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为了克服传统机械式和电子式压力开关的体积大、制作工艺复杂以及不易与后续电路集成等缺点,论文采用具有金属引线台阶覆盖能力的玻璃浆料封装技术进行了无源MEMS压力开关的设计和制备。设计的无源MEMS压力开关的整体结构方案主要包括硅盖板上的压力敏感膜、硅岛、上电极和微阻挡凸台以及玻璃基底上的玻璃浆料和下电极。通过仿真优化了压力敏感膜、硅岛和上下电极的关键尺寸。经过三次湿法腐蚀工艺流程制得了双阻挡凸台、硅岛和感压膜片。通过玻璃浆料热压工艺将硅盖片、玻璃基底和金属引线三者键合成一体,工艺结果显示双阻挡凸台的高度和感压膜片的厚度很好地控制在8μm和50μm,而且经测试,MEMS压力开关的阈值压力为125kPa。 相似文献
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智能电子压力开关研制及应用 总被引:2,自引:0,他引:2
赵连科 《工业仪表与自动化装置》2005,(5):58-59,57
分析了智能电子压力开关的特点,研究并论述了智能电子压力开关采取的模型识别技术及信号自动分段技术.研制的智能电子压力开关已在输油管道上应用.应用结果表明该智能电子压力开关技术先进、性能稳定可靠. 相似文献
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鉴于传统二线制电子延时开关整流桥容易烧毁的缺点,本文从结构及电路原理介绍二线制电子延时开关的改进技术,改进后主回路中不需整流桥,直接由双向可控硅进行开关控制。 相似文献
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本文针对数字式称重传感器的串行通讯方式,对目前RS-485通讯(四线制)和RS-485(两线制)作以下介绍和分析。 相似文献
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叙述了基于PIC单片机的两线制低功耗流量显示仪的设计方法。给出了利用涡街等流量传感器输出的脉冲频率信号进行计数和利用温度、压力信号进行补偿的流量测量原理。介绍了两线制、低功耗流量显示仪设计和实现过程中的一些关键技术问题。 相似文献
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钱富和 《仪器仪表标准化与计量》1993,(5)
1 适用范围本标准适用于船上发动机、辅机等设备上,作为控制保护及报警方面使用的船用压力开关(以下简称开关)。注:本标准中带有{}的单位及数值为原单位值或标准值。 2 术语的定义本标准采用的主要术语的定义如下: (1)给定压力:开关接通、断开,所必须的工作压力的给定值。 相似文献
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《仪表技术与传感器》2015,(9)
在无线无源互感耦合传感检测系统中,需要通过检测远端敏感单元的谐振频率来读取传感器的谐振信息。因此,设计一个高精度的宽带线性扫频源来满足测试系统实现稳定和精准的测试。为了解决这个问题,设计了一种基于DDS技术的高带宽线性扫频源,带宽为1~100 MHz,频率精度为O.116 Hz,最小扫频步进值为0.233 Hz,驱动能力为6dBm。MATLAB仿真分析了线性扫频源的扫频步进值不同时对LC谐振传感器检测精度的影响。并通过实验验证了该线性扫频源在互感耦合谐振器频率读取系统中的可靠性和稳定性。 相似文献
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针对某压力开关在经历一系列承压试验后,出现开启压力降低的故障现象,文章进行了分析。 相似文献
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研究了一种基于高速开关阀的开关液压源。这种压力转换器是参考弱电系统中的boost-buck电路的结构,并以液压元件替代其中的电气元件而设计的。复合型开关液压源可以通过改变高速开关阀的占空比,从而无节流损失的增大或者减小输出压力。为了实现其增压及减压作用,复合型开关液压源需要配置两个高速开关阀,相当于一个单刀双掷开关。研究发现当占空比小于0.5时为减压状态,而当占空比大于0.5时为增压状态。理论及仿真均验证了其可行性。复合型开关液压源的提出为二次调节静液传动提供了新方法。 相似文献
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两线制电容式数字液位传感器研制 总被引:1,自引:0,他引:1
电容传感器在液位测量领域应用广泛,但在实际应用中,常会因被测介质和测量范围的不同需要现场校准传感器.为简化校准方法,设计了以PICl6F684单片机为核心的数字液位传感器.该传感器采用模拟校准和数字校准2种方式.出厂前进行模拟校准,以确定量程.现场安装时进行数字校准,通过对2个有较大差值的不同液位的实测,对传感器的零点和放大倍数进行修正,以确保液位传感器的精度.传感器采用AD421构成两线制4~20 mA电流信号输出,方便与现有仪表或微机系统等配合使用. 相似文献
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一种双路两线制温湿度变送器 总被引:2,自引:0,他引:2
功耗问题一直是两线制变送器的一个难题.设计采用DC/ DC电源解决了两线制变送器的瓶颈问题,即输出电流为4 mA时整机能够正常工作.介绍了以MSP430F169为核心设计的隔离双路两线制温湿度变送器,包括整个系统的原理框图、电源部分电路、SHT11传感器、V/I转换电路、软件流程图. 相似文献
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复合式压力开关传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种复合式压力开关传感器,可设置多路开关量限,提供系统上、下限和超限报警。描述机械式开关和压力传感器的相互关系,包括一体化的结构设计、传感器的温度补偿、控制电路。 相似文献