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由于具有对封装和芯片之间界面成像的能力,声学成像技术可用于检测缺陷、污染物和塑模料问题。从声学显微镜的换能器发射到样品的超声波脉冲,只会从材料的界面处反射回声信号——而对于同质材料则不会。如果样品是塑料封装的微电路(PEM), 相似文献
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光声显微成像(PAM)是一种具有无损、多功能、高分辨率等特点的生物医学成像技术,通过检测光声信号进行图像重建可实现高分辨率和高深度的结构和功能成像,在生命科学、基础医学和医疗诊断中发挥着越来越重要的作用。首先概述光声显微技术的发展背景和原理特点,然后对利用光学增强、声学增强、人工智能增强及光学与声学互补的光声显微成像术促进成像性能提升的方法进行论述,最后讨论当前光声显微技术在生物医学研究中的广泛应用,并对未来技术的发展趋势进行展望。 相似文献
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Shari Farrensand SumantSood Ray Thomas 《集成电路应用》2009,(11):38-40,F0003
本文介绍了一种实用的声学成像技术,可以在键合晶圆对的同时,对界面缺陷以及不同材料的晶圆划痕进行成像检测。 相似文献
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硅/硅键合片在MEMS器件的生产中得到了应用。如果硅片的表面被微观粒子或被污染液体中的残余物所沾污,硅/硅键合界面就会产生空洞。如果这些空洞没有被及时发现,将给后道工序带来严重的问题,并降低成品率。超声显微成像对于不同材料的界面反应非常敏感,对硅/硅界面存在的空洞很容易声学成像。使用超声显微成像能够检测到键合界面存在的空洞,因而可以把有缺陷的硅片在造成进一步的损失之前清除掉。高分辨率的超声显微成像可以辨别出直径5μm的空洞。 相似文献
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在检测铁氧体电感表面微裂纹时,传统机器视觉检测存在裂纹成像信噪比不高、准确率低等问题。为此文中搭建了一套基于线激光正交扫描的微裂纹热成像检测系统。通过热像仪记录试样表面温度变化并成像;采用次最大值滤波消除热成像图的非均匀性和边缘轮廓干扰,再利用多方向扇形滤波得到试样在不同方向上的灰度图;最后通过BP神经网络和形态学处理实现对电感表面微裂纹的定性检测。结果表明:基于两种规格共610个样品测试,所有裂纹和隐裂均正确成像;自动识别算法误检率5%,裂纹漏检率6%,隐裂漏检率10%。系统每5 s检测20~35个电感,可应用于生产中自动化品质检测。 相似文献
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扫描电声显微镜(SEAM)是融现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和脉冲图像处理以及计算机技术为一体的一种新型无损分析和显微成像工具。其成像机理是基于材料的微观热弹性能或者电学性能的变化,获取目前其他手段无法得到的信息。它可以原位(in situ)同时观察试样的二次电子像和电声像(SEAM),兼有声学显微术非破坏性内部成像和电子显微术高分辨率快速成像的特点。本文重点阐述扫描电声显微镜的工作原理、结构和组成、电声显微成像的特点,以及电声成像的基本理论和影响分辨率的主要因素。并显示了扫描电声显微镜在观察功能晶体和陶瓷的电畴结构、金属材料的应力分布、半导体材料的缺陷和位错、MEMS器件的内部信息以及超导陶瓷的相变特性等方面的实际应用。为了和电声成像的实验结果进行比较,本文也介绍了在扫描探针显微镜基础上建立起来的扫描探针声学成像技术在电光陶瓷上的实际应用。 相似文献
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本文描述了电阻抗成像基本原理以及国内外目前在电阻抗成像方面的技术进展情况,分析了在电极数量相同条件下三种激励测量方式的优劣,从成像目标、成像算法、成像质量、使用范围、检测系统要求等方面对动态和静态两种成像方式做了简单对比,对未来电阻抗成像技术作了展望。 相似文献
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信号衰减问题在许多领域都备受关注,在光声成像系统中各种原因引起的信号衰减同样在很大程度上影响了系统的成像质量以及成像深度。从组织光学、声传输与接收等方面讨论了长焦区光声成像系统中引起信号衰减的因素及其特点,并在此基础上提出相应的补偿策略。补偿策略考虑到光声形成与传输过程中的光衰减与声衰减两方面因素对光声信号的影响,实现了从光与声两方面对检测信号综合补偿。信号补偿实验分别从模拟样品补偿成像与离体甲状腺成像展开。实验结果表明,补偿策略能够较好地对光声信号进行补偿,从而提高了系统的成像深度及成像质量。 相似文献
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针对复杂多源混叠的目标声源辨识问题,传统定位算法因为目标信号中混有较多干扰噪声,定位结果会出现很多野点,无法准确地对目标进行估计。本文提出利用高分辨率声成像处理算法获得目标区域声场空频信息矩阵,依据先验的目标噪声源频率统计特性,通过非参数估计的Parzen窗函数法计算空间分布概率密度函数,基于目标在特征频段和空间区域的分布特性,建立空频特征联合优化的检测定位模型。无人机声学检测仿真与实际定位结果表明该方法具有良好的空间抗干扰能力,可实现复杂环境下声源目标的检测定位。 相似文献
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文章从红外热成像原理概述及其技术的主要特点角度出发,把红外热成像检测技术与电梯传统检测技术进行比较,分析了该技术在对电梯内部和电气系统的检测中运用情况,得出了电梯式电气系统自动检测中红外热成像技术应用的方法,以及如何应用该技术来检测电梯内部和电气元器件的不足。最后,给出了有关红外热成像检测电梯电气系统的相关事实例证。 相似文献
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近红外光辐射医学成像研究已经愈来愈受到重视。光学成像法与现有的辐射成像方法相比具有辐射是非电离的;可以区分软组织;能够得到组织体功能信息等优点,因此光学医学成像法可作为连续成像的检测仪器应用在乳癌诊断、新生儿脑部含氧或缺氧分析、成人组织功能的检测等医学领域。本文综述了近红外光辐射医学成像研究的实验技术之一 直接成像法 相似文献
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太赫兹(THz)波具有能量低、穿透性强、频带宽等特点,因而太赫兹成像技术在无损检测、生物医药、安全检测等众多领域得到了广泛应用,在实际应用中如何提高太赫兹成像的分辨力变得越来越重要。由于太赫兹近场成像技术可突破衍射极限,获得分辨力为亚微米甚至是纳米量级的高质量图像,基于近场技术的高分辨THz成像技术相继被提出,并得到了进一步的应用。本文首先阐述了太赫兹近场成像的基本原理;其次总结了近场成像进展及增强方法;最后对太赫兹近场成像的未来进行了展望。 相似文献
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为实现对激光成像雷达扫描系统性能的高精度检测,完成了激光束扫描性能检测设备的研制.对该设备的检测精度进行了分析,着重研究了提高设备检测精度的方法,根据检测设备的检测原理和使用特点,提出了在数据处理环节校正光学系统畸变和利用二次成像法精确测量光学系统焦距的方法,使检测设备对扫描角的检测精度提高一个量级,实验及分析结果表明:采用上述改善精度方法后,该设备对扫描角的检测精度可以达到1.2 mrad.改进的设备可以对扫描成像激光雷达的扫描系统性能作高精度的检测. 相似文献
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制造过程中光学不可见的异常和缺陷降低太阳能电池板的质量,需要采用声学显微镜来进行成像和分析,从而可在量产开始前修改工艺来减少缺陷,或确保在生产中没有引入缺陷。 相似文献