半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用

论述了金属氧化物SnO2的气敏机理,并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备SnO2薄膜气敏传感器的最新研究成果进行了简要介绍.     

电流型NO2气敏传感器性能研究

报道了一种可在常温下工作的电流型NO2气敏传感器.讨论了该传感器的检测机理、响应和恢复速度、线性范围、选择性和检测限等特性.本工作为研制和开发小型、廉价,适用于检测工业废气和汽车尾气等污染源中NO2的在线实时检测仪器奠定了基础.     

掺DY可改善SnO2薄膜的丙酮气敏光反射特性

本文在二氧化锡薄膜中掺入适量D_Y,测量了它的丙酮气敏反射光谱,发现相对于纯二氧化锡薄膜,其气敏光谱范围大大扩宽。并测试由S_nO_2:D_Y膜造成的光纤传感装置性能,解释了它的机理。     

酞菁铜薄膜气敏光谱性能的研究

用真空升华方法制备酞菁桐（CuPc）薄膜，并测量了薄膜在不同浓度的NH3和乙醇气体中的透射光谱。实验发现CuPc薄膜对NH3浓度的变化有良好的响应，但乙醇浓度的变化不够敏感，特别是在高浓度时；退火处理不能改善膜片乙醇的敏感性能，而使膜片对NH3的响应变差。     

化学汽相沉积法制SnO2掺杂薄膜及其气敏特性的机理研究

】文中探讨用汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜的不同工艺。研究ＳｎＯ２掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性,测试掺５％Ａｇ的ＳｎＯ２薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明,汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜工艺重复性好,灵敏度高,可用于制造新型的“气敏—光透过性”型气敏传感器。     

电流型NO_2气敏传感器性能研究

报道了一种可在常温下工作的电流型NO2气敏传感器。讨论了该传感器的检测机理、响应和恢复速度、线性范围、选择性和检测限等特性。本工作为研制和开发小型、廉价，适用于检测工业废气和汽车尾气等污染源中NO2的在线实时检测仪器奠定了基础。     

气敏传感器及其应用

主要介绍了半导体气敏传感器和电化学固体电解质气敏传感器的工作原理和应用技术,重点阐述了气敏传感器的性能改善方式和输出电压获取方式。通过几种应用实例表明:这两种类型的气敏传感器具有测量精度高、所需试样少、响应快等特点,有广泛的应用领域。     

场效应气敏传感器的研究进展

】叙述了场效应气敏器件的基本理论和重要研究方向——高温场效应气敏器件和阵列式智能气体传感器。     

In/Sb掺杂SnO_2纳米薄膜的H_2S气敏特性

采用溶胶-凝胶浸渍提拉法(Sol-Gel Dip-Coating, SGDC)制备SnO_2纳米晶薄膜气敏传感器.较系统地研究了掺杂量、镀膜层次和热处理温度等制备工艺对薄膜表面形貌、晶粒大小及气敏性能的影响.研究结果表明:铟的最佳掺杂量为4at%,最佳镀膜层数为7层,最佳热处理温度为600 ℃.气敏传感器最佳工作温度为165 ℃,在此工作温度下,薄膜的灵敏度分别为26.3(137 ppm H_2S)和2.5(2.74 ppm H_2S),薄膜的响应恢复时间较短分别为8 s和22 s,对H_2S气体有较好的选择性.     

离子束溅射生成气敏膜的研究

本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究。与烧结陶瓷气敏传感器比较，溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高，长期稳定，对其它气体选择性好，而且响应恢复时间快。采用Ｘ光衍射等手段分析了离子束溅射膜的品质，表明材料组织结构相同，与基片附着性好，组织致密。     

常温SnO2—TiO2气敏元件

本文通过对元件进行IR和BET的测试以及温度与元件电阻的关系的分析,探讨了元件的性能机理,介绍了元件的制作方法及其性能。     

银离子玻璃NO2气敏传感器的研究

本文报道了一种电流型银离子玻璃固态电解质 NO2 气敏传感器 ,该传感器可在室温下工作 ;响应及恢复速度较快 ;能检测低达 0 .5ppm的 NO2 气体浓度 ;在 0～ 10 0 ppm范围内与被测气体浓度具有线性关系 ;基本消除了记忆效应且不受空气及氧气的影响。本工作为研制和开发小型、廉价、适用于工业废气和汽车尾气等污染源的在线实时检测 NO2 的仪器奠定了基础     

具有无线传输功能的智能丙酮气敏传感器

采用直流磁控溅射法制备SnO2掺杂的TiO2薄膜,700℃退火后得到对丙酮具有良好选择性和灵敏度的气敏元件.将具有ARM7内核的LPC2131作为微控制器,设计测量丙酮气体浓度的测试电路.当外界气体浓度发生变化时,采样电路测量出气敏元件的电阻值,然后经过微控制器LPC2131处理、分析后,通过nRF905无线收发模块来实现系统的数据传输.该系统具有无线数据传输功能,且灵敏度高,抗干扰强,功耗低,电路设计简单,可广泛应用于时丙酮气体浓度进行实时、远程监控的场所.     

TiO2—K2O—LiZnVO4陶瓷薄膜的制备及其湿敏性能研究

采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件,研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成,化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈｚ时,湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗一湿度特性及电容－湿度特性,感湿特性曲线线性良好。元件还具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点     

微结构气敏传感器制造工艺的研究

本文主要介绍了微结构气敏传感器制造工艺中的关键技术,例如双面光刻、反应等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀、采用溶胶—凝胶镀膜技术制备ＷＯ３敏感薄膜。文中还给出ＷＯ３薄膜的ＸＲＤ和ＳＥＭ表面分析图。对结构和表面形貌进行了分析,并给出传感器的气敏特性曲线。最后对存在的问题进行了简单的讨论。     

电化学气敏传感器的原理及其应用

主要介绍了电化学气敏传感器的工作原理及特性,详细阐述了气敏传感器中的恒电位电解式传感器的结构以及应用电路。利用不同的恒电位电解式传感器能检测酸性、碱性毒气的特点,设计了主动式送风防毒面具的控制系统,成功实现了在不同环境下的过滤通道的切换,从而达到了过滤毒气的目的。此控制系统结构设计巧妙,具有广阔的应用前景。