衍射光学元件。对制作误差和影响误差的因素进行了分析。给出了改善对准误差的标校方法,并在实际的多级衍射光学元件制作过程中得到验证。     

金刚石薄膜的抛光技术

介绍了目前正在研究和应用的金刚石薄膜抛光技术，并对它们的原理、特点和适用范围进行了分析和总结。     

白光反射谱测薄膜厚度实验

本实验利用白光的反射谱采测薄膜的厚度,利用单色仪测量不同波长光的干涉光强度,把对条纹的测量转变为对不同波长干涉光强度的测量,既可以手动也可以利用数据采集系统自动采集和处理数据,使操作和测量更加简洁方便.     

纳米薄膜轴承薄膜破坏分析

纳米薄膜可以改善滚动轴承的表面质量，以减少振动、降低噪声，减小摩擦、延长轴承寿命。试验证明，含纳米薄膜的滚动轴承疲劳寿命明显高于普通轴承。本文讨论纳米薄膜轴承表面纳米膜的破坏。     

光盘中使用的光学薄膜

介绍了用于ＣＤ系列光盘,磁光光盘,相变光盘和ＤＶＤ系列光盘的信息记录膜,光学介质膜和反射膜材料的原理,性能要求,制膜技术以及膜层之间的匹配问题。