准分子激光技术的突破

准分子激光技术的突破准分子激光器问世已有２０年，至今仍然是最强有力的脉冲紫外光源。它的输出光束在冷加工中使多种金属、非金属材料雾化，产生整齐的切边，无热影响区，这个过程被称之为“烧蚀”。它的短脉冲、极高峰值功率的光束对“烧蚀”特别有效。与红外激光相比...     

以准分子激光器为中心的新激光器的研究和动向

对于作为紫外波段和真空紫外波段中高输出、高效率激光器的准分子激光器来说，七十年代正是黄金时代。如表1所示，自1972年真空紫外激光器出现以来，研究了许多真空紫外准分子激光器、紫外准分子激光器。最近，可见波段准分子激光器的研究也兴盛起来(参看表1)。     

准分子激光器的技术应用走向商品化

过去几年中，准分子激光研究只在高等学校的研究室中进行，目前正是由这一科学领域发展成新的工业。从发展图表可看出，在极短时间内商业准分子激光器的平均输出功率能从有限的初始功率提高到100 W。八十年代末可望提高到1 kW。与此同时,相应的应用领域也不断扩大。起初像其它激光器一样准分子激光器也占领了光谱学和物理化学的传统领域。随着它在激光同位素分离、紫外刻印和材料加工中有成效的应用，目前已被列入现代关键技术范围内。     

电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性

为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。     

新颖的光束整形光学系统扩大了准分子激光器的应用范围

准分子激光器在紫外波段发出的高脉冲能量和高平均功率的光束具有极好的稳定性，因此在诸多工业和科学研究领域的应用范围不断扩大。然而，大多数准分子激光器产生的矩形光束必须通过光学系统再整形方能满足激光加工的需要。由于准分子激光器输出光束的形状和强度分布不能用简单的光学系统进行变换，为此德国Lambda Physik公司开发了一种准分子激光束再整形用光学系统以满足各种应用的要求，如平板显示器制造中的硅退火和用光掩模写入的微细加工等。     

准分子激光加工的应用

准分子激光加工的应用前言准分子激光器是一种大能量、高功率紫外激光器，作为超微细加工工具，在各种应用领域均受到重视，并且准分子激光器作为产业使用正逐步实用化。本文介绍准分子激光器的几种实用例子，重点介绍其优良的加工特性。首先，准分子激光加工的特征归纳为...     

核泵浦Ne－Xe－NF_3激光器阈值特性的计算

核泵浦Ｎｅ－Ｘｅ－ＮＦ＿３激光器阈值特性的计算引言很早就对惰性－卤素准分子激光器进行了研究［１～３］。今天它们是紫外波段最强的激光器。准分子激光器的最佳工作状态是泵浦功率为每立方厘米几兆瓦数量级，压力为几个大气压。这样的泵浦功率用电子束或体放电得到。...     

准分子激光器进展与微加工

准分子激光器进展与微加工准分子激光器能够在几个紫外波长上提供短脉冲的高峰值功率输出，这使其在材料加工、科学研究和医学等各种应用领域具有吸引力。在近几年中，准分子激光器制造商在准分子制造技术方面获得了重要进展，大大地改善了它的性能、可靠性和实用性，同时...     

XeF(C-Α)准分子激光器—— 一种可见波段高效可调谐激光

到目前为止，具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%，KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)仅有染料激光器，其效率在1%以下，它用于工业的可能性实际上无从提起。幸好这一欠缺可由XeF(C—A)激光器来弥补。像KrF激光器一样，它属于准分子激光器。     

激光束在微电子学中的应用

激光的特点是有较完美的单色特性、频谱范围宽及功率集中。任何频率的激光器其频带都只有2nm左右,这样就使其有用功率特别高。现在已有办法(拉曼散射法)使准分子激光器(Excimer)的频谱可以填满整个紫外频谱。激光器相当一个高度的点光源,如果与高压水银灯相比,一瓦可见光氩激光器的亮度为200瓦水银灯在其整个频谱上亮度的百万倍。下面介绍激光束在微电子技术中的一些应用。准分子激光器的应用。这种激光器以其紫外波段的功率高而受到     

信息

下一代准分子激光器 准分子激光器实际上属于气体激光器家族。准分子激光器是最有效的大功率紫外激光光源，虽然这种激光器是一项很困难的技术，但近些年来这种激光器却是一个活跃的研究课题并且具有很高的商业价值。连续的改进使准分子激光器在某些应用中成为了重要的紫外激光光源，并使其在新市场中有很好的应用，如生产光纤布拉格光栅和平面显示器。准分子激光器概述 英文中准分子 （ｅｘｃｉｍｅｒ）是“受激二聚体（ｅｘｃｉｔｅｄｄｉｍｅｒ）”的简称。在化学术语中指由两个相同的惰性气体原子组成的分子。这些原子只有在激发态下才…     

