共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
适用SAW器件的高C轴取向ZnO薄膜制备及性能分析 总被引:1,自引:5,他引:1
探讨了高性能ZnO薄膜的制备工艺,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和高阻仪对各种条件下制备的薄膜进行了表征分析。研究表明:在一定温度范围内随退火温度上升薄膜C轴取向性更优;同时O空位的填充、自由Zn原子的氧化使得薄膜电阻率提高至107Ω·cm数量级;600℃为最佳退火处理温度,600℃退火处理的ZnO薄膜粗糙度小(RMS为2.486nm),且晶粒均匀致密,表面平整,是适于制备声表面波(SAW)器件的高C轴取向、高电阻率及较平坦的ZnO薄膜。 相似文献
2.
3.
采用RF磁控溅射法在玻璃衬底上原位低温生长ZnO薄膜.生长出的薄膜对可见光具有高于90%的透射率,该薄膜具有良好的C轴取向.利用X射线衍射(XRD)的测试结果,分析了溅射工艺条件如衬底温度、氩氧比和溅射气压等对薄膜性能的影响,得到最佳的生长工艺条件为:衬底温度300 ℃,溅射气压1 Pa,氩氧比为25 sccm∶15 sccm.在此条件下生长的ZnO薄膜具有良好的C轴择优取向,并且薄膜的结晶性能良好.采用这种方法制备的ZnO薄膜适合用于制备平板显示器的透明薄膜晶体管和太阳电池的透明导电电极. 相似文献
4.
5.
用X射线衍射仪法对压电ZnO薄膜的宏观内应力和微观内应力进行了测量.实验测得的两组衍射谱线分别与函数图形1/(1+k~2x~2)~2和1/(1+k~2x~2)相似.底影变化能使线形的函数图形向exp(-k~2x~2)图形转化.微观内应力测量采用了线形近似函数法,宏观内应力测量采用了线形质心法.数据处理和计算是在YEE-8100微型电子计算机上完成的.本文还给出了测量工艺条件以及BASIC-Ⅱ应力计算程序方框图. 相似文献
6.
关于ZnO压电薄膜的概况 总被引:1,自引:0,他引:1
在ZnO、CdS等6mm点群的晶体中,垂直于C轴的面内的弹性和电性都是对称的,所以C轴择优取向的多晶薄膜即使其a轴随机取向也能具有象单晶那样的压电性,这类薄膜有很重要的实用价值,尤其是ZnO薄膜已广泛地用于各种声电和声光器件。 我们用射频平面磁控溅射装置和掺Li的ZnO陶瓷靶制出了压电性良好的ZnO膜,靶面附近的磁场水平分量约300高斯,膜的沉积速率约4微米/小时。 相似文献
7.
8.
9.
采用射频磁控溅射法在Al电极层上制备了适用于 薄膜体声波谐振器(FBAR)的ZnO薄膜, 研究了溅射功率对ZnO薄膜择优取向、压电响应和极化分布的影响。X射线衍射(XRD)测试结 果 表明,在一定范围内,随着溅射功率的增大,ZnO薄膜的择优取向和结晶质量得到提高;但 溅射功率过大,ZnO薄膜的择优取向变差。压电响应力显微镜(PFM)测量表明,溅射功率对薄 膜的压电性能和极化取向也有很大影响, 在所制备的薄膜中,多数晶粒的自发极化方向均垂直向上,表明所制备ZnO薄膜的表面主要 为O 截止;压电响应的振幅与薄膜的结晶质量和择优取向相关,在溅射功率为150W条件下制备的ZnO 在垂直于表面方向上表现出最大压电响应振幅,同时薄膜极化取向分布的一致性最好。 相似文献
10.
11.
ZnO薄膜是一种性能优良的多功能电子材料,用途十分广泛。本文介绍了我所研制的RF同轴磁控溅射装置及成膜技术。用此设备已制作出c轴择优取向的ZnO薄膜,并经各种检测证明膜质优良。用这种技术溅射制作的ZnO薄膜彩电中频滤波器性能良好,完全满足器件要求。本装置制作的薄膜膜厚均匀区宽、膜质好,不仅适用于ZnO薄膜的小批量生产,也可用于溅射沉积其它各种介质膜和金属膜。 相似文献
12.
一、前言 AlN是一种Ⅲ-Ⅴ族化合物,属于六方晶系纤维锌矿结晶结构。由于氮化铝(AlN)的高温性能稳定、导热率大、并且绝缘性能好,所以,以往人们都把它看成是一种耐热绝缘材料。但是,近年来人们发现这种晶体的压电性较大,并且声速也大,所以作为可在高频段使用的压电材料而引起了人们的重视,并且有希望替代ZnO材料。迄今,人们采用真空蒸发、溅射、化学蒸发以及离子喷 相似文献
13.
14.
本文介绍在直径为80μm的熔石英单模光纤的一侧直接溅射沉积取向ZnO薄膜的工艺。一个由这种薄膜复合而成的4GHz压电换能器验证了薄膜的取向性。频率扫描的换能器输入阻抗矢量给出了光纤中存在声波的证据。直接制作在光纤上的声换能器由于有效的声-光互作用而在光纤中心产生场聚焦,有可能制作许多新的光纤-光学信号处理器件。 相似文献
15.
16.
本文介绍用于激励剪切振动模式的ZnO压电薄膜的制备方法、性能及应用前景.采用辅助阳极环,改变基片角度等的RF平面磁控溅射技术,在低气压、高速率的溅射条件下,制备出了c轴偏离基片法线40°,声速为2830m/s,机电耦合系数达到29—32%的ZnO压电薄膜.为制作微波复合谐振器和微波声换能器提供了性能优良的新型压电薄膜材料. 相似文献
17.
从ZnO晶体结构入手,介绍了ZnO薄膜制备工艺的研究现状与进展,包括基片的选择,缓冲层的影响,薄膜极性的控制与制备技术。并指出基片的选择、薄膜的成核生长过程与界面问题仍是今后研究的重点。 相似文献
18.
该文提出一种柔性的微机电系统(MEMS)超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和XRD结果表明,氧化锌薄膜厚度可达4~8μm,具有高度(002)择优取向的柱状晶结构。根据XRD所得的结果计算了薄膜平均晶粒尺寸和内应力大小,结果表明,晶粒尺寸约为22nm,薄膜内压应力约为-1.248 4GPa。利用激光多普勒测得其共振频率约为5MHz。同时,研究发现,较厚的ZnO薄膜使振幅变大,导致振动品质因数(Q)值增加。 相似文献
19.