蚀刻深度传感器耦合问题的研究

对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感器元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件 对蚀刻深度的测量结果有较大的影响。给出了振动误差的抑制措施。     

电容式硅微加速度计变换方程的研究

研究了利用硅簿片为敏感元件的电容式加速度计，加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构，可以消除元件弹性连接的不完善性，而且极板间隙中空气相对介电常数εr的高稳定性是这种电容式传感器的优点之一。给出了敏感元件的实际弯曲函数，分析了其变换方程及非线性，研究表明，在设计电容式硅微加速度计时，只要间隙调制深度在-0.5- 0.5，加速度计的变换函数基本满足线性，得到的变换方程可以作为合理选择电容式加速度计的电极结构参数的理论依据。     

抗锑化氢中毒氢敏感元件的研制

本文分析了现有氢敏感元件对锑化氢中毒原因，寻找一种锑及其化合物的疏离物质，并对用该帮成的氢敏感元件进行抗毒考核和抗毒机理分析。     

敏感元件及传感器

一、国内外技术现状及发展趋势 敏感元件及传感器生产技术，近年来在世界各国得到迅速发展。美国、法国、德国、荷兰、俄罗斯、日本等国已实现产业化。我国在研制敏感元件及传感器方面有一定技术基础，并已研制开发了部分产品，主要技术性能指标已达到国际先进水平，但目前尚未实现工业化生产。 用新的敏感元件材料制成的力敏、热敏、磁敏、气敏、湿敏等敏感元件，已广泛用于能源、化工、石油、自动控制和军工等各个领域。敏感元件及传感器技术的发展趋势是集成化、微机械化和智能化。二、技术开发的总体目标和重点任务 重点开发高精度ＮＴ…     

电容式角位移传感器有限元仿真及拓扑优化研究

以一种高精度电容式角位移传感器的敏感元件为模型,通过有限元法分析电容式角位移传感器敏感元件在机械角度、厚度和弹性模量变化下的应变。通过分析应变结果获得传感器的测量范围,通过改变敏感元件的厚度可以扩大或缩小其测量范围。最后采用拓扑优化方法对敏感元件的机械结构进行了最优化设计,得到其拓扑最优化结构,可以对传感器敏感元件的结构设计提供参考。     

CMOS集成二维风速和风向传感器的研制

提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器，其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成，其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝／多晶硅型热电堆所构成，加热电阻位于热敏感元件的中间。具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺，最后给出了试制的芯片和传感器的测量结果。     

一种减小微机械加速度计振动偏移的方案

为降低敏感元件对称性较差的微机械加速度计的振动偏移,对加速度计振动偏移产生的原因和抑制方案进行研究.首先,分析了系统学模型,并得出对于不对称的敏感元件采用对称的电容检测电路时,检测电路输出和敏感元件动极板位移关系函数中存在明显偶次项系数,进而造成振动零偏;其次,讨论了力矩器的非线性,通过理论分析得出,外加静电力等效对称方案无法抑制力矩器环节的振动偏移,提出了敏感元件等效对称补偿方案以及静电力发生器等效对称化方案,通过理论分析得出该方案大大降低了敏感元件不对称带来的振动偏移;最后,对静电力对称方案和等效对称补偿方案进行了对比试验.试验结果表明,对于对称性较差的敏感元件,等效对称补偿方案在保证线性度的同时,大大减小了振动时输出均值的偏移.     

杭锑化氢中毒氢敏感元件的研制

本文分析了现有氢敏感元件对锑化氢中毒原因,寻找一种锑及其化合物的疏离物质,并对用该物质做成的氢敏感元件进行抗毒考核和抗毒机理分析。     

敏感元件及其应用

有许多原因促使自动化技术在工业中的应用不断扩大,其结果之一是使人们对测量愈来愈重视,这反映在对敏感元件无论是在质量还是在数量方面都提出了更多的要求。就数量而言,最近的调查结果表明:仅在机械行业敏感元件每年增长速度,预计就有15%。本文引用大量的市场调查,来说明敏感元件在各个部门销售的增长情况;其次,研究了对开发敏感元件市场具有重要意义的若干经济因素;最后,讨论了科研机构和教学部门为适应上述变化而需要采取的措施。     

基于ANSYS扭矩传感器的敏感元件设计

在应变式扭矩传感器的设计中,敏感元件的设计是最重要的部分。敏感元件的设计过程主要包括了选择敏感元件材料、设计敏感元件结构以及选取应变片黏贴位置等几个步骤。首先,根据实际情况选择了性能较好的弹簧钢作为敏感元件的材料。然后,运用ANSYS软件分析结构的应力应变,根据实际的应力应变情况将应变片的位置选在了弹性梁的应力值比较大并且适合粘贴应变片的地方。经研究分析,该设计适合采用直角应变花测量。最后,试验结果数据表明了设计的可靠性。     

