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利用卤化物还原原理,以Ti粉和I2粉为反应原料,通过化学气相沉积的方法在Al2O3陶瓷基体上制备了金属Ti涂层。考察了原料配比、加热温度及保温时间等工艺参数对涂层沉积的影响。通过X射线衍射仪分析了涂层的物相组成。利用扫描电子显微镜及能谱仪对涂层的微观组织形貌及成分进行了分析。采用座滴法考察铜与沉积了涂层的氧化铝陶瓷间的润湿性。研究结果表明,化学气相沉积法在氧化铝陶瓷表面制备Ti涂层的适宜工艺参数为:Ti与I2的质量比=1∶3,沉积温度为1 100℃,沉积时间为60min。所获得的Ti涂层纯度较高,具有明显的(110)晶面择优取向性,涂层与陶瓷结合良好。铜与涂层间的润湿角在1 113℃时为57°。 相似文献
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介绍了在模具表面上气相沉积涂层的方法,分析了物理气相沉积和化学气相沉积的工艺特点及应用,指出模具表面气相沉积技术的发展方向。 相似文献
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用等离子化学气相沉积工艺制备Al2O3薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
以乙酰丙酮铝Al(acac)3为前驱体用等离子化学气相沉积工艺在玻璃、石英、Si(100)和Ni等底材上沉积出了Al2O3薄膜。所获得的沉积膜或无碳、透明、致密(平均3.8g·cm^-3),或为透明致密的硬质(硬度Hk达2370)涂层。研究了各种实验参数对沉积速率、薄膜组成及膜层硬度的影响,认为偏压是具影响的参数。 相似文献
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用溶胶-凝胶法制备Al_2O_3涂层工程陶瓷的表面改性研究 总被引:2,自引:1,他引:1
分析了溶胶 -凝胶法制备Al2 O3 溶胶的适宜工艺条件 ,在氧化铝基陶瓷基体上成功地制备了Al2 O3 涂层 ;利用X射线衍射分析和差热分析 (DTA)方法对Al2 O3 凝胶粉末的相变过程进行了研究 .通过分析精磨、热处理、Al2 O3 一次和二次溶胶涂层 4种试样的抗弯强度测量值对材料总体性能进行了估计 .结果表明 :Al2 O3 涂层工程陶瓷可以提高基体的抗弯强度而降低其分散性 ,效果好于单纯的热处理 .通过观察4种试样的表面SEM形貌和两种涂层试样的断面SEM形貌提出了溶胶涂层钝化或弥合表面微裂纹的理论模型 相似文献
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采用化学气相沉积法,在1 100 ℃,在碳纤维增强碳化硅复合材料表面制备SiC涂层,研究了涂层连续沉积和分4次沉积(每次沉积时间为6 h)所制备的SiC涂层的微观结构和涂层样品的氧化性能.结果表明:两种SiC涂层的厚度均约为40 μm,且4次沉积制备的SiC涂层为一个连续的整体.涂层连续沉积时,表面只出现裸露裂纹;分4次沉积制备时,表面出现大量边缘有SiC生长锥的附着裂纹,附着裂纹在高温氧化时易发生自愈合.与连续涂层样品相比,4次涂层能显著提高C/SiC样品的抗氧化性能.4次涂层样品经1 400 ℃,50 h氧化后,质量损失为0.88%,质量损失速率稳定在6.30 × 10-5 g/(cm2?h),且4次涂层样品具有优异的抗热震性能. 相似文献
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低温化学气相沉积SiC涂层显微结构及晶体结构研究 总被引:4,自引:1,他引:4
在CH_3SiCl_3-H_2体系中,采用化学气相沉积法(CVD)在1000~1300℃制备了SiC涂层。研究了SiC涂层的沉积速率和温度之间的关系,发现低温化学气相沉积SiC为动力学控制过程,反应的表观活化能为85~156 kJ/mol。SiC涂层的外观颜色及涂层表面的显微结构随沉积温度变化而呈现规律的变化:当沉积温度<1150℃时,SiC涂层的外观颜色为银白色,涂层表面致密、光滑;当温度≥1150℃时,SiC涂层外观颜色逐渐变暗,涂层表面变得疏松、粗糙。利用XRD分析了不同沉积温度下SiC涂层的晶体结构,随着温度的升高,SiC涂层的结晶由不完整趋向于完整;当沉积温度≥1150℃,SiC涂层的XRD谱图中除了β-SiC外还出现了少量α-SiC。 相似文献
