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电子级多晶硅是多晶硅经过高度提纯所获得的一种材料,广泛应用于高纯硅制品,是人类现代高科技所不可缺少的一种原材料。而随着人类科学技术的发展,对于原材料质量和纯度的要求也不断提升,对此,也产生了对于电子级多晶硅生产技术的探讨。以全球发展技术状况的阐述作为基础,充分探讨了当前能够获得高质量、高纯度电子级多晶硅的相应生产技术。 相似文献
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国内高端电子级多晶硅长期被国外垄断,理论研究和产业化实现都与国外存在差距,严重威胁了集成电路行业的安全发展.江苏鑫华半导体通过在超痕量杂质提纯技术、非接触硅料精制技术等瓶颈问题的突破,成功构建了5000 t/a电子级多晶硅生产体系,在高等级硅料产品实现、新工艺体系构建、高效产品评价等方面填补国内空白,达到了国际领军企业... 相似文献
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对于电子级多晶硅产品而言,其质量判断的关键在于材料表面金属杂质含量情况。就目前来看,当前电子级多晶硅为去除附着在表面的金属杂质,一般都采取以酸为主的清洗工序。通过妥善选择清洗液来控制电子级多晶硅表面金属杂质含量,以提升产品质量。基于此,本文就围绕电子级多晶硅,对其清洗液选择展开重点探讨,并分析影响电子级多晶硅清洗质量的因素,以供参考。 相似文献
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针对电子级多晶硅还原炉底盘附着的残留物,研究超快激光技术在电子级多晶硅还原炉的应用。通过超快激光电子级多晶硅还原炉清洗设备结构,分析其清洗电子级多晶硅还原炉设备过程。选取试验材料、试剂和设备后,分别制备含有无定形硅粉、氯硅烷水解物、二氧化硅粉尘、甲基硅油油脂、多晶硅颗粒等污染物的基板作为还原炉污染样本;并以制备的还原炉污染样本为基础,设定初始条件和边界条件后,展开电子级多晶硅还原炉污染试件清洗试验。结果表明:污染物基本被去除;在不同清洗次数下,超快激光清洗时的重复频率和扫描速度越高,其清洗电子级多晶硅还原炉污染试件效果越好。 相似文献
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马文会 《精细与专用化学品》2009,17(2):16-18
前言
太阳能发电具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的相对广泛性和充足性、长寿命性以及免维护性等其它常规能源所不具备的优点。世界光伏产业以每年30%以上的增长率保持着高速发展,2007年总产量超过4000MW,成为世界新能源领域开发利用的一大亮点,且发展潜力较大。 相似文献
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基于多晶硅的化学气相沉积技术与工艺,运用计算流体力学(cFD)的气体运动的组分运输和表面反应动力学模型,NAnsys—F1uent对多晶硅的生长过程进行模拟计算,运用有限元应力分析(FEA)方法,对复杂设备结构进行热应力计算和强度安全性校核,研发并设计一系列大型高产能、低能耗的多晶硅反应器。该系列的反应器广泛应用于国内外多晶硅生产线,产能达500t/a,能耗低至45kW/kg。 相似文献
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