微压印过程中抗蚀剂流动分析

为研究微压印过程中低黏度抗蚀剂流动状态对微压印成形精度的影响,对常温压印过程中抗蚀剂流动进行了有限元分析,系统研究了不同结构的模板占空比、宽厚比等压印工艺条件对抗蚀剂填充的影响,以及抗蚀剂流动对软模具的变形影响,得到了单双峰转换曲线及模具结构对抗蚀剂填充效率的影响曲线,从理论上分析了抗蚀剂流动特性,并进行了实验验证,进一步证明了仿真方法的可行性。     

透红外硫系玻璃微压印工艺的仿真研究

为了获得更好的微压印工艺填充效果,利用有限元方法研究模压工艺的主要参数压印温度、压印力和压印时间对压印效果的影响,并对工艺参数进行优化;对压印过程中不同的模具结构的应力分布进行了研究.仿真结果表明,工艺参数优化为480℃,30N,1800s后,模具的填充率达到97.2%;对不同的模具结构,有相同的应力分布区域,在模具拐...     

压印模具的精密制造工艺优化研究

在压印光刻中，信息的复制是难点，而模具的制造是信息复制的途径。为了获得高精度的压印模具，在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。通过分折模具的表面质量，得到了压印模具制作的最佳工艺组合。     

纳米压印光刻中抗蚀剂膜厚控制研究

研究了纳米压印光刻匀胶工艺中抗蚀剂膜厚与抗蚀剂粘度、匀胶转速、匀胶时间和滴胶量之间的关系。实验研究表明,抗蚀剂膜厚与抗蚀剂粘度、匀胶转速和匀胶时间均呈幂指数关系;当匀胶转速达到一定值,匀胶时间足够大时,膜厚不再随匀胶时间变化而变化,存在最小厚度,即抗蚀剂膜厚与滴胶量无关。建立了抗蚀剂膜厚与抗蚀剂粘度、匀胶转速和匀胶时间之间的量化关系公式,实现了对抗蚀剂膜厚的控制。     

一种微区微纳米压印技术及设备

本文介绍了一种新型的分布微区微纳米压印技术。相比于传统的微纳米压印技术,本文所提出的压印主要技术特征在于,通过对尺寸在几十微米至数毫米范围的微小区域单元的压印组合,实现大幅面微纳米结构的制作。这种压印方式还具有的优点是,在计算机控制下压印模仁可在工作平面内旋转,各微区压印单元有不同的压印取向,压印力大小均可由程序设定,因而可以实现每个单元压印深度的控制。本文给出了微区微纳米压印技术的设计思想、实现方法以及实验结果。该技术和装备,特别适合大幅面光学衍射图像、平板显示器件的微结构制作。     

微热压印过程聚合物流动形貌研究

为研究模具结构对聚合物流动形貌的影响,利用Deform-2D对微热压印成型过程进行了有限元模拟。首次系统的研究了模具占空比、宽厚比、阴模、阳模及不对称结构对聚合物流动形貌的影响。模拟结果显示随着占空比的减小,聚合物截面流形从单峰过渡到双峰,从陡峭过渡到平坦,当宽厚比大于1.5时,截面流形开始表现为双峰形式。其仿真结果和相关实验结果吻合。和阳模压印时没有明显的高度差相比,使用阴模压印时,微结构之间存在较大的高度差。针对压印过程易出现的填充效率不佳,提出了模具拓扑结构优化策略,通过在模具边缘布置一些流动坝,达到降低边界处聚合物流动率、促进聚合物有效填充的目的。仿真结果表明优化策略对促进聚合物填充具有很好的效果。     

纳米压印技术的研究

介绍了纳米压印技术的原理,讨论了纳米压印中材料的制备及热压印、紫外压印、微接触印刷等3种常用的压印工艺及其关键技术,提出纳米压印技术的研究方向和面临的挑战。     

微棱锥阵列薄膜UV压印成型及光学特性研究

采用UV压印固化成型的方法制备具疏水性的微棱锥阵列减反薄膜,并设计正交试验探究了各工艺对其微观结构成型的影响,得到复形度高的微棱锥阵列薄膜的优化方案(压强0.5～0.8 MPa,充型时间30 s,光固化时间1 min).通过对其减反性能分析,所制备的微棱锥阵列薄膜比无织构的平膜加权反射率低5％,分析各影响因素发现抑制气泡缺陷,并控制微棱锥特征结构参数高度和侧面夹角精度可使微织构薄膜减反能力相比提高21％,同时织构膜水滴接触角表明其具有自洁性.     

微棱锥阵列薄膜UV压印成型及光学特性研究

采用UV压印固化成型的方法制备具疏水性的微棱锥阵列减反薄膜,并设计正交试验探究了各工艺对其微观结构成型的影响,得到复形度高的微棱锥阵列薄膜的优化方案(压强0.5～0.8 MPa,充型时间30 s,光固化时间1 min).通过对其减反性能分析,所制备的微棱锥阵列薄膜比无织构的平膜加权反射率低5％,分析各影响因素发现抑制气泡缺陷,并控制微棱锥特征结构参数高度和侧面夹角精度可使微织构薄膜减反能力相比提高21％,同时织构膜水滴接触角表明其具有自洁性.     

