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《精细化工原料及中间体》2017,(8)
<正>提供了具有改进的流动性能的新的抗反射或填充组合物。所述组合物包括苯乙烯-烯丙醇聚合物和优选的至少一种其它聚合物(例如纤维素聚合物)以及苯乙烯-烯丙醇聚合物。本发明的组合物可用于保护接触孔或通孔,从退化的双镶嵌工艺的蚀刻过程中。本发明的组合物也可应用于衬底(例如,硅晶片),以形成具有高蚀刻率的抗反射涂层,其在 相似文献
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光刻胶针孔密度测试方法-透射铬版法的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
光刻胶针孔密度测试方法-透射铬版法的研究喻小琦,马存恕(广州化学试剂研究所,广州 510280)(北京化学试剂研究所,北京100022)关键词光刻胶,针孔密度,透射铬版法针孔密度是表示单位面积胶膜上出现微缺陷的个数,是抗正向蚀刻能力的一种表征。测量胶... 相似文献
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《精细化工原料及中间体》2018,(4)
正该项目位于四川省眉山市成眉石化园区,由眉山晶瑞电子材料有限公司投资建设,新建年产87000吨光电显示、半导体用新材料项目。主要包括年产30000吨高纯过氧化氢、10000吨硝酸、10000吨氢氟酸、10000吨显影液,10000吨剥离液,10000吨蚀刻液,5000吨锂电池粘结剂,1000吨彩色光刻胶、1000吨正性光刻胶的生产装置、储存设施及配套的公用工程等,新 相似文献
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