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以CH3SiCl3-H2为反应气体,采用Ar和H2作为稀释气体。在1100℃、负压条件下,由化学气相沉积制备了SiC涂层,研究了稀释气体对涂层沉积速率、形貌以及晶体结构的影响。以Ar为稀释气体时,随着稀释气体流量的增加沉积速率迅速减小;用Ar作稀释气体制备的SiC涂层相对粗糙,随着Ar流量的增加,晶粒簇之间的空隙较大,涂层变得疏松。XRD分析表明:当稀释气体Ar流量超过200ml/min时,涂层中除了β-SiC外,还逐渐出现了少量的α-SiC。以H2为稀释气体时,当H2流量增加到400ml/min时,涂层的沉积速率迅速增大;以H2为稀释气体制备的SiC涂层致密、光滑,沉积的SiC涂层全部是β-SiC,且具有非常强的(111)晶面取向,涂层中无α-SiC出现。 相似文献
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本文介绍了化学气相沉积设备的系统组成与典型装置,讨论了几种典型装置特点对化学气相沉积过程的影响,分析和总结了典型装置的维护对沉积参数控制精度及沉积过程的影响。 相似文献
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炭纤维表面用化学气相沉积法涂覆碳化硼的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
以CH4,BCl3,H2为原料气,采用化学气相沉积法(常压CVD)在炭纤维表面连续涂覆B4C,通过正交实验得到最佳涂覆条件;采用IR、TG—DTA、XRD等技术考察了涂层的组成、结构和形貌,并对最佳涂覆条件下炭纤维的拉伸强度进行测试。实验结果表明:当υH2/υBCl3=3.5、υBCl1/υCH4=1.7、气体总流速=160mL/min,沉积温度1100℃,走丝速度5转/min时,涂层表面有明显的一层致密物质,表面较平整,涂层纤维的氧化温度由未涂层时的350℃提高到630℃,纤维的单丝强度由未涂层时的1.93GPa提高到3.15GPa。在炭纤维表面采用化学气相沉积法涂覆B4C不仅装置简单、操作方便,而且可以明显地提高炭纤维的抗热氧化性和单丝强度。 相似文献
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在内径40mm的流化床反应器中,利用SnCl_4气相水解反应,制备了超细Al_2O_3-SnO_2复合粒子。通过XRD,EP-MA,HREM等现代化分析手段确定了产物中SnO_2的晶型及其在Al_2O_3团聚物中和在Al_2O_3原生颗粒表面的分散包敷形态。研究结果表明:300℃下制备的产物中SnO_2呈无定态,经800℃热处理2h,SnO_2转化成金红石型,产物中SnO_2均匀分散于整个Al_2O_3团聚物中;100℃下制备的产物中SnO_2以薄膜形式包敷在超细Al_2O_3颗粒表面;450℃下制备的产物中,SnO_2以6~10nm的粒子形式淀积在Al_2O_3表面。 相似文献
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W18Cr4V钢表面激光熔覆Al2O3陶瓷涂层的组织结构 总被引:7,自引:0,他引:7
研究了W18Cr4V钢表面Al2O3/NiCrAl复合陶瓷涂层的组织结构、成分分布及界面组织特征。结果表明:Al2O3/NiCrAl复合陶瓷等离子喷涂层的组织呈层片状,面层由α-Al2O3和少量的γ-Al2O3组成,层间为机械结合界面,界面处成分变化梯度较大。经激光重熔后的面层组织为单一的α-Al2O3柱状晶,Al2O3与中间合金NiCrAl间存在明显的界面反应,且界面相增多,在NiCrAl与基体 相似文献