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相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 57 毫秒
1.
2.
声表面波气体传感器的最终成功既取决于化学界面膜的性能,也取决于声表面波器件设计的最佳化。给出了声表面波气体传感器的设计考虑。  相似文献   

3.
基于COMSOL Muhiphysics软件,建立了含Pd纳米线的声表面波(SAW)传感器三维模型,以YZ铌酸锂为压电基底,叉指电极固定于基底表面,分析了Pd纳米线长度对模型本征频率的影响.对电极施加20V电压得到了不同氢气体积分数下电极上电导纳值和本征频率偏移值.通过磁控溅射制作了Pd薄膜,设计了SAW传感器测试夹具,得到了传感器氢敏特性.将仿真值与实验值进行对比,得到了含Pd纳米线氢敏材料的SAW传感器具有比含面形Pd膜传感器更高的灵敏度.  相似文献   

4.
SO2气体传感器的新进展   总被引:6,自引:0,他引:6  
主要介绍了国内外当前SO2气体传感器的研究现状及其发展趋势,并着重介绍了声表面波(SAW)SO2气体传感器的应用前景。  相似文献   

5.
在化学研究领域,声表面波器件得到了越来越多的注目.声表面波延迟线振荡器的振荡频率对沉积在其表面的薄膜层非常敏感,选择适当的气体吸附材料涂覆在器件的表面,声表面波延迟线振荡器就可用于制成十分敏感的气体传感器。当涂覆层性能优良时,传感器可检测出浓度为0.01—0.1ppm水平的特定气体成份。  相似文献   

6.
MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器   总被引:1,自引:0,他引:1  
以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作用、以及MWCNT的加入都增加了气体的接触面积,提高了NO2气体的吸附和敏感作用。同时,SAW器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性。实验结果表明,该传感器对各种浓度的NO2气体具有好的响应特性,在31.2×10-9到20×10-6范围内,传感器的响应灵敏度为9.8kHz/1×10-6,比单一MWCNT或WO3薄膜对NO2气体具有更好的灵敏度和线性特性。  相似文献   

7.
主要介绍了国内外当前SO2 气体传感器的研究现状及其发展趋势 ,并着重介绍了声表面波 (SAW )SO2 气体传感器的应用前景  相似文献   

8.
首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点,然后从传感技术角度,给出了一种不用延迟线而采用谐振器对有机气体检测的新方法。  相似文献   

9.
简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展.详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势.  相似文献   

10.
本文研究了声表面波醋酸气体传感器的气敏特性。选用了复合膜材料,性能稳定响应时间20秒,灵敏度高,膜材料受溶剂的干扰小,选择性好。  相似文献   

11.
声表面波气体传感器的理论分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
声表面被气体传感器的敏感物质是在声表面波传播途径上覆盖一层具有选择性的吸附薄膜,这些薄膜在吸附对其敏感的气体物质后,质量密度,弹性参数。介电常数,导电率都将发生变化,通过理论分析,导出了该传感器的测量方程.  相似文献   

12.
研究了SAW温度传感器的热敏机理及频温关系。  相似文献   

13.
论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法,报导了研究结果:传感器在0~100kPa范围内具有良好的线性;其中一阶压力灵敏度为0.55×10~(-9)/(Pa·cm~(-2))。  相似文献   

14.
肖华  杜晓松  胡佳  蒋亚东 《微处理机》2012,33(1):14-16,19
声表面波气体探测器包括声表面波传感器阵列、富集器、气泵、温度控制器等部件。基于8051单片机为探测器设计了一套控制电路并编写了控制程序,通过调节控制电路改变探测器的工作参数,分别测试了采样气泵流速、富集器的吸附时间与解吸附时间对声表面波气体探测器性能的影响,为优化探测器性能提供了实验依据。  相似文献   

15.
表面处理对气敏元件特性的影响   总被引:4,自引:0,他引:4  
利用表面修饰技术,通过不同气氛、溶液处理气敏元件表面,提高了元件的灵敏度,改善了选择特性.  相似文献   

16.
本文在讨论基于辨识标签原理的无源声表面波传感器的原理的基础上,分析了衰减损耗和尺寸、交叉敏感、反射极排列和信号处理等传感器技术要点的当前存在问题以及发展趋势。  相似文献   

17.
声表面波传感器   总被引:2,自引:0,他引:2  
评述了用于物理敏感和化学敏感的声表面波传感器的现状和进展。  相似文献   

18.
有机半导体薄膜由于具有特殊离域的。电子体系的特殊结构,特别是LB膜制备技术的采用,使得制备的有机半导体薄膜具有定向性和极高的比表面积,在气体传感器应用中显示出优异的性能.本文主要讨论了平面电极式有机半导体薄膜气体传感器研制中与表面和界面有关的技术问题及其解决的基本方法.  相似文献   

19.
声表面波传感器的集总参数等效电路   总被引:1,自引:0,他引:1  
分析了声表面波传感器的集总参数效电路,给出了参数的CAD方法。  相似文献   

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