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声表面波气体传感器的最终成功既取决于化学界面膜的性能,也取决于声表面波器件设计的最佳化。给出了声表面波气体传感器的设计考虑。 相似文献
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MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作用、以及MWCNT的加入都增加了气体的接触面积,提高了NO2气体的吸附和敏感作用。同时,SAW器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性。实验结果表明,该传感器对各种浓度的NO2气体具有好的响应特性,在31.2×10-9到20×10-6范围内,传感器的响应灵敏度为9.8kHz/1×10-6,比单一MWCNT或WO3薄膜对NO2气体具有更好的灵敏度和线性特性。 相似文献
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主要介绍了国内外当前SO2 气体传感器的研究现状及其发展趋势 ,并着重介绍了声表面波 (SAW )SO2 气体传感器的应用前景 相似文献
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首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点,然后从传感技术角度,给出了一种不用延迟线而采用谐振器对有机气体检测的新方法。 相似文献
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本文研究了声表面波醋酸气体传感器的气敏特性。选用了复合膜材料,性能稳定响应时间20秒,灵敏度高,膜材料受溶剂的干扰小,选择性好。 相似文献
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声表面波气体传感器的理论分析 总被引:1,自引:0,他引:1
声表面被气体传感器的敏感物质是在声表面波传播途径上覆盖一层具有选择性的吸附薄膜,这些薄膜在吸附对其敏感的气体物质后,质量密度,弹性参数。介电常数,导电率都将发生变化,通过理论分析,导出了该传感器的测量方程. 相似文献
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基于辨识标签原理的无源声表面波传感器技术要点与发展趋势 总被引:4,自引:2,他引:2
本文在讨论基于辨识标签原理的无源声表面波传感器的原理的基础上,分析了衰减损耗和尺寸、交叉敏感、反射极排列和信号处理等传感器技术要点的当前存在问题以及发展趋势。 相似文献
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有机半导体薄膜由于具有特殊离域的。电子体系的特殊结构,特别是LB膜制备技术的采用,使得制备的有机半导体薄膜具有定向性和极高的比表面积,在气体传感器应用中显示出优异的性能.本文主要讨论了平面电极式有机半导体薄膜气体传感器研制中与表面和界面有关的技术问题及其解决的基本方法. 相似文献
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