满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。     

二等量块标准装置不确定度评定

以二等标准量块做标准器、接触式干涉仪为比较仪检定三等量块时，标准装置不确定度评定。     

高等级量块的检定技术

新量块检定规程(JJG146-94)，提高了各等级量块的测量不确定度要求，传统的目视测量方法在测试精度和效率上已经不适应实际需求。本文将对一、二等量块直接测量技术和用于三、四等量块的接触式干涉仪测量自动化技术作一介绍。     

影响量块准确测量的几种因素

为达到量块准确测量的目的,本文基于校准/检测实验室所用量块检定装置的工作原理,总结了影响量块测量的几种因素,分别阐述每种因素的出现原因及解决方法,最后以工作台状态举例说明测量数据准确性对测量不确定度的影响。     

量块干涉测量位相修正问题

比较了国际上几种量块位相修正量的测量方法，并提出测量量块位相修正量的设想。     

双波长激光量块干涉仪研制

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学,机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术,该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量。     

GLI-100型量块激光干涉仪

本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。     

2009年江苏省量块比对测量结果不确定度分析报告

本文阐述了江苏省量块比对的测量结果,并对其不确定度进行了分析和评定,保证了量块在量值传递过程中数据的准确可靠。     

用改造后的柯氏干涉仪测量量块中心长度的测量不确定度评定

通过用６３３ｎｍ 短频Ｈｅ－Ｎｅ 激光代替氪灯,提高小数测量的准确度等措施,对常规柯氏干涉仪进行了改造,结果获得测量量块中心长度的标准不确定度为ｕｃ＝ （５．５ｎｍ ）２＋ （８．３×１０－ ８Ｌ）２,大大优于一等量块的最大允许不确定度     

新型移相量块干涉仪的研制

研制了一台用于0.5~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015μm+0.07×10~(-6)L(L为量块长度,mm)。     

3等量块校准能力验证方法

本文描述中国实验室国家认可委员会（CNAL）3等量块校准能力验证活动的全过程,对在能力验证活动中出现的问题进行了剖析,并提出量块测量中应注意的几个问题。     

温度与量块长度光波干涉测量的相关性

温度从测量标准和被测对象两个方面作用于量块长度光波干涉测量.以测量不确定度为线索,在理论计算与实验结果的基础上,就影响量块长度测量的各温度影响源及其相互关系,以及相应的具体控制方法及边界进行了讨论.     

用相位偏移干涉法精确测量量块长度

讨论了相位偏移干涉技术的原理、常用的算法和小数重合法的应用。在分析了传统的柯氏干涉仪的量块测量方法基础上 ,提出运用相位偏移干涉法的量块测量法 ,最后给出了量块测量的数据。     

一等大量块(125～1000 mm)检定装置

量块的测量是长度计量的重要基础.文中的装置采用了高精度的633 nm碘稳频氦氖激光器和543 nm热稳频氦氖激光器各一台,分别将不同波长的激光光束入射到典型的迈克尔逊干涉仪中,使放置在测量光路中的量块与平晶研合在一起的组合体和参考镜进行干涉,利用CCD摄像机获取干涉图像,同时测量量块温度及空气折射率(或环境参数),一同输入计算机中进行处理计算得到测量结果.对于125～1000 mm量块的测量难点是保证温度要稳定、均匀、偏离20 ℃的范围要小.为此,设计了可高精度控温的仪器箱,可调节温度到17～23 ℃,温度变化率小于0.01 ℃/h,从而实现量块线膨胀系数的测量.该装置的量块长度测量不确定度达到U99 =0.02 μm+0.2×10-6 L,量块线膨胀系数测量的不确定度可达U99 =0.2×10-6 ℃-1.     

基于量块的步距规测量及不确定度分析

提出了一个使用电感测微仪在平板上与量块比较的步距规测量方法,并分析了其测量不确定度。该方法将对步距规的应用和测量起到积极的推动作用。