微通道结构带状电极电火花加工方法研究

针对大厚度、高深宽比金属微通道结构加工的难题,提出一种带状电极电火花加工方法,利用厚度30～100 μm的带状电极,在金属基体上高效制造微通道结构。研究了带状电极电火花加工机理,建立了带状电极在加工间隙中的运动模型,分析了影响带状电极运动的主要因素,搭建了带状电极电火花加工装置,开展了微通道结构带状电极加工实验研究,获得了带状电极电火花加工基础工艺规律。利用带状电极电火花加工方法成功加工出的具有200条微通道的反应器结构和44×45微换热器阵列结构,表明带状电极电火花加工可以实现窄宽度(100 μm以下)、大厚度(35 mm以上)、高深宽比(10以上)和高精度(缝宽标准差3 μm以内)的大批量微通道结构的高效加工,相关方法和技术有望在微模具、微散热器、微反应器等领域获得推广和应用。     

微细电火花加工装置关键技术研究

围绕微细点火花加工的关键技术,开发出了具有4轴3联动的微细电火花加工装置。阐述了利用该装置实现微细电火花加工的关键技术和实现途径。包括微能脉冲电源的设计实现;通过选择适当的伺服控制策略,解决了伺服机构在小位移进给时所存在的爬行问题;探索了微细电极的在线制作与检测方法,并分析了在线检测方法存在的误差。在该装置上进行了大量的加工试验,试验已加工出最小直径为12 mm的微细轴和25 mm的微细孔,并实现了具有空间自由曲面的,大小为1 mm×0.3 mm×0.18 mm微脸谱雕塑的加工。     

基于光刻技术微小型电极的制作

针对微细电火花加工中面临的微小型复杂电极制作难的问题，提出了一种基于光刻技术微小型电极的制作方法．其宽度为0.15mm．间隙0．20mm,厚度为6～10μm，适合于加小型复杂的零件。文中在电火花成型电极制作方面作出了积极的探索。     

民火花微细加工系统研制

根据电火花微细加工的技术特点，设计研制适应电火花微细加工要求的伺服控制系统，微能脉冲电源和微细电极制造机构，整个系统工作稳定，能够较好地达到微细加工的要求。     

电火花机床微小孔加工调试

正电火花喷孔钻床的研制成功,解决了我国0.2 mm以下高精度微细孔不能加工的难题,打破了国外对这一技术的长期垄断。在电火花微小孔的加工中解决的难题有:电极宏微伺服控制系统、微细电火花间隙放电状态监测技术、微细电极自动进丝及高精度旋转机构、去离子水自动循环制取装置和微小孔加工工艺数据库的建立。以鲁南机床厂的电火花喷孔钻床为例,抽查其加工的任意50件工件,分别用塞规、三坐标测量仪、     

差动往复式微型电火花加工装置的研究

针对电火花加工技术的特点及超声波电动机驱动技术的特性,研制了基于线性步进式超声波电动机的差动往复式微型电火花加工装置,分析了该装置的工作原理,提出了电极差动往复式移动的驱动控制方法,实现了电极的差动往复式进给.该装置的外形尺寸为45mm×20mm×40mm.试验结果表明,该装置适合小孔电火花加工.     

微细电火花加工及其关键技术

综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展。比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用。简要分析了微细电火花加工的关键技术：微细电极的在线制作、微进给装置、微小能量的脉冲电源、微小电极的运动轨迹规划、电极的损耗及补偿策略。展望了微细电火花加工在微三维结构加工中的应用前景。     

多工位尖角电极电火花成形微尖槽结构

针对加工某微小装置的局部微尖槽形状精度难以保证的问题,提出一种多工位尖角电极电火花成形的方法。以304不锈钢为工件材料,选择纯铜和铜钨合金(W75%)作为电极材料并进行试验比较。为减小电极损耗和重复定位误差对加工精度的影响,采用慢走丝电火花线切割加工多工位尖角电极,然后利用多工位尖角电极电火花成形夹角为16°、深度为0.36mm的微尖槽。结果表明:采用较低进给速度,恒速多次线切割的方法能制作出质量较好的多工位尖角电极;尖槽成形精度随着工位数的增加而提高,且相同工位数时由于铜钨合金电极的低损耗性能使尖槽成形精度更好。最终采用6工位的铜钨合金电极成形微尖槽角度为16.3°,相对误差1.9%;深度为0.356mm,相对误差1.1%,形状精度也较好。该方法可以满足某微小装置中微尖槽部分的加工精度和使用要求。     

电火花微细加工系统研制

根据电火花微细加工的技术特点,设计研制适应电火花微细加工要求的伺服控制系统,微能脉冲电源和微细电极制造机构,整个系统工作稳定,能够较好地达到微细加工的要求.     

压电驱动技术在电火花加工中的应用

压电驱动技术可实现电极直接驱动进行电火花加工,该技术可以广泛地用于航天航空,精密模具,医疗器械等领域中微型器件或异形微小孔的加工,介绍几种典型的压电驱动技术,如椭圆式电火化加工技术,基于超声马达的电火化加工技术,蠕动式电火花加工技术,为提高电火花加工的效率,缩短加工时间,提出在压电驱动技术的基础上进一步在加工电极上附加超声振动,为该项新技术的发展提供了启示。