我国准分子激光器研究的最新进展

准分子激光器的研究是目前世界上激光研究领域里最活跃的课题之一。准分子激光波长在紫外和真空紫外。准分子激光器具有高功率、高效率、高能量及在宽波段内波长的连续可调谐性。在国外已成功地应用于科学研究、工业化学合成、医学、微电路加工等领域。我国准分子激光器的研究及其应用取得了一定进展。高功率小型准分子激光器及实用型准分子激光器研制成功标志着这种新型激光器件向实用化迈进了一大步。一、近年来我国准分子激光器研究的概况最初几年里,准分子激光器的研究主要是     

大功率脉冲准分子激光器

圣地亚哥的Helionetics公司已演示了迄今为止所报道的功率最大的脉冲准分子激光器，该激光器每秒能产生100个脉冲，每个脉冲发出的能量超过1焦耳。电子激发的氯化氙激光器产生3080埃的紫外辐射,它经频率转换后可以变成蓝绿光，用于潜艇的水下通讯。该公司计划生产一台商品型激光器供半导体加工使用。     

全固体化紫外激光技术

高输出功率紫外激光器在产业上主要用作超精细微加工光源而倍受关注。但市场上以往出售的高输出紫外激光器主要是准分子激光器,存在着装置大、工作效率低、使用腐蚀性气体、要更换气体、价格昂贵、维修成本高等缺点。因此,近几年市场要求开发能够解决上述问题的高输出全固体化紫外激光器。但是,几乎所有的固体激光波长都在近红外区,直接产生更短波长的激光非常困难。全固体化紫外激光器可将固体激光作为基波,通过波长转换成高次谐波生成紫外光。例如,为了从1064ｎｍ近红外光的Ｎｄ∶ＹＡＧ激光器得到紫外光,首先要产生二次谐波(波长532ｎｍ)…     

高重复频率大功率准分子激光器

准分子激光器是紫外区的一种大功率激光器，与采用CO2激光器或YAG石榴石 激光器的传统热加工不同，用准分子激光器有可能进行非热平衡、低温和微细加工。因此，这种激光器将来很有可能用作新一代半导体处理的光源。     

高功率紫外气体激光器——西德马-普学会等离子体物理研究所Kompa教授的报告择要介绍

就目前情况看，激光领域里还缺少两种类型的器件,一种是短波长紫外激光器;另一种是毫米波段远红外激光器。近几年来，稀有气体和稀有气体卤素准分子激光器在真空紫外、紫外和可见波段已获得高功率输出。辐射能量已超过百焦耳,能量转换效率高达10%,重复频率为2000赫, 辐射波长分布如图1所示。     

高功率氟化氩紫外激光器

美国桑迪亚实验室已研制成一种新的高功率紫外激光器，它有可能用于浓缩铀和激光核聚变。这种激光器是电子束激励的氟化氬装置，已产生峰值功率为1.6千兆瓦的激光脉冲，脉冲长度为55毫微秒。     

准分子激光器的应用

1975年首次演示稀有气体卤化物准分子激光器以来，这种激光器已被热情地誉为新一代紫外激光器,一次紫外革命,是气体激光器的一匹新骏马。与以前发展的激光器相比较，由于设计上与其他放电激光器基本相同以及明显的商业应用潜力，准分子激光技术已取得惊人的进展。自从放电准分子激光器问世以来的五年中，实验演示已达到了焦耳级脉冲能量,平均输出功率为860瓦。     

准分子激光血管成形术三年临床经验

准分子激光血管成形术三年临床经验自１９８６年起人们就开始了多学科的研究，并应用于激光血管成形术，现已取得重要进展，报告如下：首先在准分子激光器间选择适合的型号，以免由于它对组织的低消融率而导致残余组织遗留。其次研制成一套完整的血管成形术用激光装置及其...     

能量稳定性极好的高功率准分子激光器

1 引言 对各种工业应用，紫外激光非常有用。放电抽运的准分子激光器是最有效的高功率紫外相干光源。近年来，许多实验室研制了用非线性光学晶体的固态激光器产生三次和四次（有时五次）谐波（用Ｎｄ∶ＹＡＧ激光器时，基波是１．０６μｍ），达到高功率紫外相干光。但是对