气-液-固三相磨粒流光整加工及其工艺参数优化

考虑用流体抛光法加工大尺度工件存在效率低下问题,本文提出了一种气-液-固三相磨粒流抛光方法。该方法在约束流场中引入微纳米气泡,利用气泡在溃灭时释放的能量加速驱动磨粒运动,从而有效提升抛光效率。实验显示:在加工过程中,离心泵的发热会导致流体黏度下降,进而影响工件近壁面的湍动能和动压力的大小及分布,而加工工件近壁面的湍动能和动压力会对表面纹理的均匀性和材料的去除效率有重要影响。针对上述实验结果,文中基于对磨粒流抛光机理的研究,提出一种通过改变入口流速来补偿温升带来的湍动能和动压力变化的方法,实验求得了抛光流体温度从20℃到60℃之间的9个均等点对应的最优入口流速值。实验表明,相对未加入气泡时,该抛光方法的加工效率得到提高,而调速补偿明显提升了工件表面加工质量。     

流程挖掘在流程优化中的应用

企业信息系统产生的大量流程日志数据隐藏了一些有用的模式,流程挖掘从控制流、组织、资源等多个视图分析这些数据,发现流程中存在的问题,指导管理人员对流程进行优化。详细总结了近年来流程挖掘在流程优化中的应用,分析了利用流程挖掘优化业务流程的几种典型方法,论述了流程挖掘在改善流程结构、提升组织效率、优化资源配置和检测流程异常等领域的应用,并指出了进一步的研究方向。     

基于ProCAST的拖车连杆头铸造工艺优化研究

为了优化拖车连杆头铸件的浇注工艺,以Pro／E软件为前处理平台,以ProCAST软件为模拟平台,结合工厂实际生产的需要,对拖车连杆头铸件进行了数值模拟。通过对模拟结果与试制结果的比较,在充分肯定ProCAST软件分析准确性的基础上,从浇注系统和补缩系统入手,对铸件进行了工艺参数的优化设计。研究结果表明：通过充型凝固数值模拟分析以进行工艺参数的优化,有效地避免了铸件体中出现缺陷,提高了产品的质量。     

异地协同制造资源优化配置过程模型及实现

针对复杂零件异地协同制造的资源优化配置问题,提出敏捷加工路线的概念,建立以工艺流程为核心的制造资源优化配置概念模型和过程模型。将制造资源优化配置问题归结为逻辑制造单元一物理制造单元映射、物理制造单元排序筛选和敏捷加工路线的优化生成三过程,并分别给出了其实现方法。最后,论述了网络化制造资源优化配置平台的构建,并应用于某型号发动机叶片协同制造,验证了优化配置过程模型的可行性和实用性。     

在线质谱仪在工业发酵过程优化与放大中的应用

本文主要介绍了在线质谱仪的特点以及在工业发酵过程优化与放大中的应用。在线质谱仪测量精度高、漂移小、分析速度快,可实现长期连续监测,在生物过程领域具有巨大的应用潜力。     

环境探测小车设计及航向校正研究

针对视觉传感器价格昂贵、开发难度大等问题,设计了基于摄像头的半自主式环境探测小车。通过分层和分模块的方法,对小车硬件结构、控制系统进行了研究。对于小车运动过程中出现的航向偏离问题,采用实时调整占空比的算法进行校正。实验结果表明,算法有效降低了航向的偏离程度。     

注射模工艺参数对塑件翘曲量的影响及优化

利用Moldflow分析软件,采用数值模拟的方法分析了料温、模具温度、注射时间、冷却时间和保压压力等工艺参数的变化对塑件产品翘曲的影响趋势及其原因。结果表明:对所选参数,保压压力对塑件翘曲的影响最为显著,且保压压力取注射压力的95%左右可使产品的翘曲量达到较小的程度;产品翘曲量随料温升高,注射时间减短而减小;冷却时间对翘曲量的影响甚微;模具温度对翘曲影响较为复杂。根据分析结果,优化了塑件的成型工艺参数,使得翘曲量进一步减小。     

基于领地行为的多目标粒子群算法及在板翅换热器设计中的应用

针对多目标粒子群算法易于陷入局部最优解的问题,提出基于领地行为的多目标粒子群算法。通过模仿动物领地行为中的领地占领、自我完善和寻找新领地三种子行为,提出领地半径动态更新技术来扩大种群搜索范围,采用交叉操作和高斯变异增加种群多样性和增强搜索能力,提出定总概率和期差概率提高粒子寻优的有效性,实现对多目标粒子群算法的改进。同时采用改进的逼近理想解法群体多属性决策方法,实现对Pareto最优解的多属性模糊评价与优选。将算法应用于板翅式换热器多目标综合设计,可以快速、准确地获得合理的结构参数。     

非合作旋转目标闭环检测与位姿优化

若要实现空间失效卫星、空间碎片等非合作目标,尤其是具有自旋运动特性的目标的在轨服务或者离轨清除,需要精确测量追踪航天器与目标之间的相对姿态。当目标旋转一周后,对重访区域的闭环检测与位姿优化是减小累积误差,提高测量精度的重要保证。首先,本文介绍了视觉词袋库的建立和基于视觉词袋的非合作目标闭环检测策略。然后,基于相似性变换,对图像序列关键帧集和当前帧进行了联合位姿图优化,实现了对刚体变换矩阵的校正。最后对不同运动角速度下的不同目标,采用不同相机进行地面模拟测试实验,验证了方法的有效性和可靠性。实验结果表明:对于以12(°)/s角速度运动的非合作目标,当测量稳定后,绝对角度误差约为1(°),相对角度误差约为1%,平均角速度误差约为0.12(°)/s。可以满足非合作目标相对姿态测量的任务需求。     

可靠性工程在供料系统工艺方案优化中的应用

通过计算和一系列的对比,简要介绍了可靠性工程在小型高炉供料系统工艺方案优化设计中的运用。在小于300m3高炉供料系统工艺方案的设计中,以维持系统基本贮备、尽量减少串联子系统的某一环节为出发点构成的新方案具有可靠性满足生产要求及投资少的优点。