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王晓冬 《电子制作.电脑维护与应用》2014,(13)
本文介绍了一种基于MEMS技术的ZnO气体传感器的设计与制备方案。该传感器采用磁控溅射技术制备掺杂碳纳米管的ZnO薄膜气敏材料,利用干法刻蚀技术形成硅中空膜片,并在膜片上形成Pt环形加热电阻作为微型加热装置。该传感器具有低温敏感、低功耗和小型化等特性。 相似文献
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首先采用射频溅射在单晶硅(Si)上制备氧化锌(ZnO)薄膜,作为生长ZnO纳米棒的晶种层,再在水热条件下生长ZnO纳米棒.X射线衍射、X射线能量色散谱,扫描电镜及室温光致发光谱对样品的物相结构、成分、表面微观形貌和晶体缺陷进行了表征.结果表明合成的ZnO纳米棒是六方纤锌矿结构,长径比较高,结晶良好.研究了ZnO纳米棒/单晶Si传感器在空气和酒精气体中的电压-电流(Ⅰ-Ⅴ)特性,阻抗谱及响应-恢复时间.该传感器在+6 V的偏置电压下,其电阻在0.08 g/L酒精气体中下降71%,响应时间小于1 min,可以作为一种新型的酒精气体传感器. 相似文献
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本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器,克服了以往同类传感器响应时间长,读取数据量小,功耗大等缺点。由于温度作为气体传感器的一个重要工作条件,其敏感薄膜上温度的均衡度直接影响气体传感器的工作性能。该传感器采用悬浮薄膜式堆叠结构,堆叠层主要包含硅基底、隔离层、加热电极、绝缘层以及敏感薄膜。这样的结构设计是为了形成热隔离真空腔,真空环境可以有效降低温度瞬变对敏感薄膜的影响。利用ANSYS软件建立该结构建模,并对其进行温度仿真后发现该结构符合预期的理论分析,其响应时间缩短,拾取的数据量大幅增加,同时功耗有效降低。 相似文献
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通过离子交换技术对衬底表面改性,然后喷墨打印掩膜图形,在聚酰亚胺衬底两面分别制备了银叉指电极和加热电阻.通过调节电阻加热器两端的直流偏压,实现25 ℃~280 ℃的控温加热.集成的加热器具有双重功能:纳米ZnO敏感薄膜原位沉积和高温检测.结果表明,该传感器对丙酮气体的灵敏度随温度单调增加(<150 ℃).此外,加热器促进了ZnO敏感薄膜表面丙酮气体分子的解吸,缩短了传感器响应和恢复时间,并减小了初始电阻的漂移.此外,在丙酮检测中,加热器能有效地减少湿度干扰. 相似文献
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在现有的粉末烧结型SnO2基气敏传感器基础上研制了薄膜型SnO2基气体传感器,以抛光的丽热石英玻璃为基片,真空磁控溅射50~70nm厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜,传感器背面溅射30μm的Ni80Cr20电阳合金作为传感器加热电阻,用薄膜热电偶测量传感器工作温度。测试了不同的复合瞑对传感器灵敏度和选择性的影响,并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试,薄嗅传感器达到相同灵敏度所需的工作温度比粉末烧结型传感器下降100~150℃,吸附解吸速度比粉末烧结型快。 相似文献
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二氧化锡薄膜气敏传感器对常见室内污染气体的
电阻2温度特性及机理分析 总被引:3,自引:0,他引:3
采用无机试剂(SnCl2·2H2O)为原料,用溶胶-凝胶提拉法制备了二氧化锡薄膜及相应的气敏传感器,并研究了二氧化锡薄膜气敏传感器在常见室内污染气体气氛中的电阻-温度变化关系.结果发现不同气氛下电阻-温度特性各不相同,由此可以获得被测气体的相关信息.本文还用分子轨道计算软件对四种室内污染气体的分子轨道进行了计算,并根据分子轨道能级的相对位置定性解释了二氧化锡薄膜气敏传感器在不同气氛中的电阻-温度曲线.通过对甲醛、苯、甲苯、二甲苯四种气体电阻-温度曲线的测试可以确定被测气体的种类. 相似文献
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LPG sensing properties of ZnO films prepared by spray pyrolysis method: Effect of molarity of precursor solution 总被引:1,自引:0,他引:1
Nanocrystalline ZnO films were deposited onto glass substrates by spray pyrolysis of zinc nitrate solutions and used as a liquid petroleum gas (LPG) sensor. The dependence of the LPG sensing properties on the molar concentration of zinc nitrate solutions was investigated. The ZnO films were oriented along (0 0 2) with the hexagonal crystal structure. The grain size and grain density increased with an increase in molar concentration of zinc nitrate solutions. The gas sensing properties for LPG of the ZnO films for LPG with different grain sizes were measured at different temperatures. The maximum sensitivity of 43% at the operation temperature of 673 K was found for the ZnO film prepared by spraying a 0.1 M solution. The ZnO thin films exhibited good sensitivity and rapid response–recovery characteristics to LPG. Further, it has been shown the gas sensitivity of the ZnO gas sensor depends upon its grain size. 相似文献
