Thermoelectric Properties of Al-Doped ZnO Thin Films

We have prepared 2 % Al-doped ZnO (AZO) thin films on SrTiO₃ substrates by a pulsed laser deposition technique at various deposition temperatures (T _dep = 300–600 °C). The thermoelectric properties of AZO thin films were studied in a low temperature range (300–600 K). Thin film deposited at 300 °C is fully c-axis-oriented and presents electrical conductivity 310 S/cm with Seebeck coefficient ?65 μV/K and power factor 0.13 × 10^?3 Wm^?1 K^?2 at 300 K. The performance of thin films increases with temperature. For instance, the power factor is enhanced up to 0.55 × 10^?3 Wm^?1 K^?2 at 600 K, surpassing the best AZO film previously reported in the literature.     

缺陷浓度对非晶硅薄膜太阳电池性能的影响

利用一维微光电子结构分析工具AMPS-1D（Analysis of Microelectronic and Photonic Structures-1D）研究了一种PIN结构的非晶硅基薄膜太阳电池的电流一电压特性。通过系统分析不同缺陷浓度对太阳电池光电特性的影响,探索了在不致严重影响器件性能情况下可容许的最高缺陷浓度。模拟结果表明,若半导体膜足够薄,在带边附近有很高的吸收系数,且具有满足一定条件的迁移率,则可使用含有相当高缺陷浓度（10^16～10^17cm^-3数量级）的非晶硅基薄膜制造出性能良好的太阳电池．     

Structure and Thermoelectric Properties of CoSi-Based Film Composites

Semiconductors - The properties of Co–Si thin films grown by the thermal sintering of Co and Si layers are studied. Co and Si layers are produced by chemical vapor deposition. To form cobalt...     

单腔薄膜梳状滤波器的特性研究

用特征矩阵法研究了单腔薄膜梳状滤波器的梳状滤波特性,结果表明:当腔两边的薄膜的周期数为6时,单腔薄膜梳状滤波器就有很好的梳状滤波功能;当腔两边的薄膜的厚度增大时,梳状峰的位置向长波方向移动,梳状峰的间距增大,梳状峰的个数减少;当腔的厚度(或折射率)增大时,梳状峰的间距减小,梳状峰的个数增多,特别是当腔的厚度大到一定程度后,单腔薄膜梳状滤波器也能满足密集波分复用的要求。     

多晶硅TFT热载流子效应的模拟研究

热载流子效应引起的器件电学特性退化会严重影响电路的工作性能。文章结合多晶硅薄膜晶体管沟道电流的理论模型,讨论了热载流子效应与界面陷阱的关系。沟道载流子在大的漏电场牵引下,运动到漏结附近获得很大的能量从而成为热载流子。如果热载流子能量超过Si-SiO2界面势垒高度,会注入到栅氧层或陷落到界面陷阱,使阈值电压和沟道电流发生退化现象。同时,对多晶硅薄膜晶体管输出特性进行了模拟分析,模拟结果与理论模型基本一致。     

碲镉汞薄膜少子寿命测试研究

碲镉汞(HgCdTe)材料的少子寿命是影响碲镉汞红外探测器性能的重要参数.分别采用微波光电导衰减(Microwave Photoconductivity Decay,μ-PCD)法和微波探测光电导(Microwave Detected Photoconductivity,MDP)法对 HgCdTe 薄膜的少子寿命进行了...     

Fabrication of Bismuth Telluride-Based Alloy Thin Film Thermoelectric Devices Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition

Bismuth–antimony–telluride based thin film materials were grown by metal organic vapor phase deposition (MOCVD). A planar-type thermoelectric device was fabricated with p-type Bi_0.4Sb_1.6Te₃ and n-type Bi₂Te₃ thin films. The generator consisted of 20 pairs of p-type and n-type legs. We demonstrated complex structures of different conduction types of thermoelectric elements on the same substrate using two separate deposition runs of p-type and n-type thermoelectric materials. To demonstrate power generation, we heated one side of the sample with a heating block and measured the voltage output. An estimated power of 1.3 μW was obtained for the temperature difference of 45 K. We provide a promising procedure for fabricating thin film thermoelectric generators by using MOCVD grown thermoelectric materials that may have a nanostructure with high thermoelectric properties.     

反应溅射制备NiOx薄膜及其电致变色特性

在适当氧压下二极管式反应溅射镍靶制备NiOx薄膜，该薄膜无需长时间活化而直接在液体电解质KOH—H2O与LiCIO4-PC中均有稳定的电色性和牢固性，XPS分祈表明，O10具有两种结合能状态对应于Ni^2 和Ni^3 .     

GaN-LED芯片上ITO膜侧蚀异常的改善

氧化锢锡(ITO)对可见光具有高透过率及高电导率,常当作透明电极被广泛应用于发光元件上.使用合金的热处理方式,探讨了ITO经热处理后对刻蚀的影响.用电子束蒸镀机在GaN外延片上蒸镀一层ITO膜,用wIn2O3>=0.95:0.05的ITO锭做靶材,然后把每个外延片切成两半,其中一半在氮气氛中合金,另一半不做合金,然后所有的半圆片去做光刻,最后刻蚀ITO,去胶测量图中圃形(电极直径)的尺寸并比较侧蚀量的大小,发现合金后刻蚀ITO比不合金直接刻蚀ITO要好.     

