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对国产工艺的部分耗尽SOIPMOSFET60Coγ射线的总剂量辐照及退火效应进行了研究。结果表明:随着工艺技术的发展,正栅氧化层具有较强的抗辐照加固能力,背栅由于埋氧层厚度和工艺生长原因而对总剂量辐照较为敏感;辐照引入的深能级界面态陷阱电荷的散射作用,导致了正栅源漏饱和电流的显著降低;退火过程中界面态陷阱电荷的饱和决定了正栅亚阈曲线的平衡位置,而隧穿或热发射的电子只能中和部分背栅氧化物陷阱电荷,使得退火后背栅曲线仍与初始值有一定负向距离。 相似文献
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主要研究了LH4007RH-CMOS器件与60Co γ射线辐照总剂量、剂量率以及辐照后退火时间和温度的响应关系.试验研究表明,按照美军标1019.4试验步骤,如果器件经0.5~3Gy/s高剂量率辐照后再附加25℃的室温退火,评估氧化物陷阱电荷效应就显得不太保守.对于评估器件空间界面态效应,建议仍使用一星期 100℃的高温退火. 相似文献
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采用高选择和自终止多孔氧化硅全隔离技术的制备了高质量的SOI材料,研究了在该材料上采用2μmCMOS工艺制备的不同沟道长度的P沟MOSFET的^60Coγ射线总剂量辐照特性,表明经5kGy(Si)辐照后,器件仍有特性,但阈值电压有较大的漂移,这主要是由栅氧化层中的辐照感生电荷而引起,不同的沟长度PMOSFET的辐照特性有基本相同,经一段时间室温退火,阈值电压出现回漂。 相似文献
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L82C87集成电路的总剂量辐射效应研究 总被引:2,自引:0,他引:2
对SiO2/Si3N4复合栅结构L82C87电路的电离辐射效应,退火特性及损伤机理进行了研究,探讨了用SiO2/Si3N4复合栅结构对大规模集成电路进行抗辐射加固的可行性。 相似文献
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研究了深亚微米部分耗尽型SOI NMOSFET的抗总剂量辐射特性,主要讨论不同偏置状态对器件抗总剂量辐射性能的影响及其原因。通过器件模拟发现,辐射过程中的不同偏置状态使器件的电场分布差异很大,而器件埋层中俘获空穴的分布与电场密切相关,进而对器件产生不同的影响。模拟结果表明,器件在关态偏置下,背沟道附近陷获电荷密度最高,引起的阈值电压负向漂移和泄漏电流最大,即该偏置状态为浮体器件抗总剂量辐射的最劣偏置状态。 相似文献
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本文从实验结果出发,评论了国产市售和加固CMOS电路抗γ总剂量的辐射特性。介绍了几种工艺CMOS电路阈电压、静态功耗电流、输入输出特性和传输延迟时间等对总剂量辐射的不同响应规则。对多种实验电路进行了为期两年的辐射特性退火观察。实验的同时,对美国RCA公司的一种未加固电路作了辐射测量。用该结果与国产电路的辐射特性作了比较。本文认为~(6O)Co源可以作为合适的核爆总剂量辐射效应模拟源。 相似文献
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本文对一种由计算机自动控制并进行数据采集的电子元器件总剂量辐照现场测试系统进行了描述,并通过应用该系统对CMOS数字电路CC4069进行与总剂量辐射同步的电参数在线测量,以及辐照后退火数据的快速采集,研究了CMOS数字电路总剂量辐照在响应特性和辐照后快速时间退火效应。 相似文献
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加速器驱动洁净能源系统(ADS)是核能可持续发展的一种创新的技术路线。散裂中子源是ADS的三个主要组成部分之一,产生强度约为10^18s^-1的中子,驱动临界堆。作为ADS系统的窗和靶材料,受高剂量的质子和中子辐照,其累积剂量率每年可以达到约200dpa。如此高的剂量,会产生严重的辐照损伤,导致ADS系统的故障或造成不堪设想的事故。钨用作ADS系统散裂中子源的窗和靶材料,需要对辐照损伤效应进行研究。本工作研究钨辐照损伤随辐照剂量的变化。现有中子和质子源强度低,不能直接用于ADS所遇到的高剂量的辐照效应研究,采用重离子辐照模拟方法研究高剂量中子或质子辐照在钨中产生的辐照损伤。 相似文献
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本文建立了包含温度场的低剂量率辐照损伤增强效应(ELDRS)的物理模型,利用有限元方法仿真了辐照温度、剂量率、总剂量和辐射感生产物浓度的相互关系,分析了工艺参数,如氧化物陷阱浓度、能级,含H缺陷浓度及界面陷阱钝化能对最佳辐照温度的影响。结果表明,最佳辐照温度是辐射感生产物产生与退火相互竞争的结果,且辐射感生产物的退火行为是决定最佳辐照温度的主要因素,因此氧化物陷阱的热激发能及界面陷阱的钝化能对最佳辐照温度的影响最为明显,是不同器件最佳辐照温度差异性的主要原因。 相似文献
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为研究高剂量率对牛血清辐照灭菌中的活性下降的抑制作用,将新生牛血清分别经平均剂量率为60、600 Gy/min钴源和300 k Gy/min电子加速器3种方式辐照30 k Gy后,分析牛血清蛋白的生化特性和结构变化及其与剂量率的关系。结果表明,与未辐照牛血清相比,辐照后蛋白浊度、疏水氨基酸荧光强度、放热峰出峰时间分别从0.742、24.1 u和16.5 min升高至0.802、99.3 u和17.2 min,而蛋白浓度、放热峰温度分别从0.473和76.4℃下降至0.444和74.5℃。电泳分析(SDS-PAGE)显示,600 Gy/min钴源辐照牛血清中相对分子质量为175 k Da和58 k Da的蛋白组分含量明显大于低剂量率辐照牛血清。经扫描电镜(SEM)分析,辐照后牛血清中沉淀部分呈现密集的网络结构,未沉淀部分呈现碎片和球状体混合的形貌结构,低剂量率辐照的样品蛋白球状体形貌不突出。可见高剂量率有抑制辐照灭菌牛血清蛋白分子变性的作用,3种方式中600 Gy/min钴源效果最明显。 相似文献
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针对目前国内存储器辐照效应研究大多集中于功能测试,所测参数少的现状,提出了浮栅型存储器阈值电压的测试方法,并对浮栅型存储器EPROM初步开展了脉冲总剂量对器件阈值电压影响的效应研究,分析了损伤机理.研究结果表明,脉冲总剂量引起存储单元阈值电压向负方向发生明显漂移,在不加电和静态加电两种情况下,存储单元阈值电压漂移基本一... 相似文献