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张嘉琪胡馨升胡发志等 《传感器与微系统》2014,(4):14-16,20
主要介绍了ZnO纳米棒修饰的石英晶体微天平(QCM)气体传感器的制备与测试。采用两步法在石英晶振片表面制备直径为100 nm的ZnO纳米棒敏感膜,构成QCM NH3传感器。检测系统为自主研发的基于LabVIEW平台的QCM气体传感器频率测试软件。检测NH3的体积分数为5×10-6~50×10-6,响应时间均在10 s以内,最大频差值为10.9 Hz,响应最大频差值与NH3体积分数呈现良好的线性关系。室温条件下,ZnO纳米棒敏感膜可以完全实现吸附解吸过程,具有可逆性。该传感器性能稳定,响应灵敏,具有重复性。 相似文献
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甲烷(CH4)是电力变压器油纸绝缘中溶解的主要故障特征气体,能有效反映运行变压器油纸绝缘故障.气体传感检测是油中气体在线监测、分析的关键.基于水热法,制备了氧化锌(ZnO)纳米片和纳米球气敏材料及传感元件,基于实验室搭建的微量气体检测平台测试了其对CH4的检测特性.研究表明:基于ZnO纳米片制作的气体传感器比纳米球传感器对CH4表现出更好的气敏性能,对50μL/L CH4的最佳工作温度降低了约60℃,同时对低浓度(1μL/L~20μL/L)CH4表现出较高的线性度和长期稳定性.本研究对研制高性能的ZnO基CH4气体传感器奠定了基础. 相似文献
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A method for low-temperature synthesis of a mixture of high-density ZnO nanoflakes and nanowires was developed to produce low-cost and high-efficiency gas sensors with ZnO nanostructures. ZnO nanoflakes and nanowires were grown on glass substrates by the RF sputter deposition of Zn particles and localized oxidation at a low temperature of 300 °C. The synthesized ZnO nanoflakes and nanowires were polycrystalline and had nanometer dimensions, as revealed by X-ray diffraction (XRD) and field emission scanning electron microscope (FESEM) measuring. A gas sensor based on the mixture of ZnO nanoflakes/nanowires responded rapidly and sensitively to ethanol. The sensing properties of the ZnO nanostructure sensor were approximately 72% for 50 ppm ethanol gas at an operating temperature of 100 °C. The response to 10 ppm of ethanol gas was 42% at the same temperature. 相似文献
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结合NiO和四针状纳米ZnO的优点,提出了利用平行和垂直气敏膜的磁场诱导Ni纳米颗粒在四针状纳米ZnO气敏膜中的分布来制备甲醛气体传感器的方法.介绍了制备方法,分析了对甲醛的敏感性及其气敏性机理,测试了在不同使用方式中的稳定性.实验结果表明:平行于厚膜表面的磁诱导5%的Ni掺杂ZnO厚膜具有较好的稳定性,同时,对甲醛具有最佳的气敏性和检测的重复性,以其作为甲醛气体探测器具有很好的前景. 相似文献
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《Sensors and actuators. B, Chemical》2004,97(1):49-58
The liquid petroleum gas (LPG) sensitivity characteristics of zinc oxide (ZnO) films have been studied for an optimised level of Pd loading. The sensor element comprises of a layer of chemically deposited ZnO on which an overlayer of palladium (Pd) sensitiser was formed by a chemical dipping technique. The room temperature resistance of the film was found to be a sensitive function of the quantity of palladium loading, which could be optimised for stable and reproducible sensor properties. The sensor characteristics that are dependent also on the operating temperature could be optimised at around 250 °C. A sensitivity of 88% was observed in presence of 1.6 vol.% LPG in air at this optimum temperature with reasonably fast response and recovery times. 相似文献