Thermoelectric Properties of Polycrystalline Thin Films Under an External Magnetic Field

A theoretical model is proposed to predict the Seebeck coefficient and the electrical conductivity for a polycrystalline thermoelectric (TE) thin film under an external magnetic field. The model considers the distribution of electrons in the microstructure of TE thin-film materials, taking the scattering effect of electrons at the grain boundary as the boundary condition for electron transport in the grain. The transmission coefficient is introduced to describe the probability of electrons passing through the grain boundary potential barrier, while the relationships between the Seebeck coefficient, the electrical conductivity, and the transmission coefficient are studied. Furthermore, the results from the calculations of the Seebeck coefficient, the electric conductivity, and the power factor of TE materials under various applied magnetic fields, transmission coefficients, and grain sizes indicate that the applied external magnetic field has a very significant influence on the TE properties of polycrystalline thin films.     

常压MOCD生长的ZnO薄膜的电学性能

利用常压MOCVD法在蓝宝石(0001)衬底上沉积了非故意掺杂ZnO单晶薄膜.用Van der Pauw法测量了其从15K到室温的载流子浓度和霍耳迁移率,并用双层结构单施主模型对载流子浓度和迁移率进行了拟合分析.研究表明:ZnO薄膜浅施主能级为20.4meV,温度较低时,以电离杂质散射为主,温度较高时,以极性光学波散射为主.     

常压MOCD生长的ZnO薄膜的电学性能

利用常压MOCVD法在蓝宝石(0001)衬底上沉积了非故意掺杂ZnO单晶薄膜.用Van der Pauw法测量了其从15K到室温的载流子浓度和霍耳迁移率,并用双层结构单施主模型对载流子浓度和迁移率进行了拟合分析.研究表明:ZnO薄膜浅施主能级为20.4meV,温度较低时,以电离杂质散射为主,温度较高时,以极性光学波散射为主.     

脉冲激光淀积MgF2薄膜的制备及性质研究

本文采用脉冲激光淀积方法(PLD)制备了MgF2光学薄膜，并对其表面形貌以及光学性质进行了测试分析，X射线光电子能谱分析显示MgF2样品具有很好的化学组分配比，F／Mg原子比在1．9～2．1之间，接近于体材料；在可见光波段其光学透过率为60％～80％，在红外波段更是达到了90％以上，由KK变换计算MgF2的折射率大约为1．39，也接近于体材料的折射率1.38。     

ZnO纳米棒/薄膜结构的电沉积制备及性能

以阳离子表面活性剂——十六烷三甲基氯化铵(CTAC)作为添加剂,采用电沉积法在氧化铟锡玻璃基板上制备了ZnO薄膜。并研究了CTAC含量对阴极电流密度、结构、表面形貌、化学态和光学性能的影响。实验发现阴极电流密度和(002)择优取向随CTAC含量的增加而增加。电沉积氧化锌薄膜的表面形貌随CTAC含量的增加由小晶粒变为纳米棒,这表明CTAC在控制表面形貌方面有很重要的作用。X-射线光电子能谱表明Zn2p3/2,Zn2p1/2,O1s的峰位分别为1020.78eV、1046.88eV和530.8eV。CTAC对电沉积的影响可能是由于CTAC的吸附作用改变了不同晶面的表面能和生长动力学。此外,研究了ZnO薄膜的光学性能,结果表明当CTAC含量为3.0mmol/L时,薄膜具有较好的透光性和紫外发射性能。添加不同含量CTAC的ZnO薄膜禁带宽度介于3.27～3.52eV。     

铟镓氮薄膜的光电特性

用金属有机物气相外延设备,在氮化镓/蓝宝石复合衬底上快速外延生长铟镓氮薄膜,并对其进行了X射线三晶衍射、光致发光、反射光谱及霍尔测量等实验测试.确定该薄膜为单晶,其中In组分可以从0增加到0.26;在光致激发下发光光谱为单峰,且峰值波长在360～555nm范围内可调;其发光机理被证实为膜内载流子经带隙跃迁而直接复合;并具有很高的电子浓度.但InGaN薄膜的结晶质量却随着In含量的增加而变差.     

铟镓氮薄膜的光电特性

用金属有机物气相外延设备,在氮化镓/蓝宝石复合衬底上快速外延生长铟镓氮薄膜,并对其进行了X射线三晶衍射、光致发光、反射光谱及霍尔测量等实验测试.确定该薄膜为单晶,其中In组分可以从0增加到0.26;在光致激发下发光光谱为单峰,且峰值波长在360～555nm范围内可调;其发光机理被证实为膜内载流子经带隙跃迁而直接复合;并具有很高的电子浓度.但InGaN薄膜的结晶质量却随着In含量的增加而变差.     

快速光退火对ITO薄膜结构和性能的改善

利用电子束蒸发技术在常温下制备ITO透明导电膜,在这种条件下很难得到性能良好的透明导电膜,试图通过研究快速光热退火下退火温度、退火时间对其性能的影响,致力于在低温退火工艺下改善薄膜性能.通过对退火后样品禁带宽度的计算得出随着退火温度或退火时间的增大,禁带宽度逐渐增大;对样品的微结构分析发现随着退火温度的提高或退火时间的延长,样品的微结构致密性提高,各晶向面间距和晶格常数逐渐趋于标准的晶体;但退火温度过高或退火时间过长反而不利于透明导电膜性能的提高,所以选取合适的退火温度和退火时闻是光退火下透光性和导电性都得到提升的关键.在200℃的退火温度下,退火12 min可实现样品的透光率在可见光范围内达到82%,电阻率ρ＝2.3×10-3Ω·cm.