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相似文献
 共查询到10条相似文献,搜索用时 31 毫秒
1.
<正>提供了具有改进的流动性能的新的抗反射或填充组合物。所述组合物包括苯乙烯-烯丙醇聚合物和优选的至少一种其它聚合物(例如纤维素聚合物)以及苯乙烯-烯丙醇聚合物。本发明的组合物可用于保护接触孔或通孔,从退化的双镶嵌工艺的蚀刻过程中。本发明的组合物也可应用于衬底(例如,硅晶片),以形成具有高蚀刻率的抗反射涂层,其在  相似文献   

2.
《涂料技术与文摘》2006,27(6):32-33
200606034 硅氧烷涂料、光学元件及硅氧烷涂料的制备工艺;200606035 形成多孔膜的聚硅氧烷组合物、多孔形成工艺以及用于光刻胶的多孔牺牲膜;200606036 贮存稳定的有机硅酸酯组合物及其制备方法。  相似文献   

3.
申请人 国际商业机器公司  地址 美国纽约州  一种水溶液蚀刻剂组合物 ,含有约 0 0 1~ 1 5wt%的硫酸和约 0 0 1~ 2 0wt%的过氧化氢或约 1~ 30ppm臭氧 ,以及约 0 0 1~ 1 0 0ppm的氢氟酸 ,该组合物可以有效地从基底或导电材料上去除聚合物和通路残留物 ,特别是从其上具有铝接线的集成电路芯片上去除所述的残留物。蚀刻组合物及其用途  相似文献   

4.
光刻胶针孔密度测试方法-透射铬版法的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
光刻胶针孔密度测试方法-透射铬版法的研究喻小琦,马存恕(广州化学试剂研究所,广州 510280)(北京化学试剂研究所,北京100022)关键词光刻胶,针孔密度,透射铬版法针孔密度是表示单位面积胶膜上出现微缺陷的个数,是抗正向蚀刻能力的一种表征。测量胶...  相似文献   

5.
《上海化工》2005,30(9):38-38
日本索尼公司最新开发成功使用超临界CO2消除在制备超大规模集成电路过程(VLSIs)中的干燥-蚀刻残留的光刻胶。据这家电子设备制造商称:上述技术能使VLSIs的低介电常数层间薄膜和底板不受损伤。  相似文献   

6.
正该项目位于四川省眉山市成眉石化园区,由眉山晶瑞电子材料有限公司投资建设,新建年产87000吨光电显示、半导体用新材料项目。主要包括年产30000吨高纯过氧化氢、10000吨硝酸、10000吨氢氟酸、10000吨显影液,10000吨剥离液,10000吨蚀刻液,5000吨锂电池粘结剂,1000吨彩色光刻胶、1000吨正性光刻胶的生产装置、储存设施及配套的公用工程等,新  相似文献   

7.
《涂料技术与文摘》2009,30(5):45-46
耐干擦性单组分涂料组合物及应用方法;褪色涂料组合物及其涂装方法;高效散热涂料;聚酰胺酸的清漆组合物和金属-聚酰亚胺复合物;由白色涂料和彩色颜料构成的彩色涂料组合物;  相似文献   

8.
《山东化工》2021,50(3)
介绍了碱性蚀刻液的蚀刻机理、蚀刻废液的产生;综述了碱性含铜蚀刻废液再生方法及回收铜的工艺过程、技术特点和产品质量;简介了碱性含铜蚀刻废液再生处理及回收铜技术的发展趋势等。  相似文献   

9.
防污涂料     
《涂料技术与文摘》2009,30(11):49-49
含带硼侧基聚合物的防污涂料组合物及其制备方法;船底用无毒抑制洗提型防污漆;具有负ζ电位的含硅土的防污组合物;防污涂料组合物、制备该组合物的方法、通过使用该组合物形成的防污涂膜、表面具有该涂膜的涂敷制品,以及形成该涂膜的防污处理方法:  相似文献   

10.
《涂料技术与文摘》2007,28(10):36-37
以UV光固化聚氨醋组合物二步密封木器和塑料表面的方法;基于乙烯类不饱和聚氨醋的UV固化涂料组合物;辐射固化丙烯酸聚氨醋组合物、其固化产品和以该组合物涂覆产品的制备;紫外光固化水性涂料及其制备方法和应用;光固化水性丙烯酸环氧树脂乳液及由其制备的涂料;活化能射线固化性涂料组合物以及涂膜形成方法。  相似文献   

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