一种防爆负载敏感比例多路换向阀组的设计与仿真研究

采用静态理论分析、结构优化设计、动态模拟仿真相结合的方式，设计一种防爆负载敏感比例多路换向阀组。根据防爆负载敏感比例多路阀及负载敏感系统的液压原理，提出防爆负载敏感多路换向阀组的设计要求，并设计两联防爆负载敏感多路换向阀组的液压原理图；采用静态理论分析对该阀组进行压流特性研究，提供理论支持；防爆负载敏感比例两联多路阀组采用板式阀、插装阀相结合的方式进行结构优化布局，完成防爆负载敏感多路换向阀组的结构设计；基于AMESim建立防爆负载敏感系统的仿真模型并进行动态仿真，验证阀组的流量比例特性和压流特性。结果显示，新型防爆负载敏感多路换向阀组的流量比例特性和压流特性均符合负载敏感比例多路阀的设计要求。     

温度传感器中的热传导及其对测温系统的影响

从试验和理论分析两方面对汽车用温度传感器（即感温塞）中的稳定导热问题进行了研究,得到感温塞上的温度分布及温敏元件的真实温度与感温塞浸没于冷却液中深度之间的函数关系;导出温敏元件的耗散系数与接触热阻之间的关系,并分析讨论了诸因素对器件性能及测温系统的影响。     

圆锥滚子超精研导辊的精确辊形及其磨削分析

确定了圆锥滚子超精研导辊的精确辊形,并进行了数值分析,结果表明,辊形锥角对滚子锥角最敏感,对接触角较敏感,对滚子直径不敏感;辊形凹度对滚子锥角较敏感,对接触角和滚子直径均不敏感。提出了导辊磨削辊形表达式并进行了数值分析,分析表明砂轮半锥角和砂轮架垂直摆角是两个关键参数,对其合理取值可实现辊形精确磨削;给出的分析实例中,在0.1μm精度范围,内磨削辊形与精确辊形相同。     

瓦斯传感器MnO_2/Al_2O_3催化材料的研制

采用室温固相合成法制备了不同含量的MnO_2/Al_2O_3系列敏感材料,试验研究了MnO_2催化剂含量和焙烧温度对甲烷气体催化活性的影响,并考察了甲烷传感器灵敏度大小及敏感材料的长期稳定性.结果表明:该法制备的MnO_2/Al_2O_3系列敏感材料具有较好的低温催化活性,且随MnO_2含量的增加,催化剂的低温活性增强.综合考虑敏感材料的催化活性、灵敏度和稳定性,400 ℃焙烧制备的MnO_2含量为30%的MnO_2/Al_2O_3敏感材料对甲烷低温催化燃烧有较好的催化性能.     

敏感元件和传感器发展建言

分析了我国敏感元件和传感器的现状和差距,从产品研发、工艺、基础研究、应用等分析入手,提出敏感元件和传感器的结症所在,由此提出我国敏感元件和传感器的发展建言,即走市场导向-产品引领-技术提升-产业化之路;攻克5个关键和核心工艺;跟踪前沿技术,立足自主创新,创建民族品牌,开放协作共赢.     

微型灵敏球轴承新型结构金属实体保持架的研制

研制新型结构轴承保持架是解决目前微型灵敏轴承摩擦力矩大的关键之一。完成了具有独特的自锁球结构的微型灵敏球轴承新型结构金属实体保持架的设计,阐述了其加工工艺、关键技术、检测手段及轴承装配方法,这种结构保持架的研制在微型灵敏轴承减摩研究方面具有重要意义。     

热沉冷却式薄壁量热计设计及分析

为满足大当量战斗部热毁伤威力评估的需求,弥补传统薄壁量热计在爆炸场环境中易变形、易烧蚀的不足,采用在热敏元件后壁面添加热沉体的方式,设计一种新型热沉冷却式热流密度传感器,以间接测量的方式,通过热敏元件后壁面温度,获得入射热流密度。建立传感器理论模型,推导响应时间表达式,并对传感器响应特性进行数值仿真,仿真结果显示:传感器响应时间只与热敏元件的尺寸和材料有关,与热沉体无关。以0.5 mm紫铜作为热敏元件的传感器响应时间可达1.2 ms左右;热沉体吸热系数越大,热敏元件温升越小,同时,随着时间的增加,温升速率逐渐减小。验证试验显示,热沉体的加入可有效降低热敏元件温升,所设计传感器可正确反映入射热流变化。     

负载敏感泵的变量响应特性对挖掘机性能的影响

负载敏感系统泵的变量响应特性直接关系到挖掘机的整体匹配性能优劣,变量响应速度的快慢影响各动作的协调性以及泵的寿命。从负载敏感系统原理出发,细致分析影响负载敏感泵的变量响应因素及需要注意的关键性问题,为挖掘机液压件的国产化提供实践支持,减少国产化液压件和系统匹配的进程时间。     

WO3对O3敏感特性研究

】实验发现ＷＯ３半导体材料对Ｏ３有好的敏感特性,而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响。在对这些参数优化的基础上,研制出了具有较好特性的Ｏ３气敏元件。测定了元件灵敏度与Ｏ３浓度的关系,初步讨论了元件对Ｏ３气体敏感的机制。