空心阴极远区等离子体放电结构的优化设计

射频空心阴极远区等离子体放电具有离子浓度高、易于实现大面积处理的优点,正受到越来越多的关注。空心阴极等离子体流的特性与空心阴极的喷嘴结构有很大的关系。如何准确、便捷设计空心阴极喷嘴放电结构,是空心阴极远区等离子体表面处理的关键问题。构建了空心阴极等离子体放电自洽模型,推导了空心阴极等离子体放电电流与空心阴极喷嘴结构之间的关系,应用放电粒子模拟仿真软件,对空心阴极放电结构进行优化设计,实现了快速、准确设计,达到高效等离子体表面改性的目的。     

Generation of Gas Discharge Plasma by an Arc Source with a Cold Hollow Cathode

The results from a study of an arc plasma source with a cold hollow cathode are presented. The source generates plasma with a density of ∼10¹⁰ cm⁻³ in a volume of ∼0.2 m³ at discharge currents of up to 150 A, an arc discharge operating voltage of 30–40 V, and a low pressure of 0.1–1 Pa. The motion of the cathode spot in the crossed electric and magnetic fields inside the hollow cathode and the cathode’s special design make it possible to eliminate almost completely the penetration of the sputtered cathode material into the working vacuum chamber.__________Translated from Pribory i Tekhnika Eksperimenta, No. 3, 2005, pp. 62–66.Original Russian Text Copyright © 2005 by Schanin, Koval, Akhmadeev.     

空心阴极远区等离子体接枝聚合表面改性丙纶无纺布的吸碱性能

利用空心阴极远区等离子体改性技术对丙纶无纺布表面进行了改性处理,研究了等离子体处理参数对丙纶无纺布吸碱性能的影响;采用红外光谱、扫描电镜等对丙纶无纺布表面的化学组成和形态等进行了表征。结果表明:等离子体处理时间、放电功率、气体流量等对丙纶无纺布的吸碱性能有很大的影响,而且试样距丙烯酸喂气管的距离对处理效果的影响也很明显;通过空心阴极远区等离子体接枝聚合表面改性处理,在丙纶无纺布的表面引入了亲水性羧基基团,改善了其浸润性,显著提高了其吸碱率和吸碱速率,达到了国外进口电池隔膜的指标。     

软X射线-真空紫外大电流空阴极光源的研究

描述了最近研制成功的用于软X射线-真空紫外光谱辐射传递标准光源的大电流空阴极光源。它由两个阳极、一个阴极和一个两级差分泵单元组成,工作电流2A,工作气体为氩和氦,气压10Pa～100Pa.能在13nm～200nm间产生ArⅠ、ArⅡ、HeⅠ、HeⅡ、AlⅡ、AlⅢ和AlⅣ谱线。光源辐射稳定性优于±1%,重复性优于±5%.     

A Wide-Aperture Source of Oxygen Ions with a Hollow Cold Cathode and Magnetic Multicast

A gas-discharge source of oxygen ions is described. The source contains an anode and a hollow cold cathode with one extracting grid (extractor) placed at the opposite end to the anode. The hollow cathode has three multicast magnetic systems of permanent polarity. The first system is placed inside the cathode near the anode, the second system is situated outside the cathode opposite to the first one, and the third system is placed below the second one near the extractor surface. Like poles of the first and second magnetic systems are directed towards each other. The second and third systems have poles of similar orientations. Using this source, a beam of oxygen ions with a current density of up to 0.5 mA/cm² and nonuniformity of <5% was obtained across a 200-mm-diameter area at a distance of 120 mm from the face of the ion source. The source offers the following optimum performance characteristics: a discharge current of 0.4–1.2 A, oxygen flow rate of 9–12 cm³/min, and extracting voltage of 400–600 V. No limitations were revealed on the service life of a source operating in optimal modes.     

脉冲磁过滤阴极弧技术制备类金刚石薄膜研究

介绍了弯曲电弧磁过滤设备,并利用脉冲磁过滤阴极真空电弧沉积技术,在高速钢基体上制备了DLC膜.对制得的DLC薄膜表面形貌、Raman光谱及纳米硬度和弹性模量等进行了测试.结果表明,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的DLC膜具有优良的性能.拉曼光谱分析显示,制得的薄膜为非晶结构,具有明显的sp2和sp3键杂化结构,符合DLC膜的特征,基体负偏压为50 V时,沉积的DLC膜Raman光谱的ID/IG值最小,sp3键含量最高,纳米硬度和弹性模量值达到最高,分别为29.94 GPa和333.9 GPa.     

关于瓷套变形问题的探讨

大瓷套弯曲变形是一个较难克服的问题,从瓷套的几何形状对瓷套变形影响进行了讨论,描述瓷套稳度的统计量,针对该统计量对总体的参数均值u进行了区间估计,对瓷套变形倾向的规律进行了初步分析、总结。     

电解电容器阴极用Al-Cu合金箔材工艺研究

为了占领国内电解电容器阴极用箔材市场,开发研制了低合金Al-Cu阴极用箔材。着重研究了电解电容器阴极用Al-Cu合金箔材的化学成份、均匀化制度、热轧和冷轧变形率及中间退火对成品箔材经全化学腐蚀后的静电容量的影响。选择最佳的工艺制度,生产的阴极用Al-Cu合金箔材满足了国内各电容器厂家的需求,取得了良好的市场份额。     

利用磨料流去除空心滚子内孔氧化皮的试验研究

针对滚动轴承空心滚子内孔去氧化皮的难题,采用粒度为46,220目的碳化硅黏弹性流体磨料,对挤压轧机轴承的空心滚子进行去除内孔氧化皮试验,结果表明:利用磨料流加工方法可以有效去除空心滚子内孔的氧化皮;在相同的磨料流加工参数下,采用不同粒度的碳化硅磨粒可获得不同的加工表面,加工表面应与所用的碳化硅磨粒相匹配,氧化皮较厚的加...     

基于有限元法的球形数控电解加工工艺试验研究

针对球形阴极数控电解加工中成形规律分析较为困难的问题,提出了基于有限元法的电解加工过程模拟方法。在ANSYS中建立了球形阴极电解加工二维电场的分析模型,并对加工过程的模型进行求解计算,得到了阳极表面不同时刻的电流密度分布和表面形状。以过程模拟参数为基础进行了工艺试验,并将得到的试验值与理论计算值进行了对比,结果表明:该方法可以满足工程计算的精度要求,为深入开展球形阴极数控电解加工过程的研究提供了方法和理论依据。