差动式石英谐振力传感器

】利用ＡＴ切型的厚度剪切石英晶体谐振器沿不同方向施加外力时,将会获得不同的灵敏度这一特点,本文研究了一种新型的差动石英谐振式力敏传感器。将两个同频率的敏感石英谐振器以对称简支方式固定在传感器内,使外力分别沿两个敏感谐振器的ｘ轴和ｚ′轴作用,产生两个方向相反的频率变化,通过电路混频,形成差动输出。分析结果表明,采用这种差动方式将使传感器性能得到明显提高。     

石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析

石英谐振式力传感器的结构模型与性能分析＊董永贵王朱惠忠冯冠平（清华大学精密仪器与机械学系北京１０００８４）０引言称重测力传感器是使用相当广泛的一种传感器。应变式力传感器因发展历史悠久,其制作、测量方式及后续电路等相关技术已相当成熟,因而使用广泛。...     

石英谐振式力传感器及几个工程问题的研究

本文介绍了一种高准确度石英谐振式力传感器,针对其在工程化过程中遇到的一系列问题,从理论到实验进行了研究,解决了组合式结构石英传感器的蠕变问题,并研究了传感器的稳定性与谐振器厚度及支撑状况的关系。     

压电谐振式力传感器的研究

本文介绍一种压电谐振式力传感器。该传感器以ＡＴ切型的圆片式石英晶体谐振器为敏感元件，通过测量谐振频率的变化量来间接测量待测力。实验结果表明：这种传感器具有良好的线性和稳定性，灵敏度随温度变化极小，没有迟滞现象。     

差动石英谐振式力传感器的温度特性及其温度自测

推导出了差动石英谐振式力传感器的一种输出表达式，考虑温度的影响进一步得到了温度影响下的传感器输出特性。并找到了一种新的温度自测方法——差动式温度自测法。结果表明：选择较高的泛音次数、合适的作用力方位，能够提高传感器的测力灵敏度，可使其达到单敏感型传感器的4．1倍；温度是影响传感器输出特性的一个主要因素，温度越高，影响越大，必须对输出特性进行补偿。选择合适的泛音次数、作用力方位能提高温度自测的灵敏度，可使其达到双频温度自测的2，7倍。     

石英谐振式称重传感器的可靠性增长模型

石英谐振式称重传感器是一种新型的数字式传感器。文中通过对该传感器研制和生产中的可靠性增长试验,找到了传感器的系统缺陷,并通过修正传感器的结构来消除这种传感器的系统缺陷,使之可靠性水平（ＭＴＢＦ） 达到使用的要求。通过建立传感器老炼过程的可靠性增长模型,为生产过程的筛选次数提供依据。     

石英谐振式称重传器的可靠性增长模型

石英谐振式称重传感器是一种新型的数字式传感器。文中通过对该传感器研制和生产中的可靠性增长试验,找到了传感器的系统缺陷,并通过修正传感器的结构来消除这种传感器的系统缺陷,使之可靠性水平（ＭＴＢＦ）达到使用的要求,通过建立传感器老炼过程的可靠性增长模型,为生产过程的筛选次数提供依据。     

石英谐振式称重传感器的承载特点分析

结合石英谐振式称重传感器的应用，对其承载特点进行了理论和实验分析。结果表明，相对于传统的应变式称重传感器，这种新型称重传感器除具有体积小、功耗低、稳定性好、抗干扰能力强等优点，其承载特点突出地表现为刚度大、抗偏载能力弱。对承重传力机构的设计提出了新的要求。     

压电谐振式力传感器响应时间的研究

在分析传感器响应特性的基础上，得出了阶跃输入时，压电谐振式力传感器在不同状态下的输出响应，分析了响应时间与敏感头的固有频率ωn、阻尼比ξ、输出误差带2Δy及灵敏度之间的关系。研究表明：给定传感器的输出误差带后，在轻度欠阻尼状态下传感器响应时间最短，增大敏感头固有谐振频率能提高传感器的响应速度，但会降低灵敏度，调整敏感头的结构，可使传感器的响应满足要求。     

用于压力传感器的石英谐振膜片

叙述了用于压力传感器的石英谐振膜片的原理。介绍了石英谐振膜片的设计和工艺。对这种新型压力敏感元件的性能及有关问题作了讨论。     

双端调谐音叉石英谐振器的结构设计方法研究

叙述了双端调谐音叉石英振梁式重力传感器的结构和工作原理。根据石英谐振器的谐振频率公式和石英晶体的压电效应原理，确定了石英谐振器的主要结构尺寸和电极设置。应用有限元法计算了该谐振器的谐振频率，显示了一阶模态振型，这为设计不同用途的石英振梁式加速度传感器提供了理论依据。     

新型声表面波谐振式压力传感器的研制

本文介绍了一种新型的声表面波谐振式压力传感器,压力敏感元件为声表面波谐振器,并组成差电路形成式进行温度补偿。敏感膜片采用全石英一体化封装技术,消除了传统粘贴式封装结构所带来的迟滞、重复性等误差,极大的提高了压力测量的精度。由于声表面波器件采用半导体工艺制作,易于批是生产,降低了成本,具有极大的实际应用价值和意义。文中介绍了该传感器的工作原理,并给出了具体的性能指标。     

SAW谐振器型温度传感器

本文介绍一种用于通讯的ＳＡＷ谐振滤波器及相关电路所构成的ＳＡＷ谐振器型温度传感制的原理和特性，与ＳＡＷ延迟线振荡器型温度传感器相比，它具有频率高、插入损耗小、带宽窄、旁瓣抑制大等突出优点，实测结果表明：ＳＡＷ谐振器型温度传感器的短期频率稳定性大于１０＾－７，其灵敏度为－０．６ｋＨｚ／℃，具有良好的线性度和重复性，可用于高精度的温度测量。     

声表面波力敏传感器的研究

本文分析了声表面波（ｓｕｒｆａｃｅａｃｏｕｓｔｉｃｗａｖｅ简称ＳＡＷ）力敏传感器加载后，频率稳定性变差的原因。在此基础上，设计了一种新型的采用等应力加载的力敏传感器，计算了该传感器的灵敏度，并给出了该传感器的频漂实验和力—频特性实验结果，为传感器的实际应用打下了基础。