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机械传动系统是单晶炉的重要组成部分,它主要包括坩埚升降与旋转系统、籽晶升降与旋转系统等等。本文详细论述了这两种传动系统的典型方案及其传动机理,最后阐明各单晶体生长方法所要求的传动系统。 相似文献
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耿瑞成 《仪表技术与传感器》1981,(4)
陕西机械学院工厂在有关研究所协作下,研制成功JDL—40型自动控径激光单晶炉。生长出的铝酸钇(YAP)和钇铝石榴石(YAG)激光晶体,具有输出灵敏度高、线性度好、工作稳定等优点。生长出直径为20mm,长度大于150mm的透明晶体棒料, 相似文献
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在软轴型单晶炉实际拉晶过程中发现,单晶炉提拉系统在其工作转速达到13~14r/min范围时,发生明显晃动,严重影响了单晶炉拉晶质量和生产效率。为解决此问题,本文选取单晶炉提拉系统为研究对象,建立提拉系统不同软轴长度和不同摆锤质量的有限元模型,对其进行结构模态分析求出固有频率及其对应的临界转速。分析结果表明,提拉系统软轴长度和摆锤质量在某些范围内,其临界转速接近13~14r/min。因此,提拉系统软轴的长度和摆锤重量是引起系统晃动的可能原因,在实际拉晶生产中为了避免提拉系统的晃动,需要选择适当长度和重量的软轴和摆锤。 相似文献
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耿瑞成 《仪表技术与传感器》1982,(1)
陕西机械学院工厂在有关研究所协助下,研制成功TDR—60型自动控径大直径单晶炉,于1981年9月21日在西安召开了鉴定会。参加会议的有国家科委、国家仪器仪表工业总局、一机部、四机部十四院、冶金部有色院等四十三个单位的代表。该单晶炉的 相似文献
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《现代制造技术与装备》2016,(4)
本文通过导磁率测量仪,测得不锈钢炉室内外壁和炉盖内外壁的磁导率,发现炉盖磁导率比炉体要高,外壁磁导率比内壁要高,并且在焊接处的磁导率要远高于未焊接处的磁导率。通过对炉体各处磁导率的测量,可以得到炉体对磁场分布的影响,为外加磁场的设计研究提供保证。 相似文献
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《现代制造技术与装备》2020,(5)
太阳能光伏产业现已成为当今世界快速、稳步发展的朝阳产业之一,其中光伏电力作为能源多样化的重要一环,取得了突飞猛进的发展。中国的光伏产业近两年遭遇了重要挫折,但总体整个产业趋向合理竞争和理性发展,也仍面临低端产能相对过剩、制造过程智能化和信息化程度相对偏低等问题,传统的半自动化工艺装备及其整线的性能已不能适应新能源技术的快速发展。因此,如何实现全自动控制及集群控制成为各个企业降本增效的必须途径。 相似文献
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根据硅单晶炉真空系统技术特点,从炉内真空系统的抽气、充气控制等方面进行改进和完善,并采用带有前馈的PID算法实现压力的自动控制。结合工业PLC和人机界面进行编程,在实际工业中的应用表明,该压力自动控制系统可保证炉内真空达到高稳定性,拉出高品质单晶。 相似文献
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以提拉法单晶炉为研究对象,首先设计各种真空元件的密封结构,逐一给出结构设计的技术路线.静密封的密封件采用O形垫圈和矩形垫片,动密封的密封件采用唇形圈、O形圈和磁流体.指出不同结构之间的区别,介绍各自用途和使用场合.然后引入Roth密封机理、Hertz弹性接触理论和Reynolds流体润滑摩擦学原理,根据理论和数值分析及试验研究成果,对设计参数、机械加工和装配工艺参数进行论述.建立了局部和全局、硬轴炉型和软轴炉型试验装备,充分考虑单晶炉运行参数,模拟晶体生长条件,对不同炉型的试验装备进行了抽真空、充氩气试验.结果 表明,观察窗、电极、硬轴、软轴和其他引入等23种真空元件的结构形式在不同使用场合完全满足晶体生长所需要的真空度及压力值.这些元件结构还可推广应用于坩埚下降法、区熔法等晶体生长设备及其他真空应用装置. 相似文献
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吴世海 《机电产品开发与创新》2012,25(2):38-39,56
介绍了单晶炉的主要机械结构以及气缸的基本知识,根据目前单晶炉设备所需要的自动化程度的不断提高.介绍了双作用气缸在单晶炉中翻板隔离阀处阀盖开、关机构上的应用。 相似文献